層流罩的應用

早在二十世紀六十年代，第一個層流室的建立就已經(jīng)開始出現(xiàn)層流罩的應用了。但直到1984年，在亞洲才出現(xiàn)大規(guī)模應用層流罩的事例（大約有5000臺）。是什么原因導致層流罩在這么長的時間沒有得到廣泛的發(fā)展呢？有三個問題占主導地位。

第一：噪聲問題。各位可以想一想，在當時的生產(chǎn)工藝水平下，5000臺風機在一起的噪聲會是多大呢？

第二：壓力平衡。在很大的靜壓箱里，每一個不同角落的風機是否能得到均衡的壓力，這在當時也是不能夠得到保證的。

第三：維護問題。層流罩本身造價就比較高，如果它的電機壽命不能保證的話，更換又會帶來附加投資。這些都是造成當時的企業(yè)不選擇使用層流罩的主要原因。

但是這一切，在1984年都發(fā)生了改變。首先是噪聲問題得到了控制，大規(guī)模的層流罩潔凈廠房都可以把噪聲控制在65DBA以下，這符合工業(yè)廠房的標準。其次隨著自動控制的發(fā)展，監(jiān)測和調(diào)節(jié)各個角落的靜壓也變得容易起來。最后電機的壽命隨著技術的提高也得到了質的飛躍。

現(xiàn)在，隨著半導體電子技術的發(fā)展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級。

第一、靈活性。因為層流罩是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應調(diào)整，層流罩的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

第二、可再利用性。從理論上講，一時不用的層流罩設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三、負壓通風。這是層流罩的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔靜廠房負壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。

第四、縮短建設周期。使用層流罩省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用層流罩成為了一種可能。

第五、減少運行成本。雖然在選用層流罩時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用大循環(huán)減少40%的運行成本。

風機過濾單元/層流送風單元/層流罩/空氣過濾單元/空氣過濾機/百級層流罩統(tǒng)稱：層流罩

1層流罩及其性能

層流罩是FAN FILTER UNIT的縮寫，中文稱作“風機過濾器單元”也就是將風機和過濾器(高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA))組合在一起構成自身能提供動力的末端凈化設備。過去在潔凈工程中常用的帶風機的高效過濾器的送風口，自凈器，層流罩等都是層流罩的一種。不過，現(xiàn)在所說的層流罩是具有標準模數(shù)尺寸，能按模數(shù)組合起來實現(xiàn)1級、10級、100級、1000級等不同級別的潔凈室的凈化單元設備。目前，國內(nèi)、外常用的模數(shù)有1200X6mm(4英尺X2英尺)、1200X900mm(4英尺X 3英尺)、1200X 1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mlTl。

層流罩一般由以下四部分組成：風機、過濾器、機殼、電器控制元件。

2層流罩的應用

2.1適應性

2.2經(jīng)濟性

2.3風量和余壓

2.4噪聲

2.5控制

2.6維護管理

3層流罩的選擇

3.1試驗方法和試驗裝置

3.2結果分析

（1）FU機組內(nèi)的高效過濾器的初阻力均不相同，大約在120—150Pa之間。

（2）當高效過濾器為初阻力，且保證層流罩送風斷面風速為0.35m/s時，不同層流罩的機外余壓均在100Pa左右，有的高達130Pa。

當層流罩送風斷面風速為0.45m/s時，各機組的機外余壓，都能在60Pa以上。

當層流罩送風斷面風速為0.45m/s時，被測的層流罩的機外余壓都是足以克服循環(huán)通道上的阻力。

（3）層流罩的聲壓級噪聲大多在57dB(A)～59dB(A)之間。比較好的品牌其噪聲在54dB(A)。

（4）各不同晶牌的層流罩的能耗大多在160～180W，只有個別品牌的能耗大，高達350W是一般能耗的一倍。