潔凈空調(diào)設(shè)計概述(全文完整版)

目????錄

一、空調(diào)概念、相關(guān)名詞解釋以及單位換算

二、負(fù)荷計算

三、風(fēng)管，水管，配電，自控等設(shè)計

四、設(shè)備選型
五、無塵室測試標(biāo)準(zhǔn)

一．??空調(diào)概念、相關(guān)名詞解釋以及單位換算。

1.空調(diào)

即空氣調(diào)節(jié);目的在于”使空氣達(dá)到所要求的狀態(tài)”,即在某一特定空間內(nèi),對空氣溫度、濕度、空氣流動速度及清潔度進(jìn)行人工調(diào)節(jié)，以滿足人體舒適和工藝生產(chǎn)過程的要求。

2.名詞解釋

（1）熱單位

熱量之單位稱之熱單位。公制熱單位為“kcal（kilo-calorie）”，即在標(biāo)準(zhǔn)氣壓下，1Kg之水溫度升高1℃所需熱量為1Kal（千卡）（1 Kal=1/860Kwh）。英美之熱單位為“Btu（Britsh thermal unit）”，即在標(biāo)準(zhǔn)氣壓下lb之水，溫度升高1ㄈ，所需熱量為1Btu=0.252Kcal。國際單位（SI制）之熱單位為“J（joule）”，1Kcal=4186J（焦耳）。

（2）熱傳遞率

用來表示傳熱的程度。傳熱負(fù)荷之大小，依材料、墻壁之厚度而不同，加入隔熱材之復(fù)合壁，傳熱程度更不同。其單位是Kcal/m2.h.℃，即內(nèi)外溫差1℃時，1 m2壁面，每小時通過之熱量。

（3）顯熱

將熱加諸物體上時。此熱專用于使物體溫度上升，而不用于使物體產(chǎn)生相位之變化者，稱為顯熱。顯熱量與熱加于物體前后之溫差成正比，即顯熱量=物體重*比熱*溫度差。

（4）潛熱

物體由固相變成液相或者由液相變成固相（反之亦同），作相位之變化時，必有熱量之加入（或取出），以改變分子之結(jié)合狀態(tài)。此加入或取出之熱量，僅供物體物體作相位變化，而不使物體溫度上升使，加入（或取出）之熱量稱為潛熱。

（5）顯熱比

顯熱之變化量和焓變化量之比稱之為顯熱比。

SHF=QS/（QS+QL）=室內(nèi)顯熱負(fù)荷/（室內(nèi)顯熱負(fù)荷+室內(nèi)潛熱符合）QS、QL顯熱、潛熱之變化量（Kcal/h），當(dāng)QS、QL為一定時不管風(fēng)量之多少，SHF為常數(shù)。

（6）焓

濕空氣之焓，是以0℃干空氣（DA）之焓為基準(zhǔn)值。（其焓值為0）。絕對濕度*（Kg Kg/Kg（DA）之濕空氣，是1 Kg（DA）干空氣之焓與*Kg水蒸氣之焓之和。I=ia+iw*x又空氣調(diào)節(jié)所使用之溫度范圍，可使用下述求出其近似值：

（7）顯熱負(fù)荷

為使室內(nèi)溫度保持一定，必須除去室內(nèi)所取得熱量，或補(bǔ)給損失熱量。此種因溫度上升下降而取得或除去之熱量，稱為顯熱負(fù)荷。

（8）潛熱負(fù)荷

為使室內(nèi)溫度保持一定，必要時除去或補(bǔ)給水蒸氣。此種因溫度上升下降而取得或除去水蒸氣量換算成熱量時稱之為潛熱負(fù)荷。

（9）相對濕度

濕空氣中所含水蒸氣之分壓與同溫度下飽和蒸汽壓之百分比稱之為相對濕度。

（10）絕對濕度

濕空氣中所含水分之量，與干燥空氣量之重量比例稱之為絕對濕度。即1Kg干燥空氣中含有xKg之水蒸氣時，其絕對濕度為x（Kg/Kg（DA））。

（11）空氣線圖

濕空氣之狀態(tài)可由干球溫度、濕球溫度、絕對濕度、相對濕度、焓來表示之。當(dāng)壓力一定時，可能由其中的2個狀態(tài)值決定其它的狀態(tài)值，故將任2個狀態(tài)作變數(shù)取坐標(biāo)軸時即可繪出繪出濕空氣狀態(tài)之線圖，此線圖稱為濕空氣線圖。

（12）空調(diào)負(fù)荷

為保持室內(nèi)空氣在設(shè)定條件下，空氣調(diào)節(jié)裝置在單位時間內(nèi)所必須除去或補(bǔ)充之熱量，除去熱量者稱之為冷負(fù)荷，補(bǔ)充熱量者稱之為熱負(fù)荷。

（13）冷凍能力

為冷凍設(shè)備單位時間內(nèi)能夠排除熱量之能力。其單位有/kcal.h、W、Btu/h，或冷凍噸（RT）等。

（14）冷凍噸

用以表示冷凍能力之實用單位，冷凍噸為1噸0℃之純冰在24小時內(nèi)融化為0℃水所需之熱量，但由于噸之公、英制等各有不同，固其所表示冷凍能力各有出入，而今在世面上多以英制表示。

a公制1RT=79.68kcal/kg*1000kg*1/24h=3320kcal/h

b.英制1RT=144BTU/lb*2000lb*1/24h=12000BTU/h

（15）結(jié)露

等于或低于空氣露點溫度之物體，置于空氣中時，其表面結(jié)有水珠之現(xiàn)象。行暖氣時，當(dāng)玻璃表面溫度低于室內(nèi)空氣之露點溫度時就產(chǎn)生結(jié)露現(xiàn)象。

（16）比熱

1kg某物質(zhì)加熱升高1℃時，所需之熱量稱之為該物質(zhì)比熱。對于氣體而言有定壓比熱和定積比熱。

3.單位換算。見表一

二.負(fù)荷計算

1.訂定室內(nèi)外設(shè)計條件

(1)一般空調(diào)

A.室外設(shè)計條件：依氣象局之統(tǒng)訂資料。

B.室內(nèi)設(shè)計條件：依業(yè)主需求訂定，業(yè)主未定則以77ㄈDB，50%RH為基準(zhǔn)。

（2）無塵室：無塵室空調(diào)以下列標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計

A．室外設(shè)計條件：同一般空調(diào)。

B．室內(nèi)設(shè)計條件：溫濕度及潔凈室依業(yè)主需求制定。

2.分項負(fù)荷分析計算

(1)冷氣負(fù)荷需計算下列諸參數(shù)

A.傳導(dǎo)負(fù)荷

a.透過構(gòu)造體之熱負(fù)荷（顯熱）.

b.透過玻璃面之熱負(fù)荷（顯熱）.

傳導(dǎo)熱負(fù)荷（Kcal/hr）=熱體面積*熱通過率*溫度差

B.照明負(fù)荷（顯熱）

a.照度計算：

照度E=（燈具數(shù)*全光率*照明率*維護(hù)率）/面積

照明率=按室指數(shù)選定

維護(hù)率=視室內(nèi)使用條件訂定，一般為0.6—0.8

光 束=參考燈具廠商資料

照度依業(yè)主需求訂立。

b.?燈具熱負(fù)荷（Kcal/hr）=燈具耗電量（KW）*860*1.25

C.人體熱負(fù)荷（顯熱及潛熱）

人體熱負(fù)荷=人體發(fā)生顯熱量+人體發(fā)生潛熱量

人體之發(fā)生熱（Kcal/hr）

D.器具負(fù)荷

(A)?????設(shè)備發(fā)熱量(Kcal/hr)=設(shè)備耗電量( kw)*使用率*860

(B)?????冷卻水散熱量(Kcal/hr)=冷卻水量(LPM)*60*(T0-T1)

(C)?????熱氣散熱(Kcal/hr)=排風(fēng)量(CMH)*0.29*(T0-T1)

(D)?????器具熱負(fù)荷(Kcal/hr) =(A)-(B)-(C)

E.外氣負(fù)荷

(A)?????機(jī)臺排氣量Q1(CMH):依業(yè)主提供之?dāng)?shù)據(jù)

(B)?????人員需求量Q2(CMH)=依ASHRAE標(biāo)準(zhǔn)計算

(C)?????開門(Q3)及間隙(Q4)泄漏風(fēng)量:按下列公式計算,或參考相關(guān)技術(shù)書籍提供之實驗值

Q3(CMH)=T*N*A’*√(2g△p÷r)*M

Q4(CMH)=A” *√(2g△p÷r)*E*3600

T=時間（sec）???????????????N=次數(shù)（次/Hr）

A‘=門面積（m2）?????????????M=門數(shù)量

G=重力加速度（m/s2）?????????ΔP=室內(nèi)正壓（mmAq）

R=空氣密度（kg/m3）??????????E=泄漏系數(shù)

A“=間隙面積（m2）

(D)?????總外氣量：

a.當(dāng)Q2>（Q1+Q3+Q4），則總外氣量取ㄒQ2

b.當(dāng)Q2<（Q1+Q3+Q4），則總外氣量取ㄒQ1+ Q3+Q4

c.當(dāng)業(yè)主提供之相關(guān)資料不足時，依實務(wù)經(jīng)驗以換氣回數(shù)計算，并經(jīng)上級主管認(rèn)可。

(E)?????外氣熱負(fù)荷=外氣顯熱SH+外氣潛熱LH

F.室內(nèi)顯熱

室內(nèi)顯熱（Kcal/hr）=器具熱負(fù)荷+燈具熱負(fù)荷+人員顯熱負(fù)荷+傳導(dǎo)熱負(fù)荷

G.室內(nèi)潛熱

室內(nèi)潛熱（Kcal/hr）=人員潛熱負(fù)荷+其它

H.室內(nèi)總熱

室內(nèi)總熱（Kcal/hr）=室內(nèi)顯熱+室內(nèi)潛熱

I.室內(nèi)顯熱比

室內(nèi)顯熱比=室內(nèi)顯熱÷室內(nèi)總熱

J.室內(nèi)外總熱

室內(nèi)外總熱（Kcal/hr）=室內(nèi)總熱+外氣熱負(fù)荷

K.送風(fēng)量計算

(A)依室內(nèi)負(fù)荷計算送風(fēng)量Qs1（CMH）=室內(nèi)顯熱÷[0.29*(TR-TS)]

(B)依清凈室等級參考下表換氣次數(shù)計算

(C)依清靜度計算換氣次數(shù)或送風(fēng)量QS2(CMH):

a.亂流式:

N(次/H/r)=(60*?*G*H)÷(2.5*K*V)

?:所需要清凈度換氣系數(shù)

G:室內(nèi)發(fā)塵量（個/min）=106（個/ min）*人數(shù)+400*103（個/ min）*地板面積

H:天花板高度(M)

K:所需清凈室之室內(nèi)落塵量(個/M3)

V:清凈室之體積(M3)

計算得換氣次數(shù)N,須綜合產(chǎn)業(yè)特性及工程經(jīng)驗加以調(diào)整,則送風(fēng)量

QS2(CMH)=V*N

V:清凈室之體積(M3)

N:換氣次數(shù)(次/Hr)

b.層流式：

QS2(CMH)=A*V

V:流速（m/s）,流速以0.25~0.5（m/s）為佳

A:清凈室之面積(M2)

(D)比較QS1與QS2,取較大之送風(fēng)量

L.預(yù)熱負(fù)荷

預(yù)熱負(fù)荷(Kcal/hr)=通過盤管風(fēng)量(CMH)*0.29*(TR-TS)

M.加濕負(fù)荷

加濕負(fù)荷(kg/hr)=外氣總風(fēng)量(CMH)*1.2*(WR-WO)

公式:W=P*V*(d2-d1)*k

w=有效加濕量????????kg/h

P-空氣容重???????1.2kg/m3

V-總風(fēng)量?????????m3/h

d2-加濕后空氣含濕量?????kg/kg

d1-加濕前空氣含濕量?????kg/kg

K-可靠系數(shù)????????1.2

三.風(fēng)管、水管、配電、自控設(shè)計

1.風(fēng)管設(shè)計

（1）?風(fēng)管之設(shè)計,得先設(shè)定從送風(fēng)機(jī)至與送風(fēng)機(jī)相距最遠(yuǎn)點之送風(fēng)???口(或回風(fēng)口)間所連結(jié)而風(fēng)管最合理之主風(fēng)管路徑,其次再合理的連結(jié)其它送風(fēng)口(或回風(fēng)口)之分岐風(fēng)管路徑。一般建筑空調(diào)、換氣（排煙除外）之主風(fēng)管，原則上采用低速風(fēng)管。

（2）風(fēng)管尺寸設(shè)計

A.等速法

B.等磨檫法

a送風(fēng)機(jī)之全壓未定時，依據(jù)推薦風(fēng)速，求風(fēng)管尺寸→推薦風(fēng)速如下

b送風(fēng)機(jī)全壓定時，從送風(fēng)機(jī)之全壓減去機(jī)器之必要壓力，以所得之殘壓求出風(fēng)管系統(tǒng)之各部尺寸。見表二、三

C.靜壓再得法

D.速度遞減法

2.水管設(shè)計

公制q（kcal/h）=60*Q（lpm）*△t（℃）

冰水側(cè)：7℃進(jìn)水，12℃回水

因為1RT=3024kcal/h=60*5*Q（lpm）

Q（lpm）=10.08即1RT=10lpm

英制：q（BTU/h）=500*Q（Gpm）*△t（ㄈ）

進(jìn)水45ㄈ出水55ㄈ

12000Btu/h=500*Q（Gpm）*10

1RT=2.4 Gpm

由英制1RT=2.4 Gpm，摩檫損失

3.配電設(shè)計

A所有設(shè)備均使用380V/3φ/4W/220V/50HZ電源。

B每一臺A/H空調(diào)箱需兩處控制（主控制盤置于冰水主機(jī)房、副控制用隔離開關(guān)盤置于AH空調(diào)箱旁）。AH空調(diào)每一控制現(xiàn)場需有操作開關(guān)與ON、OFF指示燈。

C冰水主機(jī)盤、泵浦盤集中于冰水主機(jī)房，并需有電子式電壓表、電流表顯示及操作開關(guān)與ON、OFF指示燈。

D泵浦冷卻水塔、AH空調(diào)電磁開關(guān)控制線路獨(dú)立系統(tǒng)，以免任何一回路短路或斷路影響其它電磁一關(guān)動作，控制線路需標(biāo)示線號（需符合電工法規(guī)）。

E冷卻水塔風(fēng)扇主控制盤置于冷卻水塔旁，主控制盤采用防水型，副控制接至冰水主機(jī)房。

F泵浦、馬達(dá)使用15HP以上需用Y-Δ啟動。

4.自控設(shè)計

干擾f

A單回路閉環(huán)控制系統(tǒng)框圖

QG???????????????????????????????????????????????????QG

DDC??（Direct?Digital?Control）

（直接數(shù)字控制器）

TDS??（Total?Distributecl?system

集散型控制系統(tǒng) （中央控制）

B過程輸入信道

AI：模擬量輸入信道

即把模擬量信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號再輸入

AO：模擬量輸出信道

即把數(shù)字信號轉(zhuǎn)換成模擬量信號再輸出

DI：開關(guān)量輸入信道

即直接輸入開關(guān)量信號或數(shù)字量信號

DO：開關(guān)量輸出信道

即直接輸開關(guān)量信號或數(shù)字量信號

四、設(shè)備選型

1．空調(diào)箱選擇

A.風(fēng)機(jī)選擇（FAN）

由于風(fēng)機(jī)型式太多，無法一一解說，以下僅依一般常用箱型多異離心式（前傾/后傾）風(fēng)機(jī)表示。

馬力數(shù)

英制HP=

公制KW=

一般風(fēng)機(jī)效率并不高，系數(shù)可取0.35~0.55間,可能最困難得知應(yīng)是

B．靜壓mmAq之取得,依概算如下:

(1)風(fēng)機(jī)本身機(jī)內(nèi)有2~5 mmAq

可取3 mmAq

(2)機(jī)外就需依風(fēng)管長度來求得

若風(fēng)管依等摩擦法每1M有1Pa靜壓即0.102 mmAq,長度有100M,則100M*0.102 mmAq=10.2 mmAq

(3)分岐.彎管,縮管

每1只可取1.5~4 mmAq

若有5只而取2 mmAq,5*2=10 mmAq

(4)風(fēng)口類

擴(kuò)散型,格柵型若風(fēng)速在2~3M/S,其靜壓力1~2.5 mmAq,取1.5 mmAq,噴流式風(fēng)口或線型,若風(fēng)速在4~8M/S,其靜壓3~8 mmAq。

(5)軟管

每1M約有0.5 mmAq~1.5 mmAq,取0.8 mmAq,若有3M,則3*0.8=2.4 mmAq

由(1)+(2)+(3)+(4)+(5)得知(6)

3+10.2+10+1.5+2.4=27.1mmAq(6)

27.1*1.125=30.5mmAq可取得30 mmAq

B.加濕器選擇

（1）水電熱加濕器

超純水專用加濕器，可確保因為供水品質(zhì)良好提高潔凈室品質(zhì)。（PID控制模式）

（2）交換式加濕器

加濕之后為蒸汽使加濕器內(nèi)純水沸騰而產(chǎn)生純水之蒸汽。（比例式蒸汽來原控制閥控制加濕容量）

（3）高壓噴霧加濕器（加濕泵）

等焓加濕方式，大量加濕時采用，具水洗功能。

（4）電極式加濕器

供應(yīng)無菌無味之加濕蒸汽，采用可清洗式加濕筒，拆除方便零件小。排水不漏電，且自動污濁測定，給排水自動控制。

2、冷卻塔選擇

冰水機(jī)組之冷卻塔??Hct=k1*Hrc

Hrc：冰水機(jī)組之冷凍能力（Kcal/h）?k1：冷卻系數(shù)

3、冰水機(jī)組選擇

設(shè)冰水機(jī)組之冷凍能力為Hrc（Kcal/hr）

Hrc= k1*qm

k1:安全系數(shù)（全空氣系統(tǒng)=1.0,風(fēng)管機(jī)系統(tǒng)=1.1）

qm:建筑物各時刻冷氣負(fù)荷累計最大值（Kcal/hr）

4、水泵選擇PUMP

取決于冷凍噸之水量大小，

1RT=2.4GPM(冰水量)=9.084LPM=10LPM

1RT=3GPM(冷卻水量)=11.355LPM=12LPM

馬力表之得知公式如下:

英制HP=

公制KW=

而楊程之計算照理應(yīng)一一推算,但可能太耗時,下列依經(jīng)驗概算之。

(1)管路取每M有0.05~0.08M之壓損

假使最遠(yuǎn)端之設(shè)備行程有100M則壓損有100M*0.06=6M(管路部份)

(2)冰水主機(jī)約有5~7M壓損,取6M

(3)閥類約有4~6M壓損,取4M

(4)小型冷風(fēng)機(jī)有2~8M壓損,取4M

由(1)+(2)+(3)+(4)得

6M+6M+4M+4M=20M-(5)

將(5)*1.1=20M*1.1=22M

五、無塵室測試基準(zhǔn)

1、HEPA/ULPA濾網(wǎng)泄漏測試

1.1測試目的

為確保濾網(wǎng)泄漏之情形,故對無塵室內(nèi)所有濾網(wǎng)作測漏程序。

1.2測試程序

1.2.1使用濾網(wǎng)測漏專用膠帶貼附濾網(wǎng)周圍,將待測試濾網(wǎng)與大環(huán)境隔絕,以求準(zhǔn)確之?dāng)?shù)據(jù)。

1.3測試儀器

1.3.1PARTICLE COUNTER

1.3.2偵測管直徑38mm。

11.33cm2(?方形砭)。

1.4注意事項

1.4.1若測試出現(xiàn)異常數(shù)據(jù),則需要重新測試以確認(rèn)濾網(wǎng)是否泄漏

1.4.2若重新測試后確認(rèn)為濾網(wǎng)泄漏,需在圖面上作標(biāo)示,以利日后進(jìn)行濾網(wǎng)修補(bǔ)工作.

1.5濾網(wǎng)修復(fù)

1.5.1若破損情況在以下范圍內(nèi)則可進(jìn)行修補(bǔ)。

(1)小于濾網(wǎng)全面積之3%或者說13 cm2。

(2)帶狀破損寬度小于38mm。

1.5.2若破損情況超出其不意1.5.1之范圍則需更換。

1.5.3進(jìn)行濾網(wǎng)修補(bǔ)時需使用透明中性硅膠.

1.6紀(jì)錄

將PARTICLE COUNTER所測得之?dāng)?shù)據(jù)編列于附表一。

2.濾網(wǎng)風(fēng)速測試

2.1測試目的

確保無塵室內(nèi)之濾網(wǎng)吹出風(fēng)速符合規(guī)范。

2.2測試程序

2.2.1使用濾網(wǎng)測漏專用膠帶貼附濾網(wǎng)周圍,將待測試濾網(wǎng)與大環(huán)境隔絕,以求準(zhǔn)確之?dāng)?shù)據(jù)。

2.2.2于濾網(wǎng)下想方設(shè)法15cm處用熱線式風(fēng)速計進(jìn)行測試,每點測試時間約為5秒。

2.2.3風(fēng)速計需以專用腳架支撐,以避免因測試者手臂這晃動所造成之誤差。

2.2.4每個濾網(wǎng)取二個測試點。

2.3測試儀器

熱線式風(fēng)速計。

2.4注意事項

風(fēng)量則依所測得之風(fēng)速以公式計算之。

風(fēng)量=平均風(fēng)速*出風(fēng)面積

2.5紀(jì)錄

將風(fēng)速計所測得之?dāng)?shù)據(jù)編列于附表一。

3.潔凈度測試

3.1測試目的

確保無塵室內(nèi)之潔凈度符合規(guī)范

3.2測試程序

3.2.1無塵室面積在15M2以下之場合時,取二個測試點。

3.2.2無塵室面積在15M2以上下100M2以下之場合時,取五個測試點。

3.2.3無塵室面積在100M2以上之場合時,將全部區(qū)域劃分為數(shù)個3*3M2之單位,每單位各取一個測試點。

3.2.4將PARTICLE COUNTER之偵測管以專用腳架固定于距離地面1.2M~1.25M之高度(工作平臺高度)進(jìn)行測試。

3.2.5 PARTICLE COUNTER之測試風(fēng)速為1CFM,每一點之測試時間為一分鐘。

3.3測試儀器

3.3.1 PARTICLE COUNTER

3.3.2偵測管直徑38mm.。

11.33cm2(方形管)。

3.4注意事項

3.4.1 CLASS1000區(qū)域:每單位立方盡內(nèi),0.5μm微粒不超過1000顆,5μm微粒不超過7顆。

3.4.2 CLASS100000區(qū)域:每單位立方盡內(nèi),0.5μm微粒不超過100000顆,5μm微粒不超過700顆。標(biāo)準(zhǔn)如下:

表示粒徑(μm)以上粒徑的每單位/FT3粒子數(shù)的上限值（個/FT3）

(注:NA無指定)

3.5紀(jì)錄

將PARTICLE COUNTER所測得之?dāng)?shù)據(jù)編列于附表三。

4.溫度與相對濕度檢測

4.1測試目的

確保無塵室內(nèi)之溫度與相對濕度符合規(guī)范。

4.2測試程序

4.2.1使用溫濕度紀(jì)錄器測試時需于選定之測試點進(jìn)行24小時之連續(xù)測試。

4.3測試儀器

溫濕度紀(jì)錄器

4.4注意事項

4.4.1 95%測試時間內(nèi)之溫濕度需符合規(guī)范要求。

4.4.2若因特殊情形(人員進(jìn)出或環(huán)境變化等),所造成測試數(shù)據(jù)之劇列變化,需會同業(yè)主代表確認(rèn)。

4.5紀(jì)錄

以所測得之溫濕度紀(jì)錄紙作報告既可。

5.無塵室壓差測試

5.1測試目的

確?？照{(diào)箱提供之外氣風(fēng)量以使無塵室保持正壓,藉以維持無塵室之清潔度,而不受外界影響。

5.2測試程序

5.2.1壓差計之高壓測量點為無塵室內(nèi),低壓測量點為無塵室外(外氣環(huán)境),藉以量測兩區(qū)域間的壓力差。

5.2.2壓力計所連結(jié)之軟管需保持暢通無破損。

5.2.3受測區(qū)域之出入口需確實關(guān)閉,以求數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。

5.3測試儀器

壓差計

5.4注意事項

5.4.1室內(nèi)正壓狀態(tài)需保持潔凈度高區(qū)域>潔凈度低區(qū)域。CLASS1000>CLASS100000>1.0mmAq(外氣環(huán)境)。

5.4.2若所測正壓異常,需檢視無塵室內(nèi)之隔間氣密是否確實,若需修補(bǔ)則使用無塵室專用硅利康,避免一般硅利康所產(chǎn)生之PARTICLE影響無塵室之潔凈度。

5.5紀(jì)錄

會同業(yè)主代表確認(rèn)正壓無誤,并照相存證。