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無(wú)塵室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
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潔凈室高效風(fēng)口現(xiàn)場(chǎng)檢漏案例說明

2026-04-29

潔凈室高效風(fēng)口現(xiàn)場(chǎng)檢漏案例說明(主標(biāo))

氣溶膠光度計(jì)法與粒子計(jì)數(shù)法的對(duì)比探討(副標(biāo))

本文通過對(duì)比試驗(yàn)對(duì)氣溶膠光度計(jì)法與粒子計(jì)數(shù)法這兩種測(cè)試方法的技術(shù)與經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行了相關(guān)探討,其試驗(yàn)結(jié)論對(duì)于提高目前風(fēng)口檢漏的檢測(cè)水平起到了積極的推動(dòng)作用。(引言)

根據(jù)GB50591-2010潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范、ISO14644標(biāo)準(zhǔn)以及SFDA GMP(附錄1)的要求,高效過濾器安裝后,應(yīng)對(duì)其進(jìn)行檢漏測(cè)試,以檢查過濾器密封墊、框架及過濾器濾材等處的密封性并定期進(jìn)行高效過濾器的檢漏試驗(yàn),確保其符合要求。它是保證車間潔凈環(huán)境的重要手段之一。

根據(jù)ISO14644-3.B.6給出的測(cè)試方法,高效風(fēng)口檢漏試驗(yàn)一般采用氣溶膠光度計(jì)法和離散粒子計(jì)數(shù)器法。

高效過濾器檢漏使用塵源有聚α烯烴(PAO)和癸二酸二(2-乙基己基)酯)DEHS等幾種。

氣溶膠光度計(jì)法與粒子計(jì)數(shù)法的測(cè)試區(qū)別(一級(jí)標(biāo)題)

氣溶膠光度計(jì)法使用的測(cè)量?jī)x器是氣溶膠光度計(jì)。氣溶膠光度計(jì)是一種前散射線性光度計(jì)。它由真空泵、光散射室、光電倍增管、信號(hào)處理轉(zhuǎn)換器和微處理器等組成。其工作原理是當(dāng)氣流被真空泵抽至光散射室時(shí),其中的顆粒物質(zhì)散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中,光被轉(zhuǎn)換成電信號(hào),此信號(hào)經(jīng)放大和數(shù)字化后由微處理器分析,從而測(cè)定散射光的強(qiáng)度。通過與參比物質(zhì)產(chǎn)生的信號(hào)對(duì)比,可以直接測(cè)量氣體中顆粒物質(zhì)的質(zhì)量濃度。檢漏使用的塵源是聚α烯烴(PAO)。光度計(jì)測(cè)量結(jié)果顯示的是μg/L (微克/升)

粒子計(jì)數(shù)器法使用的測(cè)量?jī)x器是粒子計(jì)數(shù)器。粒子計(jì)數(shù)器的工作原理是將來自光源的光線被透鏡組聚焦于測(cè)量腔內(nèi)。當(dāng)空氣中的每一個(gè)粒子快速地通過測(cè)量腔時(shí),便把入射光散射一次,形成一個(gè)光脈沖信號(hào)。這一光信號(hào)經(jīng)過透鏡組被送到光檢測(cè)器,正比地轉(zhuǎn)換成電脈沖信號(hào),再經(jīng)過儀器電子線路的放大、甄別,揀出需要的信號(hào),通過計(jì)數(shù)系統(tǒng)顯示出來,得知空氣中微粒的粒徑和個(gè)數(shù)。檢漏使用的塵源是癸二酸二(2-乙基己基)酯(DEHS)。粒子計(jì)數(shù)器結(jié)果顯示的是:粒徑的粒子數(shù),單位為顆/28.3L。

2011年5月,我司的車間進(jìn)行了氣溶膠光度計(jì)法與粒子計(jì)數(shù)器法檢漏的對(duì)比試驗(yàn)。試驗(yàn)對(duì)象為規(guī)格1190×650的層流罩,高效過濾器采用反液槽密封無(wú)隔板高效過濾器,尺寸規(guī)格484×484×70,四面加500mm寬防靜電軟簾圍擋。

本次試驗(yàn)依據(jù)為ISO14644-3-B.6.2使用氣溶膠光度計(jì)對(duì)就位過濾系統(tǒng)掃描檢漏的方法和ISO14644-3-B.6.3使用粒子計(jì)數(shù)器對(duì)就位過濾系統(tǒng)掃描檢漏的方法。

本次試驗(yàn)使用的儀器如下:ATI-TDA-2H氣溶膠光度計(jì),美國(guó)ATI公司產(chǎn)品;ATI-TDA-6C發(fā)生器(PAO),美國(guó)ATI公司產(chǎn)品;SX-L310S計(jì)數(shù)檢漏儀,蘇信凈化廠產(chǎn)品;SX-Q3氣溶膠發(fā)生器(DEHS),蘇信凈化廠產(chǎn)品;SX-S015稀釋器(109倍),蘇信凈化廠產(chǎn)品;風(fēng)速儀,北京。

實(shí)驗(yàn)內(nèi)容及數(shù)據(jù)分別如表1、表2、表3、表4所示。

表1對(duì)比檢測(cè)一:用光度計(jì)和粒子計(jì)數(shù)器分別進(jìn)行檢漏測(cè)試

序號(hào) 儀器 光度計(jì) 粒子計(jì)數(shù)器
1 發(fā)塵塵源 PAO DEHS
2 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)依據(jù) ISO 14644-3-B.6,IES-RP-CC0O1.3 ISO 14644-3-B.6 EN1882
上游濃度20μg/L 1200萬(wàn)顆/28.3L
漏點(diǎn)值 ≥0.01% ≥100顆
3 測(cè)試上游發(fā)塵量 20μg/L 1200萬(wàn)顆/28.3L
4 過濾器掃描檢漏 合格 合格
5 新安裝到層流罩上檢漏 檢測(cè)出一個(gè)漏點(diǎn) 檢測(cè)出一個(gè)漏點(diǎn)
6 用針在過濾器上扎3個(gè)φ0.2mm孔,分布四周并作標(biāo)記 檢測(cè)1下游0.06% 下游:0.3μm 400顆左右
檢測(cè)2下游0.06% 下游:0.3μm 400顆左右
檢測(cè)3下游0.06% 下游:0.3μm 400顆左右

 

表2對(duì)比檢測(cè)二:光度計(jì)和計(jì)數(shù)器上游發(fā)塵濃度實(shí)測(cè)對(duì)照表

序號(hào) 儀器 光度計(jì) 粒子計(jì)數(shù)器
1 氣溶膠 PAO PAO
2 上游發(fā)塵濃度 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

ISO 14644-3 IEST-RP-CCOO1.3

0.11μg/L 654萬(wàn)顆/28.3L
10μg/L 2.5×107顆/28.3L(計(jì)數(shù)器已飽和)

注:計(jì)數(shù)器超過200萬(wàn)顆/28.3L)

20μg/L 3.05×107顆/28.3L
40μg/L 3.27×107顆/28.3L
A 氣溶膠 DEHS DEHS
B 上游發(fā)塵濃度 0.02μg/L EN1822-4:2000附錄B.1下游最低漏點(diǎn)值100顆?( 根據(jù)ISO 14644-3公式推算出)

H13過濾器? 120萬(wàn)顆/28.3L

0.16μg/L H14過濾器? 1200萬(wàn)顆/28.3L
U15過濾器? 4000萬(wàn)顆/28.3L

 

表3對(duì)比檢測(cè)三:用PAO發(fā)塵,用光度計(jì)和計(jì)數(shù)器測(cè)試

序號(hào)  名稱 光度計(jì) 計(jì)數(shù)器
1 氣溶膠 PAO PAO
2 上游濃度 0.16μg/L 1200萬(wàn)顆/28.3L
3.用針在過濾器上扎3個(gè)φ0.2mm孔,分布四周并作標(biāo)記 下游濃度 未檢出漏點(diǎn) 0.3μm 400顆左右

(檢出漏點(diǎn))

表4對(duì)比檢測(cè)四:用DEHS發(fā)塵,用光度計(jì)和計(jì)數(shù)器測(cè)試

序號(hào)  ???名稱 光度計(jì) 計(jì)數(shù)器
1 氣溶膠 DEHS DEHS
2 上游濃度 0.16μg/L 1200萬(wàn)顆/28.3L
3.用針在過濾器上扎3個(gè)φ0.2mm孔,分布四周并作標(biāo)記 下游濃度 未檢出漏點(diǎn) 0.3μm 400顆左右

(檢出漏點(diǎn))

 

試驗(yàn)結(jié)論(一級(jí)標(biāo)題)

氣溶膠光度計(jì)法操作簡(jiǎn)便,相對(duì)粒子計(jì)數(shù)法使用方便。

用PAO測(cè)試時(shí),光度計(jì)的上游濃度同樣為0.16μg/L ,相當(dāng)于粒子計(jì)數(shù)器為1200萬(wàn)顆/28.3L,計(jì)數(shù)法能在下游檢測(cè)出漏點(diǎn),而用光度計(jì)無(wú)法檢測(cè)出漏點(diǎn);用DEHS測(cè)試時(shí),被測(cè)結(jié)果與上述數(shù)據(jù)一致,說明計(jì)數(shù)法更靈敏。

在同樣的漏點(diǎn)被檢測(cè)出時(shí),光度計(jì)法所需要上游濃度要比粒子計(jì)數(shù)法大100倍左右,這就造成了對(duì)過濾器和環(huán)境的污染。濃度越大,噴霧時(shí)間長(zhǎng)的話,會(huì)有微小油滴聚集。

用計(jì)數(shù)器法對(duì)過濾器檢漏,上游所需發(fā)塵濃度低,下游探測(cè)靈敏度高,相對(duì)光度計(jì)法污染低。

用計(jì)數(shù)器法可直接現(xiàn)場(chǎng)打印數(shù)據(jù),得到粒子粒徑數(shù),便于追查漏點(diǎn)原因,而光度計(jì)法則無(wú)現(xiàn)場(chǎng)打印功能,無(wú)粒徑概念,對(duì)超高效不合適。

推薦使用氣溶膠:DEHS,更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠,而且符合標(biāo)準(zhǔn)要求。

本次試驗(yàn)對(duì)比旨在對(duì)上述兩種測(cè)試方法之間的技術(shù)與經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行相關(guān)交流與學(xué)習(xí),同時(shí)也對(duì)提高目前風(fēng)口檢漏的檢測(cè)水平起到了積極的推動(dòng)作用。