無塵室測試范圍介紹
凡是和無塵室環(huán)境控制有關(guān)的因素，都在無塵室認(rèn)證的范圍之內(nèi)。在無塵室完工之前，業(yè)主、施工單位、與測試單位?應(yīng)就以下幾個(gè)主題做詳細(xì)討論并達(dá)成協(xié)議，以利測試進(jìn)行。
在測試前，將以上項(xiàng)目定義清楚，可以使測試順利進(jìn)行，發(fā)現(xiàn)問題時(shí)也可以盡快排除，對(duì)業(yè)主和施工單位都有利。
IEST-0062有一個(gè)表說明測試項(xiàng)目，以及適用狀態(tài)，具有相當(dāng)參考價(jià)值表列如下。
IEST-RP-CC006.2 Table 1?
| 章節(jié) | 測試項(xiàng)目 | 單一流向型 | 非單一流向型 | 混合型 |
| 6.1 | 風(fēng)量與均勻度 風(fēng)速與均勻度 |
1,2,3 1,2,3 |
1,2,3 OPT |
1,2,3 OPT |
| 6.2 | 濾網(wǎng)泄漏 | 1,2 | 1,2 | 1,2 |
| 6.3 | 潔凈度 | 1,2,3 | 1,2,3 | 1,2,3 |
| 6.4 | 壓力 | 1,2 | 1,2,3 | 1,2,3 |
| 6.5 | 平行度 | 1,2 | N/A | OPT (1,2 only) |
| 6.6 | 空間泄漏 | 1,2 | 1,2 | 1,2 |
| 6.7 | 恢復(fù)率 | N/A | 1,2 | 1,2 |
| 6.8 | 粒子沉降測試 | 1,2,3 | 1,2,3 | 1,2,3 |
| 6.9 | 照度 | 1,OPT(2,3) | 1,OPT(2,3) | 1,OPT (2,3) |
| 6.10 | 噪音 | 1,2,3 | 1,2,3 | 1,2,3 |
| 6.11-6.13 | 溫濕度 | 1,2,2 OPT |
1,2,3 OPT |
1,2,3 OPT |
| 6.14 | 振動(dòng) | OPT | OPT | OPT |
測試的順序沒有硬性規(guī)定，但是仍舊存在某些比較理想的順序
1:測試適用于As-built狀態(tài)
2:測試適用于At-rest狀態(tài)
3:測試適用于Operational狀態(tài)
N/A:代表該測試在該狀態(tài)下?不適用?
OPT:代表該測試在該狀態(tài)下為?選擇性測試?，可以視制程需求而定
由上表可看出，風(fēng)量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因?yàn)椴灰资芨蓴_。
風(fēng)速量測，在非單一流向型〈亂流型〉無塵室就不推薦，因?yàn)槿菀资芨蓴_。當(dāng)然這是IEST的建議，我們可以自行決定。
至于測試的項(xiàng)目選擇，NEBB建議：依重要性分成三級(jí)，說明如下。
第一級(jí)〈Level I〉:第一級(jí)測試是所謂的主要測試，與潔凈度直接有關(guān)的測試都屬第一級(jí)，每個(gè)無塵室都應(yīng)至少應(yīng)做的測試。
第一級(jí)測試項(xiàng)目包括：
A.風(fēng)速量測
B.風(fēng)量量測
C.前兩項(xiàng)的均勻度分析
D.濾網(wǎng)泄漏測試
E.潔凈度測試
F.壓力量測
第二級(jí)〈Level?? II〉:第二級(jí)測試，雖然也是與潔凈度與氣流有關(guān)，但是只有在特殊情況下才需要進(jìn)行。
A.氣流平行度量測〈只適用層流型無塵室〉
B.空間泄漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉
C.恢復(fù)率測試〈依建議只適用亂流型無塵室〉
D.粒子沉降測試〈近年來已經(jīng)很少做〉
第三級(jí)〈Level?? III〉:第三級(jí)測試就與氣流無關(guān)，都是屬于環(huán)境因素。
A.照度與其均勻度
B.噪音測試
C.振動(dòng)測試
D.溫濕度測試
這里說明NEBB所要求無塵室性能測試的各項(xiàng)測試程序，當(dāng)然這些程序是NEBB所認(rèn)定的基本要求，業(yè)主可視狀況自行修改。NEBB唯一的要求是，若是修改后的程序比較寬松，就不能說是符合NEBB標(biāo)準(zhǔn)。
原文來源：http://m.gxshunjiang.com/
