半導(dǎo)體芯片制造要求做到非常精確。在鏡頭組件中所使用的元件是減震材料和薄膜。（Trelleborg Sealing Solutions）特瑞堡密封解決方案公司在英國(guó)蒂克斯伯里設(shè)有工廠，他們?cè)?strong>潔凈室環(huán)境里生產(chǎn)這些材料并封裝，以降低污染的風(fēng)險(xiǎn)。
在特瑞堡公司蒂克斯伯里的工廠，在潔凈室環(huán)境中生產(chǎn)減震材料和薄膜。在半導(dǎo)體行業(yè)，衡量單位是納米，以此為標(biāo)準(zhǔn)，基本上所有的微粒都是敵人。半導(dǎo)體芯片世界同時(shí)在兩個(gè)方向齊頭并進(jìn)。芯片的功能越來越強(qiáng)大，同時(shí)能夠提供更多的特性和功能，尺寸也越來越小。小型化要求制造工藝必須非常精確。
Carl Zeiss SMT（半導(dǎo)體制造技術(shù)）向總部設(shè)在荷蘭的ASML公司提供光學(xué)系統(tǒng)，ASML公司是全球領(lǐng)先的硅晶片生產(chǎn)平板印刷機(jī)的供應(yīng)商。但是他們之間的合作關(guān)系已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出普通的供應(yīng)商與用戶的關(guān)系。ASML機(jī)器被稱為“晶片步進(jìn)器”，在它的核心配備了Zeiss公司的光學(xué)元件，通過光蝕刻技術(shù)將芯片元件結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到硅片上。通過在掩膜上透明的模板和不透明的表面將強(qiáng)光導(dǎo)向覆有涂層的硅晶片上。
Zeiss公司在設(shè)在德國(guó)上科亨的工廠生產(chǎn)光學(xué)元件，它能產(chǎn)生光并把光集中起來，將圖像在面罩上的尺寸縮小到在晶片的必要區(qū)域。要達(dá)到所要求的精密細(xì)節(jié)，就必須使用最高純度的玻璃，否則該系列的鏡頭就會(huì)使圖像出現(xiàn)扭曲。光束也必須是準(zhǔn)確定義的激光。一個(gè)限制芯片的尺寸特征是光的波長(zhǎng)；Zeiss公司當(dāng)前的光學(xué)元件使用193納米波長(zhǎng)的光。但是，如果潔凈度達(dá)不到要求，純度再高、制造工藝再好，都會(huì)失去意義。ASML公司的機(jī)器和Zeiss公司的鏡頭都必須在潔凈室環(huán)境中進(jìn)行生產(chǎn)和操作。Carl Zeiss SMT公司供應(yīng)鏈經(jīng)理chris Groger說，“它既可以防止微粒在鏡頭上積累，也可以防止灰塵污染芯片表面?！?/p>
Zeiss公司的鏡頭組件所使用的元件都是由特瑞堡公司生產(chǎn)的防震材料和薄膜，這兩種產(chǎn)品都是在特瑞堡公司設(shè)在英國(guó)蒂克斯伯里的工廠的潔凈室環(huán)境中生產(chǎn)的，而且在設(shè)計(jì)階段兩家公司就已經(jīng)展開了充分的合作。Groger說，“他們使用氣體釋放水平非常小的橡膠，而且橡膠與金屬之間的連接必須達(dá)到非常高的標(biāo)準(zhǔn)。如果連接用的粘合劑不管以什么方式分解，它都會(huì)進(jìn)入系統(tǒng)?！?/p>
負(fù)責(zé)與特瑞堡公司有關(guān)的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的德國(guó)大客戶經(jīng)理Peter Krass說，“交付的元件都符合潔凈室標(biāo)準(zhǔn)的要求，所以也就不需要做進(jìn)行一步清潔。”
Flexclean服務(wù)保證元件達(dá)到高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)
特瑞堡公司提供這種被稱為Flexclean的服務(wù)，與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手相比，它的優(yōu)勢(shì)是不需要將元件送到第三方進(jìn)行清潔。Groger說，如果要將元件送到第三方清潔，往往需要額外的物流成本，而且存在更高的風(fēng)險(xiǎn)。特瑞堡公司在過去的許多年里，都在供應(yīng)符合特殊的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品，現(xiàn)在可以將這一服務(wù)納入Flexclean服務(wù)品牌下。Flexclean意味著清潔度將三個(gè)標(biāo)準(zhǔn)融為一體：明確的微粒清潔度，避免涂料濕潤(rùn)損害基板，以及達(dá)到ISO 14644-1要求的五級(jí)潔凈室質(zhì)量。
與此同時(shí)，技術(shù)要求一直在不斷提高。為了能夠不斷地把更多的特性塞到更小的的芯片中，Zeiss公司和ASML公司共同研制出使用波長(zhǎng)為13.5納米超級(jí)紫外光光刻技術(shù)。這種紫外光的波長(zhǎng)非常短，幾乎所有材料都能夠很好地吸收。因此，鏡頭也就沒用了，Zeiss公司和ASML公司打算在光學(xué)系統(tǒng)的真空倉(cāng)中使用近乎完美的鏡子。
Flexclean保證特瑞堡的元件符合高潔度標(biāo)準(zhǔn)的要求。經(jīng)過十年的研制，第一臺(tái)生產(chǎn)測(cè)試機(jī)器正式交付，雖然用戶仍需要等待，看看在2012年的什么時(shí)候芯片會(huì)出現(xiàn)在他們的電子產(chǎn)品中。
