潔凈室靜電測試內(nèi)容主要包括: 1 泄漏電阻 2 系統(tǒng)接地電阻 3 體積電阻 4 表面電阻 4 系統(tǒng)電阻
GB50591-2010 《潔凈室施工及驗收規(guī)范》 GB/T25915-2010 《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》
ISO 14644_2006 ?Cleanrooms and associated controlled environments