基本上無塵車間認證就是做無塵車間的性能測試，但是認證者對所測試的結果要負完全責任，要保贊測試儀器、測試程序都滿足NEBB規(guī)定。這話說來簡單，做起來可不容易，因為空調系統(tǒng)與無塵車間的設計變化很多，有些時候業(yè)主的要求也不盡相同。在不同的設計理念與不同的業(yè)主要求之下，測試的執(zhí)行就有些差異。因此做無塵車間認證，首要之務是熟悉空調系統(tǒng)與無塵車間設計。
NEBB對無塵車間認證人員〈稱為Cleanroom?Performance?Testing
Supervisor〉的基本要求有四，一是對空調系統(tǒng)和無塵車間的了解，二是對相關規(guī)范的了解，三是對測試儀器與測試程序的了解，四是本身的經驗與口碑。這些是入門的要求，通過檢定成為Supervisor之后，須受NEBB管轄，并且要時時溫習法規(guī)規(guī)范與關注新科技發(fā)展，每年向NEBB報到至少一次，兩年復檢一次資格，要求很多。
因此無塵車間性能測試誰都可以做，只要會操作儀器就可以；但是要得到嚴謹可信賴的測試數(shù)據(jù)，就必須依靠資格符合的專業(yè)人士。以下資料是塵室的各項性能測試說明，首先是測試簡介，說明一些基本概念，之后是測試程序及注意事項。至于測試的底線，就是數(shù)據(jù)不可更改也不可拋棄，這是不變的鐵律。http://m.gxshunjiang.com/
無塵車間測試簡介
在測試無塵車間之前，若是能對測試規(guī)范、無塵車間基本概念、無塵車間的術語等有些了解，對測試當有幫助。這里是一些背景資料，提供給讀者參考。
有關無塵車間定義、建造、控制、管理等等的國際標準，在網(wǎng)路上用?contamination
control?搜尋，可以找到很多相關資料。無塵車間的定義，最早是在美國聯(lián)邦標準209上出現(xiàn)，之后日漸普及并廣為半導體業(yè)與制藥業(yè)接受。在歐洲與日本，隨著工業(yè)的日益發(fā)展，各國的版本也逐漸出現(xiàn)。到了90年代后期，產業(yè)界體認到若是無共同標準，就不能實現(xiàn)經濟的全球化，于是有ISO-14644的產生。以下說明無塵車間的各種標準與規(guī)范。
1.?????Federal?Standard?209E?(Fed-Std-209E)
：美國聯(lián)邦標準209E，209的出版發(fā)行，是在1960年代，之后不斷改版以因應科技進步與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美國正式宣布廢止209E，改用ISO-14644，于是209E在書面上走入歷史。但是在產業(yè)界，除了部份的歐洲公司之外，美國、日本、臺灣、與中國大陸，都還沿用209E。微粒計數(shù)器的制造商，雖然都推出滿足公制計數(shù)法的新機型，但是要等舊機器完全淘汰，恐怕還要很長時間，因此新規(guī)范ISO-14644還沒能取代209E。
2.
ISO-14644系列；美國政府為了推動經濟全球化，就很大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的國際標準ISO-14644。14644系列有8個子題〈Part〉，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-8。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監(jiān)視的規(guī)范、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其他的有關設備等，范圍很廣。有些主題已經定案，如Part
1和Part?2，有些只有初稿〈Draft〉，有些連初稿都還沒有，讀者可以到ISO或IEST的網(wǎng)站上訂購。
3.?????JIS?B9920?(1989)：日本的潔凈標準，規(guī)定無塵車間中浮游粒子的濃度測定方式，及潔凈度的等級定義。
4.?????VDI?2083?(1993)：德國的潔凈標準，規(guī)定潔凈度等級的定義方式，以及潔凈度的量測技術。
5.?????Gost-R?50766?(1995)：俄國的潔凈標準，定義無塵車間的分類與一般需求。
以上是無塵車間等級規(guī)定，與潔凈度量測的相關標準。另外有關無塵車間污染控制〈也就是潔凈度控制〉，和環(huán)境控制〈如溫?度、震動噪音等〉，也有一些重要的測試規(guī)范，因為這些環(huán)境影響因素，都包含在無塵車間性能測試的范圍之內。
1.?????IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測試規(guī)范，目的就是為了補209的不足。209只有微粒量測，006
包括了風速風量、濾網(wǎng)泄漏、潔凈度、溫?度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。006?的第一版稱為006-84-T，006.2是第二版。現(xiàn)在由于?NEBB
的興起，0062已經功成身退，逐漸消失了。
2.?????NEBB?無塵車間測試規(guī)范第二版：這是目前最廣為流行的測試規(guī)范，提到無塵車間認證，就非?NEBB?莫屬。NEBB
無塵車間測試規(guī)范，可說是IEST-0062的改良版，其測試涵蓋范圍差不多，但是測試程序更為清楚嚴謹，儀器使用也有詳細規(guī)定。因此?NEBB
無塵車間測試規(guī)范的出現(xiàn)，解決了不少測試的爭議，也因此?NEBB?無塵車間測試規(guī)范成功的成為產業(yè)標準。有關?NEBB，請參照本站?NEBB。
3.?????ISO-14698?系列：14698?有?Part?1、Part?2、Part?3?三個子題，是有關無塵車間里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一種行業(yè)，甚至每一家公司或工廠，對無塵車間的要求可能都不一樣。以上所列無塵車間定義與無塵車間測試規(guī)范，雖然以可滿足大部份廠商的需求，但是嚴格來講，這些規(guī)范也只是一個參考。各公司在訂定測試規(guī)格時，應依照自己的制程需求，在上述規(guī)范里取出自己適用的部份，并要求供應商與測試單位照辦，必要時可以酌情修改測試標準，才能真正滿足自己的需求。
1.
無塵車間定義：無塵車間是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建筑。一般而言，無塵車間也會對溫?度、氣流運動模式、與震動噪音等環(huán)境因素做控制。
2.
微?？刂疲簾o塵車間微?？刂频牡谝徊?，是把室內微粒對制程影響的程度做完整分析，然后針對分析結果，訂定恰當?shù)奈⒘？刂品绞脚c無塵車間管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時，必須特別注意數(shù)據(jù)的量化，也就是粒徑與其數(shù)量對制程的影響，才是有用的數(shù)據(jù)。
3.?????外來污染源：從無塵車間外進入系統(tǒng)的污染源，外來污染源主要是由空調通風系統(tǒng)所導入，另外門、窗、墻壁裂縫等也是外來污染源的成因。
4.?????內部污染源：無塵車間內部產生污染的來源，一般是制程機器與操作員工，最嚴重的內部污染源一般是操作員工。
5.?????隔離：隔離是污染控制的一種觀念，也就是讓污染源隔絕在無塵區(qū)域之外。這種觀念多應用在高潔凈度的無塵環(huán)境，例如?Class?100，Class
10，Class?1等高濾網(wǎng)覆蓋率的無塵車間，或是使用迷你潔凈室將機臺整個包住。
6.?????稀釋：稀釋是污染控制的另一種觀念，多應用在潔凈度不高的無塵車間。例如在?Class
10000的無塵車間，因為換氣量不大，制程與人員產生的粒子就會在室內打轉，要比較常的時間才會排出。因此新的干凈空氣只能稀釋室內的微粒濃度，讓室內潔凈度控制在某一等級之下就可以了，部要求把人員與制程隔開。使用稀釋法作為?？刂茣r，要特別注意本節(jié)第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產生速率，才能有效的稀釋微粒。
7.
氣流模式：指的是流場型態(tài)，氣流分布，氣流的流向等性質。由于微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此愈潔凈的無塵車間或是無塵區(qū)域，對氣流模式的掌控就愈重視。基本上要先掌握氣流模式，才能掌握潔凈度。
8.?????單一流向型氣流：氣流以同一個方向移動，這種無塵車間稱為單一流向型無塵車間，以前稱為層流型無塵車間，定義并無多大改變。高潔凈度無塵車間需要單一流向型氣流。
9.?????非單一流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無塵車間，潔凈度較低的無塵車間都是用非單一流向型氣流以節(jié)省成本。
10.?As-built?cleanroom（剛完工的無塵車間）：已經完成且可以操作，所有相關支援設施皆已完成的潔凈室，但并沒有設備及操作設備的人員。
11.?At-rest
cleanroom（準備中的無塵車間）：已經完成且可以操作，所有相關支援設施皆已動作的無塵車間，設備已載入并可以操作或已在運轉，1如所指定，但沒有操作設備的人員。
12.?Operational
cleanroom（操作中的無塵車間設施）：一個已在正常運轉的無塵車間，所有相關支援設施皆已動作，設備及人員皆已載入，運轉狀況可以呈現(xiàn)和達到其正常的功能。
無塵車間的等級
使用者在開無塵車間的等級給供應商時，有以下幾個小技巧。首先是等級定義的模式如下：
Class?X?(at?Y?μm?)
其中?X?是無塵車間的等級，例如?100?或?10000?等等，Y是粒徑如?0.2μm?,?0.5μm
等，可復選。意思就是使用者規(guī)定，該無塵車間微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭，以下是幾個例子：
Class1?(0.1μm,?0.2μm?,?0.5μm)
Class?100(0.2μm?,?0.5μm?)
Class?100(0.1μm,?0.2μm?,?0.5μm?)
在?Classes?100?(M3.5)?and?Greater??(Class?100，1000，10000….)?，一般看一個粒徑即可。在
Classes?Less?than?100?(M3.5)??(Class?10，1….?)?，一般要看多幾個粒徑。
第二個技巧是規(guī)定無塵車間的狀態(tài)，例如：
Class?X?(at?Y?μm?)，?At-rest
供應商就很清楚知道無塵車間要在?At-rest狀態(tài)下驗收。
第三個技巧是自訂微粒濃度上限，一般在?As-built?時無塵車間都很干凈，微?？刂颇芰y試不易，這時可以干脆把驗收上限壓低，例如：
Class?10000?(0.3?μm?<=?10000)，?As-built
Class?10000?(0.5?μm?<=?1000)，?As-built
這樣做的目的是確保無塵車間在?Operational?狀態(tài)時，依然有足夠的微?？刂颇芰Α?/p>
以下兩個表是?Fed-Std-209E?的等級定義，和ISO-14644的等級定義。
Fed-Std-209E?潔凈度定義
Class?NameClass?Limits
0.1μm?0.2μm?0.3μm?0.5μm?5μm
Volume?Units?Volume?UnitsVolume?Units?Volume?Units?Volume?Units
SI?U.S.?(m3)?(ft3)?(m3)?(ft3)?(m3)?(ft3)?(m3)?(ft3)?(m3)?(ft3)
M?1???350?9.91?75.7?2.14?30.9?0.875?10.0?0.283?–?–
M?1.5?1?1,240?35.0?265?7.50?106?3.00?35.3?1.00?–?–
M?2???3,500?99.1?757?21.4?309?8.75?100?2.83?–?–
M?2.5?10?12,400?350?2,650?75.0?1,060?30.0?353?10.0?–?–
M?3???35,000?991?7,570?214?3,090?87.5?1,000?28.3?–?–
M?3.5?100?–?–?26,500?750?10,600?300?3,530?100?–?–
M?4???–?–?75,700?2140?30,900?875?10,000?283?–?–
M?4.5?1,000?–?–?–?–?–?–?35,300?1,000?247?7.00
M?5???–?–?–?–?–?–?100,000?2,830?618?17.5
M?5.5?10,000?–?–?–?–?–?–?353,000?10,000?2,470?70.0
M?6???–?–?–?–?–?–?1,000,000?28,300?6,180?175
M?6.5?100,000?–?–?–?–?–?–?3,530,000?100,000?24,700?700
M?7???–?–?–?–?–?–?10,000,000?283,000?61,800?1,750
ISO-14644?潔凈度定義
ISO?classification?number(N)?Maximum?concentration?limits?(particles/m3?of
air)?for?particles?equal?to?and?larger?than?the?considered?sizes?shown
below?(concentration?limits?are?calculated?in?accordance?with?equation
(1).
0.1?mm?0.2?mm?0.3?mm?0.5?mm?1?mm?5?mm
ISO?Class?1?10?2
ISO?Class?2?100?24?10?4
ISO?Class?3?1?000?237?102?35?8
ISO?Class?4?10?000?2?370?1?020?352?83
ISO?Class?5?100?000?23?700?10?200?3?520?832?29
ISO?Class?6?1?000?000?237?000?102?000?35?200?8?320?293
ISO?Class?7???????352?000?83?200?2?930
ISO?Class?8???????3?520?000?832?000?29?300
ISO?Class?9???????35?200?000?8?320?000?293?000
NOTE??Uncertainties?related?to?the?measurement?process?requires?that
concentration?data?with?no?more?then?three?significant?figures?be?used?in
determining?the?classification?level.
Equation?(1):?Cn?=?10N?X?(0.1/D)2.08?其中Cn是微粒濃度，N?是潔凈度，D?是粒徑
比較以上兩表我們可看出
1.?????209E?的公制和英制兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關性。兩制放同一表，徒然造成混淆
2.?????在兩表中?0.5?mm?幾乎出現(xiàn)在每一個等級定義中，表示粒徑?0.5?mm?的粒子非常具有代表性
3.?????在潔凈度的分類上，不管是在高潔凈度，或是低潔凈度，?ISO-14644?的范圍比?209E?都來的廣，因此具有未來性
凡是和無塵車間環(huán)境控制有關的因素，都在無塵車間認證的范圍之內。在無塵車間完工之前，業(yè)主、施工單位、與測試單位?應就以下幾個主題做詳細討論并達成協(xié)議，以利測試進行。
1.?????待測無塵車間涵蓋范圍、等級、面積、濾網(wǎng)位置、與數(shù)量
2.?????測試的目的
3.?????測試程序
4.?????使用儀器
5.?????測試報告撰寫方式與內容
6.?????工期
在測試前，將以上項目定義清楚，可以使測試順利進行，發(fā)現(xiàn)問題時也可以盡快排除，對業(yè)主和施工單位都有利。
IEST-0062?有一個表說明測試項目，以及適用狀態(tài)，具有相當參考價值表列如下。
IEST-RP-CC006.2?Table?1
章節(jié)測試項目單一流向型?非單一流向型?混合型
6.1?風量與均勻度
風速與均勻度?1,2,3
1,2,3?1,2,3
OPT?1,2,3
OPT
6.2?濾網(wǎng)泄漏?1,2?1,2?1,2
6.3?潔凈度?1,2,3?1,2,3?1,2,3
6.4?壓力?1,2?1,2,3?1,2,3
6.5?平行度?1,2?N/A?OPT?(1,2?only)
6.6?空間泄漏?1,2?1,2?1,2
6.7?恢復率?N/A?1,2?1,2
6.8?粒子沉降測試?1,2,3?1,2,3?1,2,3
6.9?照度?1,OPT(2,3)?1,OPT(2,3)?1,OPT?(2,3)
6.10?噪音?1,2,3?1,2,3?1,2,3
6.11-6.13?溫?度?1,2,2
OPT?1,2,3
OPT?1,2,3
OPT
6.14?振動?OPT?OPT?OPT
測試的順序沒有硬性規(guī)定，但是仍舊存在某些比較理想的順序
1:?測試適用于?As-built?狀態(tài)
2:?測試適用于?At-rest?狀態(tài)
3:?測試適用于?Operational?狀態(tài)
N/A:?代表該測試在該狀態(tài)下?不適用?
OPT:?代表該測試在該狀態(tài)下為?選擇性測試?，可以視制程需求而定
由上表可看出，風量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因為不易受干擾。風速量測，在非單一流向型〈亂流型〉無塵車間就不推薦，因為容易受干擾。當然這是?IEST
的建議，我們可以自行決定。
至于測試的項目選擇，NEBB?建議：依重要性分成三級，說明如下。
第一級〈Level?I〉:?第一級測試是所謂的主要測試，與潔凈度直接有關的測試都屬第一級，每個無塵車間都應至少應做的測試。第一級測試項目包括：
A.?風速量測
B.?風量量測
C.?前兩項的均勻度分析
D.?濾網(wǎng)泄漏測試
E.?潔凈度測試
F.?壓力量測
第二級〈Level???II〉:?第二級測試，雖然也是與潔凈度與氣流有關，但是只有在特殊情況下才需要進行。
A.?氣流平行度量測〈只適用層流型無塵車間〉
B.?空間泄漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉
C.?恢復率測試〈依建議只適用亂流型無塵車間〉
D.?粒子沉降測試〈近年來已經很少做〉
第三級〈Level???III〉:?第三級測試就與氣流無關，都是屬于環(huán)境因素。
A.?照度與其均勻度
B.?噪音測試
C.?振動測試
D.?溫?度測試
這里說明?NEBB?所要求無塵車間性能測試的各項測試程序，當然這些程序是?NEBB?所認定的基本要求，業(yè)主可視狀況自行修改。NEBB
唯一的要求是，若是修改后的程序比較寬松，就不能說是符合?NEBB?標準。
2.1?氣流量測
無塵車間內的氣流控制，是維持潔凈度的關鍵，因此高效濾網(wǎng)〈HEPA
Filter〉的出口速度控制，是非常重要的課題。由于濾網(wǎng)速度關系著空氣流場型態(tài)、微?？刂颇芰?、換氣量與平行度等，因此無塵車間的氣流量測，是無塵車間認證的第一步。經由數(shù)據(jù)分析，可察覺問題所在，再對無塵車間做細微的調整，使性能達到要求。
本章說明無塵車間氣流量測的步驟，分為速度與均勻度量測，風量與均勻度量測，平行度量測等三部份。量測程序與數(shù)據(jù)分析，都是依照?NEBB?的標準。
一、濾網(wǎng)速度與均勻度量測
1?測試目的
氣流是控制潔凈度與溫?度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風速量測，都是放在無塵車間測試的第一步。風速量測的目的，是確認濾網(wǎng)送出的氣流滿足設計規(guī)范，其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。
單一流向型無塵車間，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無塵車間，由于微粒控制的觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要，因此多只需要量測風量。
在單一流向型無塵車間，風速量測的位置可由業(yè)主指定，一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。但是需注明是濾網(wǎng)風速量測（濾網(wǎng)表面）或是無塵車間室內風速量測（工作高度）。
2?使用儀器
無塵車間里面使用的?HEPA/ULPA?濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在?0.5m/s
以內，因此所使用的風速計必須屬于低速型。濾網(wǎng)風速量測可使用單點式風速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線式風速計。也可以使用多點式風速計如?Shortridge
Velgrid?16?點風速計。輪葉式風速計因使用范圍不同，通常不在無塵車間內使用。熱線式風速計（Hot?Wire）雖然高頻響應良好，但是低速時〈0.5m/s
以下〉準確性很低，因此不很適用，一般熱反應風速計常用的是?Thermeister?式風速計。轉輪式風速計由于本身重量問題，也不適用低速。NEBB?的要求是在
50fpm?到?120fpm?之間〈0.25?m/s?到?0.6?m/s〉，要有??±5?percent?of?the?reading??的精確度。
檢驗儀器須經校正合格，且仍在有效期限內。于正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格的校正文件。
3?測試步驟
(1)????在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。
(2)????取樣點位于濾網(wǎng)下方75-150mm處。
(3)
每一個濾網(wǎng)下，若是使用單點式風速計，則每1平方英尺取一點；若是使用多點式風速計，則每4平方英尺取一點。以600┨×1200┨濾網(wǎng)為例，單點式風速計要量8點；多點式風速計要量2點。
(4)????每量測點必須取5秒的平均。
(5)????依驗收標準分析所有風速，計算平均值、標準差、相對標準差，并標明不合格測試點。
(6)????記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。
風速量測的測試步驟，在單一流向型或非單一流向型無塵車間都相同。重要的是在非單一流向型無塵車間測試時，特別注意取樣時風速計不可受到干擾，以免影響準確度。
4?數(shù)據(jù)分析
風速量測很簡單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。
1.????平均值：將所有風速量測值取算數(shù)平均
VAM?=?(V1+V2+…+VN)/N
2.????標準差：計算所有風速量測值的標準差
3.????相對標準差：相對標準差是一個百分比，將標準差除以平均值，再乘以100得到百分比
RSD=?SDV/VAM?×100
風速量測很簡單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。
由以上說明可看出，相對標準差其實只是把標準差去單位化，其物理意義與標準差一樣，都是數(shù)據(jù)偏離平均值的程度。因此，相對標準差愈高，代表這一群數(shù)據(jù)愈不均勻，在垂直層流場合，當然希望相對標準差愈低愈好。
5?驗收標準
驗收基準必須是由業(yè)主訂定，設計團隊依照業(yè)主要求設計空調系統(tǒng)，測試單位則依規(guī)范測試，提供給業(yè)主作為允收依據(jù)。一般而言，允收條件有以下三種。
1.?????相鄰兩點之風速值，差距不可大于20?
2.????量測之平均風速，應在設計規(guī)格之?±5?以內
3.????相對標準差應在?±15%以內
關于第一?的規(guī)定，差距大于20?表示這一區(qū)已經有足夠條件產生區(qū)域亂流，必須加以調整。關于第二條，無塵車間里面，單一的濾網(wǎng)平均風速，通常會定在設計規(guī)格
±10?以內，總量才是±5?以內。一般空調則是個別出風口?±20?以內，總量?±10?以內。
二、濾網(wǎng)風量與均勻度量測
1?說明
風量量測的目的通常是用來計算換氣量，一般是在非單一流向型無塵車間，或是量測空調系統(tǒng)中各式各樣的出風口、回風口、排氣口等的風量時使用。只有在無法使用氣罩的場合（氣罩體積較大，有時會受限制），才能使用風速乘以面積等于風量的方式，用風速來換算風量。使用風速換算風量時，須注意出風口之有效面積以及修正系數(shù)的取得。在回風口和排氣口，使用換算法的準確度非常差，應盡量避免。
同樣氣罩通?？梢粤繙y送風與回風，正值代表送風，負值代表回風或排氣。須注意的是反向量測時，其量測范圍通常會降低。
2?測試儀器：
風量量測應當使用氣罩（Flow?Measuring?Hood），氣罩的量測范圍是?15~2500?cfm，精確度要求為讀數(shù)的±3%。
由于氣罩本身會產生壓損，因此其形狀很重要，應盡量使用原廠氣罩。若有必要自行制造罩子，應注意氣流順暢并且做詳細比對。氣罩的校正非常重要，必須主機連同罩子一起校正，才能得到準確校正值。檢驗時必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。
3?測試步驟：
(1)?在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。
(2)?使用恰當尺寸氣罩將出風口完全罩住，然后量測與計錄。
(3)????依驗收標準分析所有風量，計算平均值、標準差、相對標準差，并標明不合格測試點。
(4)?記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。
4?數(shù)據(jù)分析：
風量均勻度的計算與風速向同，都是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。
1.????平均值：將所有風量量測值取算數(shù)平均
QAM?=?(Q1+Q2+…+QN)/N
2.????標準差：計算所有風量量測值的標準差
3.????相對標準差：相對標準差是一個百分比，將標準差除以平均值，再乘以100得到百分比
RSD=?SDQ/QAM?×100
如前述在垂直層流場合，當然希望相對標準差愈低愈好。但是氣罩一般適用在非單一流向型無塵車間，其濾網(wǎng)覆蓋率并非100?，因此計算相對標準差就沒意義。在一般空調更是不需計算相對標準差。
5?驗收標準：
驗收基準必須是由業(yè)主訂定，一般可接受范圍與風速相同，條列如下。
1.?????相鄰兩點之風量值，差距不可大于20?
2.????量測之平均風量，應在設計規(guī)格之?±5?以內
3.????相對標準差應在?±15%以內
三、氣流平行度量測
1?測試目的
平行度量測的目的，是觀察在工作區(qū)域里面氣流的運動模式，同時也可以觀察儀器設備對氣流的影響。平行度量測應該在氣流的風速與均勻度都測試完畢且通過之后進行，過早進行可能得不到正確的數(shù)據(jù)，結果是重測。
2?測試方法
一般而言平行度的量測，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質棉線。在無塵車間里面一般不使用煙霧，因為煙霧所含微粒太多，恐怕會造成污染。干冰加熱水可以制造水霧，水霧對半導體是無污染，但是在制藥廠或生化無塵車間，又怕細菌會粘著，因此也有缺點。PFA是polyfunctional
alcohol（多功能酒精？），是一種水性溶液，基本上是水加染料，然后用超音波打成水霧，釋放出之后就形成可見霧氣。
煙霧或水霧的共同優(yōu)點是只要粒子夠小，煙霧可隨風飄揚，可正確的反映氣流運動模式。但是其共同問題是滯空性不足，觀測時間太短。量測平行度需要花一些時間，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵車間可能造成污染。
另一種方式是使用輕質細線，讓細線隨風飄舞，然后測量氣流平行度。在早期由于棉線比較重，因此只有在風速很強的地方才能使用。無塵車間的風速較低，恐怕吹不動棉線，平行度根本無法量測。在無塵車間內普遍使用新的高分子材料
Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所制成，由于質量很輕因此適合作無塵車間平行度量測。
測量平行度的方法是立一根鉛垂線，然后在濾網(wǎng)下方施放煙霧或是安放細線，之后觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是量測細線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。
3?測試儀器
1.?????支架
2.??????鉛垂線
3.??????Flo-Viz?細線
4?測試步驟
1.????????用支架設立垂線作為基準線。
2.????????將細線在室內懸吊，使其自然下垂，細線會隨空氣流向飄移。
3.????????在離地2135mm處將鉛垂線與懸吊相交作為量測起點。
4.????????在離地915mm處量測懸吊線偏移鉛垂線的量(mm)。
5.????????偏移角=tan-1(懸吊線?移量/1220)。
6.????????每3m×3m區(qū)域量1點。
偏移角θ=
若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網(wǎng)下施放煙霧，然后將鉛垂線的上端點移動到與煙霧相接觸，之后如上圖所示，將紅線當成煙霧，再計算夾角就可以了。
5?使用三維超音波風速計
三維超音波風速計是實驗適用的精密量測儀器，拿進半導體廠內量測氣流平行度的機會不多，當然由于其客觀性十足，準確度自然較高。如果非用不可，其測試方式是把風速計架好，校準水平與方位，將探頭高度調整到1525mm，然后測量三維風速。三維風速的合量與垂直線的夾角，就是氣流的平行度。
6?驗收標準
驗收標準當然由設計規(guī)范決定，一般都是14度。
7?測試報告
測試報告需包括：
1.?????所有的量測位置
2.?????垂直水平方向位移量或風速
3.?????偏移角
4.?????與允收基準的比較
濾網(wǎng)面速量測實例
Airflow?velocity?and?airflow?volume?readings
Row?1?2?3?4
A??720
96???725
97???730
97???740
99
B??700
93???720
96???720
96???725
97
C??670
89???715
95???725
97???730
97
D??690
92???710
95???720
96???760
101
E??710
95???720
96???720
96???740
99
F??700
93????720
96???725
97???730
97
濾網(wǎng)面速之數(shù)據(jù)分析
平均值??VAM
VAM?=?(V1+V2+…+VN)/N
VAM?=?95.92?fpm
標準差??SDv
SDV?=?2.43
相對標準差??RSD
RSD?=?SDV?/VAM?=?2.43/95.92?=?2.53%
濾網(wǎng)流量之數(shù)據(jù)分析
平均值?QAM
QAM?=?(Q1+Q2+…+QN)/N
QAM?=?719.38?cfm
標準差?SDq
SDQ?=?17.71
相對標準差??RSD
RSD?=?SDQ?/QAM?=?17.71/719.38?=?2.46%
2.2?壓力量測
一、說明
壓力量測的目的是確認無塵車間空調系統(tǒng)的壓力設定。無塵車間內維持相當?shù)恼龎阂跃S持潔凈度，這已經是個?common
sense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是后來就取消了。目前常見的正壓值約是10到25?Pascal之間。
壓力量測的時機，應該是在風速、風量、平行度等與氣流直接相關的測試結束之后立即量測，尤其不可在潔凈度量測完畢之后才量測壓力。因為如果壓力不對，要立刻調整以免影響潔凈度。量測時，所有門窗都必須關上，所有的風扇也必須維持正常運轉。
二、測試儀器：
壓力量測可使用傾斜管壓力計，指針式壓力計，或是電子式壓力計，總之只要量測范圍與精確度滿足要求即可。壓力計之精確度要求為讀數(shù)的
±5%，量測范圍式壓力設計值而定，一般0~5mm?Aq?（0?50
Pascal）即可涵蓋室內外壓力差之量測。儀器需經校正合格且仍在有效期限內之才可以使用，檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。
三、測試步驟：
1.??????????必須在風速、風量、氣流等測試完成后，才能測試壓力，并且排氣與MAU要完全正常運轉。
2.??????????全部門與開口都要關閉。室外大氣壓力假設為?0.0mmAq?表壓力。
3.??????????測定潔凈區(qū)域與相鄰較次級潔凈區(qū)域之壓差，再量測房間與Gowning?room之間壓差，最后量測Gowning?room與外部之壓差。
4.??????????建議壓差值為5~12Pa，并無強制規(guī)定。
5.??????????記錄所有數(shù)值。
四、驗收標準：
無塵車間室內外壓差之驗收標準是由業(yè)主所指定。
五、使用發(fā)煙管：
壓力量測的目的是確認氣流可以依照設計的方向移動。若是沒有規(guī)定壓力值，只需確認流向正確，或是在不方便量測的區(qū)域，可考慮使用發(fā)煙管檢視空氣流向，但是需要業(yè)主同意。發(fā)煙管在空調系統(tǒng)測試調整時，是非常方便可靠的工具之一。，雖然不提供數(shù)值，但是可以確認氣流流向、，也可檢視泄漏，并且隨著煙霧的移動，可確認泄漏位置或縮小檢查范圍。
無塵車間完整性測試
另一個與壓力有關的測試是空間的完整性測試，完整性測試的英文原文是Integrity?Test，?Integrity
有完好無缺的意思，像濾網(wǎng)的泄漏測試，有些人就稱之為?Filter’s?Integrity?Test。
完整性測試的做法是在無塵車間外〈如走廊、或是隔壁等級較差之處〉施放微粒，然后在室內墻版接縫處用微粒計數(shù)器掃描，檢查有無泄漏。但是隨著無塵車間研究數(shù)據(jù)日益充實，專家發(fā)現(xiàn)只要維持適當正壓，污染微粒經由已經打上硅膠的墻縫侵入的機率微乎其微，因此現(xiàn)在都不做完整性測試。微粒雖然比較不會由墻縫入侵，但是會從配線的開口滲入，這點必須注意。
完整性測試已瀕臨淘汰，在此不多敘述，需要這項服務者請個別聯(lián)絡。
2.3?濾網(wǎng)泄漏測試
濾網(wǎng)的泄漏測試應當是無塵車間測試中，最復雜、最耗時間的量測項目。泄漏測試的目的，是要確認：1.濾網(wǎng)的材料無破損，2.安裝恰當。濾網(wǎng)出廠前當然要經過泄漏測試，但是在搬運與安裝過程難保完全無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當，微粒會從邊框漏進無塵車間風口。就算是FFU系統(tǒng)，天花板上是負壓，若是邊框機有微粒日后仍舊會產生問題。因此，邊框掃描一樣重要。
濾網(wǎng)泄漏測試基本上是把挑戰(zhàn)微粒施放在濾網(wǎng)上游，然后在濾網(wǎng)表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。測試方式有：1.氣膠光度計測試法，2.
微粒計數(shù)器測試法，3.全效率測試法，4.外氣測試法，說明如下。
一、氣膠光度計測試法
1.?說明
氣膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（Aerosol
Photometer）是微粒計數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學物質，加壓或加熱霧化之后，可以產生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵車間的微粒，因此被當成驗證微粒。
泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬分之一，由于氣膠光度計可以直接顯示上下游微粒濃度的比值，因此掃描濾網(wǎng)非常方便。也正因其準確、可靠，美國食品與藥品管制局（FDA）規(guī)定，在其管轄范圍內（食品加工場所與醫(yī)療制藥場所），所有的濾網(wǎng)泄漏測試必須使用DOP與氣膠光度計。近年來由于人們懷疑DOP會導致癌癥，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性類似，使用上無多大差異。
2.?測試儀器
本測試法使用儀器為氣膠光度計（Aerosol?Photometer）與微粒產生器（Aerosol
Generator）。氣膠光度計的顯示版有類比與數(shù)位兩種，每年必須校正一次。微粒產生器有兩種，一種是普通的微粒產生器，只要求高壓空氣，另一種是加熱型微粒產生器，要高壓空氣和電源，微粒產生器不需要校正。
特別注意：
使用?DOP?或是?PAO?當成挑戰(zhàn)微粒時，千萬不可以使用微粒計數(shù)器掃描。因為微粒計數(shù)器若是沾到?DOP?或是?PAO
等油性粒子，恐怕很快就要進廠保養(yǎng)，清洗雷射頭了。
3.?測試方式
濾網(wǎng)泄漏測試的步驟，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現(xiàn)泄漏、更換或修補、重測，其步驟說明如下。
1.????在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號。
2.????確定空調系統(tǒng)正常運轉并可供測試，風速與風量必需調整平衡完畢。
3.
使用氣膠產生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將PAO打入濾網(wǎng)上游，微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏，但是超過50微克以后差別不大，少于10則很難使用。微粒濃度可用風量粗略計算，再用氣膠光度計確認。
4.????上游微粒濃度確認后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，尋找泄漏，必要時濾網(wǎng)四周可用塑膠簾覆蓋以確保測試之準確。
5.????在濾網(wǎng)表面掃描，掃描之路徑可由外而內或沿長/短邊迂回檢測，其方式如下：
a.????每一濾網(wǎng)和其邊框均需測試。
b.????濾網(wǎng)之表面時，將探漏器擺設如圖(b)，用短邊方向前進，覆蓋全濾網(wǎng)
c.????掃描濾網(wǎng)邊框時，尤其濾網(wǎng)與Ceiling?Grid之間，探漏器擺設可以如上圖（a）或（b），涵蓋全部接縫。
d.????利用微粒計數(shù)器之方錐形(10mm*60mm)采樣器置于濾網(wǎng)下25mm左右，以50mm/sec速度儀動。
e.
氣膠光度計上的讀數(shù)是上下游百分比值，因此若是數(shù)值大于0.01，即可懷疑為泄漏，可退回約100mm反覆再測，如果沒有持續(xù)高讀數(shù)，則可繼續(xù)測試，反之即為有泄漏，需作記錄且日后修補或更換。
6.????濾網(wǎng)若有破損則應修補或更新，然后重新再測。
7.????邊框若有泄漏，應重新安裝、調整，直到無泄漏為止。
8.????記錄時必須登記掃描結果，泄漏狀況與處理方式。
4.?驗收基準
1.????凡是連續(xù)性讀值超過0.01?視為泄漏，每一片濾網(wǎng)測試及修換后均不得有泄漏，邊框也不得有泄漏。
2.????每一片濾網(wǎng)的修補面積不得大于濾網(wǎng)面積的3。
3.????任何修補長度不得大于38┨（1.5英?）。
二、微粒計數(shù)器測試法
1.?說明
半導體業(yè)方面，早期也是使用DOP/PAO與氣膠光度計，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵車間使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經過科學家一步步研究結果，發(fā)現(xiàn)PSL因為微粒的粒徑與濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標準微粒。使用時只要把PSL溶液霧化，導入濾網(wǎng)上游即可。
2.?測試儀器
微粒計數(shù)器測試法使用儀器是微粒計數(shù)器、微粒稀釋器與微粒產生器，微粒計數(shù)器每一年要校正一次，微粒稀釋器與微粒產生器不用校正，但是微粒稀釋器要定期保養(yǎng)以免阻塞。
3.?測試方式
測試步驟與氣膠法相同，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現(xiàn)泄漏、更換或修補、重測，其步驟說明如下。
1.????在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號。
2.????確定空調系統(tǒng)正常運轉并可供測試，風速與風量必需調整平衡完畢。
3.????使用微粒產生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將霧化的?PSL
打入濾網(wǎng)上游，同時使用微粒計數(shù)器監(jiān)視上游的微粒濃度，使微粒濃度達到每立方英尺至少有80萬顆微粒，并且維持該濃度直到掃描完畢為止。為保護微粒計數(shù)器，一般會在微粒計數(shù)器空氣吸入口加裝固定倍率的微粒稀釋器。
4.????上游微粒濃度確認后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，尋找泄漏，必要時濾網(wǎng)四周可用塑膠簾覆蓋以確保測試之準確。掃描時探漏器離濾網(wǎng)的距離是25┨。
5.????微粒計數(shù)器測試法的掃描速度，是一個上游濃度的函數(shù)，不是一個定值，其計算公式如下：
SR：掃描速率
CC：上游濃度
LS：泄漏定義，如0.01?
FS：流量，一般是?1?cfm
DP：探漏器尺寸，沿移動方向
NP：代表泄漏顆粒數(shù)
6.????由上式可看出，上游濃度愈高，掃描可以愈快。掃描的方式與氣膠法相同，路徑可由外而內或沿長/短邊迂回檢測。
7.????濾網(wǎng)若有破損則應修補或更新，然后重新再測。
8.????邊框若有泄漏，應重新安裝、調整，直到無泄漏為止。
9.????記錄時必須登記掃描結果，泄漏狀況與處理方式。
4.?驗收基準
1.????凡是連續(xù)性讀值超過0.01?視為泄漏，每一片濾網(wǎng)測試及修換后均不得有泄漏，邊框也不得有泄漏。
2.????每一片濾網(wǎng)的修補面積不得大于濾網(wǎng)面積的3?。
3.????任何修補長度不得大于38┨（1.5英?）。
三、全效率測試法
1.?說明
在某些場所如袋進袋出濾網(wǎng)系統(tǒng)（Bag-in-Bag-out?Filtration
System），或是濾網(wǎng)位于風管中段（醫(yī)院空調常用，）上游可施放微粒但下游無法掃描，就必須使用全效率測試法。全效率測試法是因為在下游無法掃描，僅能抽取一些空氣樣本做分析比較，若是下游微粒含量超過某定值則判定為泄漏，整片濾網(wǎng)要更換。這種測試方法的準確度并不高，因此泄漏的定義值一般要取低一些以增加準度，例如認定上游的0.005?或0.001?為泄漏。盡管如此，其準確度經常受到質疑，因此應盡量避免。以袋進袋出濾網(wǎng)系統(tǒng)而言，濾網(wǎng)安裝后根本不能掃描，最好的方式是安裝前先全面積掃描，確認無破損，安裝時小心安裝，安裝后再做全效率測試，就可減少爭議，至少可以厘清制造商的責任。
2.?測試儀器
全效率測試法可應用在不同場所，只要和FDA有關，就必須使用氣膠光度計，和半導體有關，就必須使用微粒計數(shù)氣。前述袋進袋出濾網(wǎng)系統(tǒng)因為都是用在醫(yī)院與生化實驗室，因此都是用氣膠光度計。
3.?測試方式
全校律法的測試步驟基本上也是上游施放挑戰(zhàn)粒子，下游抽氣檢驗，以決定其總體性能表現(xiàn)。其測試步驟如下。
1.????在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號。
2.????確定空調系統(tǒng)正常運轉并可供測試，風速與風量必需調整平衡完畢，并且經業(yè)主認定為合格。
3.????使用氣膠產生器或微粒產生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，使微粒濃度達到與維持在規(guī)定值。施放時須注意挑戰(zhàn)微粒的均勻度。
4.????上游微粒濃度確認后，就可以在濾網(wǎng)下游抽氣，檢查濃度。抽氣位置要盡量向后延伸，讓泄漏出的微粒與干凈空氣完全混合。
5.????若是下游濃度超過設定值則判定為泄漏，需要更換濾網(wǎng)。
4.?驗收基準
由于全效率測試法并非全面積掃描，也沒有邊框的問題，因此只能規(guī)定有泄漏就得換新。
四、外氣測試法
1.?說明
外氣測試法基本上是測試空調相里面的高效濾網(wǎng)時使用，因為該濾網(wǎng)直接吸入外氣，若是上游再施放粒子就有點浪費，因此就利用外氣當成挑戰(zhàn)微粒，在濾網(wǎng)表面直接搜尋泄漏。由于外氣粒子含量不穩(wěn)定，因此這種測試法較不可靠。
2.?測試儀器
外氣測試法大部份用在空調箱，使用儀器取決于主系統(tǒng)，只要和FDA有關，就必須使用氣膠光度計，和半導體有關，就必須使用微粒計數(shù)氣。
3.?測試方式
外氣測試法的測試步驟如下。
1.????在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號。
2.????確定空調系統(tǒng)正常運轉并可供測試，風速與風量必需調整平衡完畢。
3.????使用氣膠光度計或微粒計數(shù)器測試上游微粒濃度。
4.????上游微粒濃度確認后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，檢查泄漏。掃描方式依不同儀器而異，請參考第一、二節(jié)。
5.????發(fā)現(xiàn)泄漏，則要需要修補或更換濾網(wǎng)。
6.????邊框部份也要掃描。
4.?驗收基準
1.????凡是連續(xù)性讀值超過0.01?視為泄漏，每一片濾網(wǎng)測試及修換后均不得有泄漏，邊框也不得有泄漏。
2.????每一片濾網(wǎng)的修補面積不得大于濾網(wǎng)面積的3?。
3.????任何修補長度不得大于38┨（1.5英?）。
2.4?潔凈度量測
一、說明
潔凈度測試是無塵車間性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都只在確認無塵車間的潔凈度不受外來影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項測試都通過之后。潔凈度測試完畢，與落塵有關的性能因素就都測試完畢，其他測試對潔凈度影響不大，或是屬于其他環(huán)境測試。
二、測試儀器
潔凈度測試使用微粒計數(shù)器，儀器須經校正合格且仍在有效期限內，于檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。
微粒計數(shù)器有不同規(guī)格，最常見的是流量1cfm，最小粒徑可測到0.3mm或是0.1mm，單位多是立方英?。至于應使用何種機臺，要依業(yè)主的規(guī)范而定。一般在產業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計數(shù)器。
Class?1000或更高：?0.5μm
Class?100：?0.2μm
Class?1?到?Class?10：?0.1μm
若是業(yè)主要求的立境范圍超過單一微粒計數(shù)器的范圍，則應該使用兩部微粒計數(shù)器。
目前市面上少見立方公尺的微粒計數(shù)器，因此若是無塵車間的潔凈度是以ISO為基準，則要把結果作換算。單位換算，不影響新賴度上限的計算程序。
三、測試步驟：
(1)確定空調系統(tǒng)之測試調整與平衡已完成，濾網(wǎng)之風速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。
(2)確認測試位置與測試點數(shù)：
(2.1)?測試高度：約1.00m處，或由業(yè)主指定。
(2.2)?測試點數(shù)：
單一流向型無塵車間，取樣點數(shù)計算公式如下。
公制：
（a）???或（b）
其中?N?代表公制的無塵車間等級，area是面積，單位是平方公尺，但是小數(shù)點要無條件進位。在上兩式中取較小的值，??就是無塵車間潔凈度測試的最小測量點數(shù)。
英制：
（a）????????或（b）
其中N代表公制的無塵車間等級，area是面積，單位是平方英?，但是小數(shù)點要無條件進位。在上兩式中取較小的值，就是無塵車間潔凈度測試的最小測量點數(shù)。
非單一流向型無塵車間，取樣點數(shù)計算公式為
公制：
其中N代表公制的無塵車間等級，area是面積，單位是平方公尺。，小數(shù)點要無條件進位。這個值，就是無塵車間潔凈度測試的最小測量點數(shù)。
英制：
其中N代表英制的無塵車間等級，area是面積，單位是平方英?，小數(shù)點要無條件進位。這個值，就是無塵車間潔凈度測試的最小測量點數(shù)。
注意：每個無塵車間或無塵獨立隔間的最少量測點數(shù)是?2?點，最少的樣本總數(shù)是?5?個樣本。
(3)?取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而異，可參考NEBB規(guī)范TABLE?7-2之規(guī)定。若取樣時間小于一分鐘，則以一分鐘為準。
(4)
測試位置應均勻分布在無塵車間內，避免在會產生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當之架臺支撐，不可以手持支撐。另外，測試位置需在業(yè)主指定(及/)或標定位置之9m2內。代表該點的最后數(shù)據(jù)，這個最后數(shù)據(jù)需小于業(yè)主規(guī)定值。
(5)
量測點數(shù)依前述NEBB規(guī)范之公式計算（與209E相同）。任一區(qū)域內至少要有二點以上之測試點且須平均分布(除非有設備影響)，并且取樣數(shù)需大于或等于5次。任一區(qū)域之測試總點數(shù)若少于10點，需作信賴度上限分析(計算Upper
Confidential?Limit)。
(6)?需紀錄所有數(shù)值，包括統(tǒng)計分析數(shù)據(jù)。
四、驗收標準：
潔凈度的驗收基準有二，首先是每點的微粒量測平均值必須低于規(guī)定值。也就是如果某一點取樣三次，這三個數(shù)據(jù)的平均值代表該點的最后數(shù)據(jù)，這個最后數(shù)據(jù)需小于業(yè)主規(guī)定值。
任何量測點數(shù)少于10點的無塵車間（可能是無塵車間內的某一隔間），該隔間必須做信賴度上限分析。潔凈度的第二個驗收基準就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小于業(yè)主規(guī)定值。
一般而言，業(yè)主規(guī)定值都會比潔靜度等級定義少一些。在As-built測試時，規(guī)定值常常定為等級定義的10?，At-rest測試時，規(guī)定值常常定為等級定義的15?。這樣做的目的是確保在Operating
狀態(tài)，潔靜度可以為持在等級定義以下。
五、信賴度上限分析：
任一無塵車間或是獨立的隔間，若是取樣點數(shù)小于10（2到9），就必須做信賴度上限分析，分析結果需小于。信賴度上限分析有五個步驟，說明如下。
(1)????計算將該房間內，每一取樣點的平均值，也就是每個取樣點的所有樣本的平均值，代表該點的微粒量測值。公式如下?????????????????其中?Ai
代表取樣點的平均值，CN?是微粒量測值，N是每點的樣本總數(shù)。
(2)????計算在該房間內，所有取樣點數(shù)據(jù)的平均值（Mean），公式如下：
其中?AL?代表取樣點的平均值，M是房間內微粒總平均值，L是房間內總的取樣點數(shù)。
(3)????計算標準差（Standard?Deviation），公式如下：
其中SD代表標準差，?AL是取樣點的平均值，M是房間內微粒總平均值，L是房間內總的取樣點數(shù)。
(4)????計算標準誤（Standard?Error），公式如下：
其中SE代表標準誤，SD是標準差，L是房間內總的取樣點數(shù)。
(5)????計算信賴度上限（Upper?Confidential?Limit），公式如下：
UCL?=?M?+?(UCL?factor?x?SE)
其中UCL代表信賴度上限，M是房間內微粒總平均值，SE是標準誤，UCL?factor?要查表，表列如下。
取樣點總數(shù)?2?3?4?5?6?7?8?9?>9
95?%?UCL?factor?6.31?2.92?2.35?2.13?2.02?1.94?1.90?1.86?N/A
依照以上步驟所計算出的UCL，就是該房間的信賴度上限值。
2.5?溫?度量測
一、說明：
溫濕度量測的目的是確認室內之溫?度控制在范圍之內，溫濕度對微?？刂茮]有甚么影響，因此溫濕度測試屬于第三級測試（Level
3）。但是因無塵車間多半同時也是環(huán)控室，所以溫濕度常常就一并量測了。
溫濕度量測又分為一般量測和進階量測（General?Tests?and?Comprehensive
Tests），一般量測只是量測溫?度在量測點的即時數(shù)據(jù)（單一量測數(shù)據(jù)），適用在對溫?度要求不高的場所。進階量測就要紀錄在量測點一段長時間的溫濕度，目的是要觀察溫?度隨時間的變化情形，以確認溫?度在控制之下。進階量測適用在對溫?度要求比較高的場所。
二、測試儀器：
常見的溫?度儀器是電子式溫度計與鏡面冷凝光學式濕度計，一般量測和進階量測使用儀器的精度相同，溫度量測范圍是0-100℃，精確度是±0.2℃。?度量測范圍是10?到95?，精確度是±2?。
一般量測要求溫度之顯示值可顯示0.1℃的變化，?度的顯示值可顯示1?的變化。進階量測則要求溫度之顯示值可顯示0.05℃的變化，?度的顯示值可顯示0.1?的變化。
檢測儀器需校正合格且仍在有效期限內者，于測試前或交附報告時均須檢附合格之校正文件。
三、測試程序：
一般量測的程序如下
1.
確認空調系統(tǒng)已經安裝完成，并已完成測試、調整、平衡?？照{系統(tǒng)測試、調整、平衡可以平衡風量和水量，使其達到設計要求，為溫?度控制提供正確的運轉環(huán)境，因此系統(tǒng)要先平衡才能測試。
2.????依據(jù)平面圖，列出各種溫濕度要求區(qū)域，并使系統(tǒng)達到正常運轉狀況，系統(tǒng)應在溫濕度自動控制之下，至少運轉24小時以上。
3.????測試點數(shù)為每個房間至少量一點，并且每個溫?度控制區(qū)至少量一點，例如每個Dry?Coil的控制范圍要量一點，量測高度為(高架)地板上1.00m。
4.????將溫濕度感測器放置同一位置，待穩(wěn)定后開始記錄。
一般量測的報告應包括以下項目
1.????量測位置圖
2.????所量測的溫?度數(shù)值與取樣時間
3.????簡單數(shù)據(jù)分析
a.????取樣點總數(shù)
b.????最小值
c.????平均值
d.????最大值
e.????平均值減最小值與最大值減平均值
進階量測的程序如下
1.????確認空調系統(tǒng)已經安裝完成，并已完成測試、調整、平衡。
2.????依據(jù)平面圖，列出各種溫濕度要求區(qū)域，并使系統(tǒng)達到正常運轉狀況，系統(tǒng)應在溫濕度自動控制之下，至少運轉24小時以上。
3.????測試點數(shù)為每個房間至少量一點，并且每個溫?度控制區(qū)至少量一點，例如每個Dry?Coil的控制范圍要量一點，量測高度為(高架)地板上1.00m。
4.????將溫濕度感測器放置同一位置，待穩(wěn)定后開始記錄。
5.????至少每6分鐘紀錄一次溫?度值，并且持續(xù)紀錄2小時。亦即每一量測點至少有20筆數(shù)據(jù)。
進階量測的報告應包括以下項目
1.????量測位置圖
2.????所量測的溫?度數(shù)值與取樣時間
3.????簡單數(shù)據(jù)分析
a.????取樣點總數(shù)
b.????最小值
c.????平均值
d.????最大值
e.????平均值減最小值與最大值減平均值
4.????如有必要，應計算露點溫度
5.????外氣狀態(tài)
a.????溫度范圍
b.????降水狀況
c.?????度范圍
d.????溫?度極大值與極小值出現(xiàn)時間
6.????進階數(shù)據(jù)分析
a.????全部溫?度數(shù)據(jù)的最小值
b.????全部溫?度數(shù)據(jù)的平均值
c.????全部溫?度數(shù)據(jù)的最大值
d.????標準差
五、驗收標準：
依合約規(guī)定之各區(qū)域溫?度范圍驗收之。
2.10?導電度測試
導電度測試?(Conductivity)
1.?導電度可視為電流流經或繞過某物體之容易程度(relative?ease)?，電阻的倒數(shù)即導電度
2.?量測之目的是量測地板上點與點之間(Floor?Point?to?Point)的電阻，和地板與大地間(Floor?to?Ground)的電阻
3.?Floor?Point?to?Point??這是量測地板上任意兩點間，導電性的強度。
3.1?溫濕度需已經測試調整合格
3.2?每組數(shù)據(jù)需使用兩個電極
3.3?電阻計之開路電壓為500歐姆，內阻至少100000歐姆
3.4?短路電流界于2.5mA與5mA之間
3.5?電極間隔3?
3.6?每個無塵車間至少量5組數(shù)據(jù)，取平均值
4.?Floor?to?Ground??這是量測無塵車間地板與接地電極間，導電性的強度。
4.1?溫濕度需已經測試調整合格
4.2?儀器同前
4.3?電阻計兩端的電極，一個接在地板上，另一個連在最接近的建筑物柱子上
4.4?量測位置由Owner指定，應有20個位置
4.5?每位置取不同的5點量測，再取平均值
5.?平均之電阻應小于一百萬歐姆
6.?所有的原始數(shù)據(jù)與平均值都需表列于報告中
2.11?靜電測試
1.?測試目的
靜電問題不是只有半導體業(yè)才有，其他行業(yè)也有類似問題。微小物質上若是含有靜電，就會變成非常難處理的問題，因為傳輸變的很不容易。另外在無塵車間里面，若是物體表面帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成污染。靜電測試的目地是量測空氣中正離子與負離子的含量，依此數(shù)據(jù)可模擬物體在該氣流場中之殘余表面電壓。
2.?測試程序
2.1?于無塵車間內離地32英??(813?mm)?處，量測該位置之空氣中正離子與負離子的含量，單位是每立方公分之離子數(shù)。量測點數(shù)：10個，或由業(yè)主決定。
2.2?在同一位置做殘余電壓測試.
