潔凈室內(nèi)之污染路來源，經(jīng)測試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約80%。實驗數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進出潔凈室時塵埃有顯著增加，有人動作時，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。
潔凈室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng)、間隙滲入、建筑物、工作服、風(fēng)管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括制程設(shè)備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。
對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運作功能，因此微污染源的控制已成為潔凈室管理的重要環(huán)節(jié)。表一為自然環(huán)境所測得的塵埃濃度，可為設(shè)計參考，而在微污染控制，其基本原則有四：
1.外部塵埃侵入之防止
潔凈室適當(dāng)之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備、原材料搬入潔凈室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置。
2.室內(nèi)發(fā)塵之防止
隔間板、地板等潔凈室材料的適當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn)自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用潔凈室專用器等。
3.室內(nèi)發(fā)塵之不積留
墻壁體應(yīng)光滑無死角、潔凈室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。
4.發(fā)生塵埃之排除
換氣次數(shù)應(yīng)足夠，適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng)。人、物入室的管理問題、實際的作業(yè)條件和工程管理關(guān)聯(lián)之問題、室內(nèi)之空調(diào)及清掃關(guān)系之問題，這些問題將于下節(jié)詳述。
表1自然界微塵粒子數(shù)
| 測量地點 | 微塵粒子數(shù)（個/ft3）≥0.5μm |
| 大氣層圈 | ㄑ100 |
| 田園地區(qū)（微風(fēng)狀態(tài)） | 100，000~300，000 |
| 住宅地區(qū) | 100，000~200，000 |
| 辦公室（工作中） | 200，000~400，000 |
| 工業(yè)區(qū) | 400，000~1，000，000 |
| 正在吸煙的會議室 | 600，000~1，000，000 |
