| 監(jiān)測(cè)項(xiàng)目 | 監(jiān)測(cè)方法 | 合格標(biāo)準(zhǔn) | 監(jiān)測(cè)頻次 |
| 高效過(guò)濾器檢漏 | 塵埃粒子計(jì)數(shù)掃描巡檢法 | 檢測(cè)周期為10min時(shí)，
5μm粒子數(shù)≤20 |
至少1次/季度 |
| 潔凈室換氣次數(shù) | 風(fēng)速儀或
風(fēng)量罩 |
B級(jí)40–60
C級(jí)≥25 D級(jí)≥15 |
正常生產(chǎn)車間潔凈室(區(qū))每半年至少測(cè)試一次;
新建、改造車間，開(kāi)車之前進(jìn)行全面測(cè)試。
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| 潔凈室照度 | 照度儀測(cè)試 | 主要工作室≥300LX
輔助工作室、走廊、氣閘室、人員凈化和物料凈化用室≥150LX; 其它工作區(qū)域≥100 LX。
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| 潔凈室溫度 | 溫濕度儀測(cè)試 | A級(jí)、B 級(jí)、C級(jí)溫度控制在20℃一24℃;
D級(jí)溫度控制在l8℃-26℃。 相對(duì)濕度一般控制在45%-65%
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2次/日 |
| 潔凈室
相對(duì)濕度 |
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| 潔凈室壓差 | 微壓差計(jì)測(cè)試 | 空氣潔凈度等級(jí)不同的相鄰房間之間、潔凈室(區(qū))與室外大氣的靜壓差均應(yīng)大于10帕；
空氣潔凈度等級(jí)不同的相鄰房間之間一般≥5Pa |
