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微電子潔凈室習(xí)題

2026-05-07

微電子潔凈室習(xí)題

 

一、填空

1.?空氣潔凈度級別以???????????????????????????????????????????來確定。

2. 1961年誕生了世界上最早的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)即????????????????????????????。1963年底頒發(fā)了潔凈室的一個軍用部分的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)即??????????????????。

3.?潔凈空間的污染源主要有?????????????????????????????????兩大類。

4.?廣義的大氣塵既包含???????????????也包含??????????????????????????,

是專指大氣中的懸浮微粒,粒徑小于?????????。在美國和日本,和這種廣義的大氣塵概念相對應(yīng)的是???????????????????????????????或者?????????????

5.?空氣中含塵濃度的三種表示方法??????????????????、??????????????????、

??????????????????????,潔凈室一般采用??????????????????????表示方法。

6.?和潔凈室有關(guān)的大氣菌主要是????? ?????????????????????????????。

7.?帶菌微粒的等價直徑是指?????????????????????????????????????????。

8.?在潔凈室技術(shù)中,最常用的是以??????????????????????????????????????

??????????????????????????????????????來確定空氣潔凈級別。

9.?潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量主要來自?????????????????。

10.?微粒過濾器按微粒被捕集的位置可以分為???? ????????、????????兩大類。

11.?五種過濾機(jī)制是?????????????????????、???????????????????????????

?????????????????、????????????????????????????????????????????????。

12.?評價任何過濾器,最重要的特性指標(biāo)有四項(xiàng):???????????? ????????????

?????????? ?????????????、???? ????????????????????????????

13.?影響過濾效率的主要因素有?????????????????????、?????????? ??????、

??? ?????????????????????????????????????? ?。

14.?氣體純度的表示方法有??????????????????????????????????????????

15.?根據(jù)氣體純度的不同,通常將氣體純度分為四級,分別為????????????????、

????????????????、? ?????????????????????????????????。

16.?氣體中的雜質(zhì)從其性質(zhì)方面考慮,可將其分為?????????????????????????、

???????????????????????????????、????????????????????????????????三類。

17.?氣體中的液體雜質(zhì)主要指??????????????????

18.?一般要求氣體中顆粒允許粒徑大小為電路設(shè)計(jì)最小線寬的????????????以下。

二、簡答

1.?試舉例說明氣體純度的表示方法。

2.??分子篩吸附原理

3.?鈀合金管純化氣體機(jī)理

4.儲氫合金瓶制取超純氫的原理及過程