| 檢驗項目 | 潔凈度級別 | |||||
| 百級 | 千級 | |||||
| 懸浮粒子 | 最大允許數(shù)?個/m3 | 最少采樣量? L/次 | 采樣時間min | 最大允許數(shù)?個/m3 | 最少采樣量???? L/次 | 采樣時間min |
| ≥0.5μm | 3520 | 5.66 | 3 | 35200 | 2.83 | 3 |
| ≥5μm | 29 | 8.5 | 3 | 292 | 8.5 | 3 |
| 浮游菌 | 技術要求cfu/m3 | 最少采樣量?? L/次 | 采樣時間min | 技術要求cfu/m3 | 最少采樣量???? L/次 | 采樣時間min |
| ≤5 | 1000 | 20 | ≤100 | 750 | 15 | |
| 沉降菌 | 技術要求cfu/皿,0.5h | 最少培養(yǎng)皿數(shù)?90 mm | 采樣時間min | 技術要求cfu/皿,0.5h | 最少培養(yǎng)皿數(shù)?90 mm | 采樣時間min |
| ≤1 | 14 | 30 | ≤3 | 2 | 30 | |
| 換氣次數(shù)?次/h | （風速,m/s）0.2～0.5 | 50～60 | ||||
| 靜壓差????????????（潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間） | ≥5 | |||||
| 噪聲，dB(A) | ≤65(單向流） | |||||
| 照度，lx | ≥200(設計要求) | |||||
| 溫度，℃ | / | |||||
| 濕度，% | / | |||||
| 備注：
①試狀態(tài)：空態(tài)和靜態(tài)測試時，室內(nèi)測試人員不得多于2人； ②布置采樣點時，應盡量避開塵粒較集中的回風口； ③采樣人員應站在采樣口的下風側，并盡量減少走動； ④采樣點數(shù)目不得少于2個，總采樣次數(shù)不得少于5次； ⑤采樣點位置：一般在離地面0.8m高度的水平面上均勻布置； ⑥采樣點計數(shù)：每點平均值取到小數(shù)點后一位（包括沉降菌和浮游菌）。 |
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潔凈室潔凈度等級標準” alt=”百級/千級/萬級/十萬級生物潔凈室潔凈度等級標準” />
| 檢驗項目 | 潔凈度級別 | |||||
| 萬級 | 十萬級 | |||||
| 懸浮粒子 | 最大允許數(shù)?個/m3 | 最少采樣量? L/次 | 采樣時間min | 最大允許數(shù)個/m3 | 最少采樣量???? L/次 | 采樣時間min |
| ≥0.5μm | 352000 | 2.83 | 3 | 3520000 | 2.83 | 3 |
| ≥5μm | 2920 | 8.5 | 3 | 29200 | 8.5 | 3 |
| 浮游菌 | 技術要求cfu/m3 | 最少采樣量????L/次 | 采樣時間min | 技術要求cfu/m3 | 最少采樣量???? L/次 | 采樣時間min |
| ≤100 | 500 | 10 | ≤500 | 100 | 2 | |
| 沉降菌 | 技術要求cfu/皿,0.5h | 最少培養(yǎng)皿數(shù)?90 mm | 采樣時間min | 技術要求cfu/皿,0.5h | 最少培養(yǎng)皿數(shù)?90 mm | 采樣時間min |
| ≤3 | 2 | 30 | ≤10 | 2 | 30 | |
| 換氣次數(shù)?次/h | 15～25 | 10～15 | ||||
| 靜壓差????????????（潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間） | ≥5 | |||||
| 噪聲，dB(A) | ≤65(單向流） | |||||
| 照度，lx | ≥200(設計要求) | |||||
| 溫度，℃ | / | |||||
| 濕度，% | / | |||||
| 備注：
⑦試狀態(tài)：空態(tài)和靜態(tài)測試時，室內(nèi)測試人員不得多于2人； ⑧布置采樣點時，應盡量避開塵粒較集中的回風口； ⑨采樣人員應站在采樣口的下風側，并盡量減少走動； ⑩采樣點數(shù)目不得少于2個，總采樣次數(shù)不得少于5次； ?采樣點位置：一般在離地面0.8m高度的水平面上均勻布置； 采樣點計數(shù)：每點平均值取到小數(shù)點后一位（包括沉降菌和浮游菌）。 |
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百級/千級/萬級/十萬級生物潔凈室潔凈度等級標準原文鏈接：http://m.gxshunjiang.com/cleanroom-standards/jjsdjbz/516.html
