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一、選擇題（每題2分）
1、下面哪項(xiàng)不是無(wú)塵室需要控制的參數(shù)（?? C）
A、微粒子?? B、氣流?? C、采光?? D、壓力
2、F1無(wú)塵室需要控制的溫、濕度是（B）
A、22℃±1℃55%±10%?? B、23℃±1℃50%±5%? C、23℃±2℃55%±5%?? D、22℃±2℃60%±10%
3、F1無(wú)塵室最高潔凈等級(jí)（A）
A、10?? B、100?? C、1000?? D、1
4、通過(guò)下列調(diào)節(jié)不能改變無(wú)塵室壓力的是（D）
A、MAU?? B、排氣? C、FFU? D、CDA
5、F1 MAU單臺(tái)風(fēng)量是（B）
A、90000CMH? B、100000CMH?? C、120000CMH? D、130000CMH
6、關(guān)于無(wú)塵室下列說(shuō)法錯(cuò)誤的是（CD）
A、潔凈度要求等級(jí)越高，分布的FFU越多
B、溫度和濕度控制不當(dāng)都會(huì)影響生產(chǎn)
C、MAU主要是控制無(wú)塵室的溫度
D、干盤管在任何情況下是不會(huì)產(chǎn)生冷凝水的
7、模組無(wú)塵室2樓內(nèi)的熱負(fù)荷主要是靠（C）承擔(dān)
A、MAU? B、RCU? C、DCC?? D、FFU
8、F2無(wú)塵室最高潔凈等級(jí)（C）
A、10?? B、100?? C、1000?? D、1萬(wàn)
9、F2無(wú)塵室的正壓應(yīng)比F1（C）
A、相等? B、大?? C、小? D、可大可小
10、1000級(jí)無(wú)塵室控制微粒的粒徑是（C）
A、0.1μm以上? B、0.3μm以上???C、0.5μm以上?? D、5μm以上
二、問(wèn)答題（每題20分）
1．請(qǐng)描述MAU空調(diào)箱的各個(gè)組成部分及功能。
預(yù)冷（降低焓值）-預(yù)熱（提高焓值）-初中效（過(guò)濾大顆粒）-加濕段-風(fēng)機(jī)段-均流孔板段-高效過(guò)濾器。
2、簡(jiǎn)述無(wú)塵室的氣密性不好會(huì)有哪些危害？（兩條即可）
外氣帶來(lái)塵埃，溫濕度失控
3．簡(jiǎn)述面板廠無(wú)塵室溫濕度及潔凈度控制設(shè)備有哪些？
MAU:控制濕度，DCC控制溫度，F(xiàn)FU控制潔凈度。
三、故障分析題（每題10分）
1、CVD工程師致電FMCS，指出在潔凈度測(cè)試的時(shí)候潔凈度超標(biāo)，請(qǐng)給出應(yīng)急措施及解決方案。
馬上聯(lián)系無(wú)塵室責(zé)任工程師，并且安排復(fù)測(cè)，同時(shí)通知CVD對(duì)該區(qū)域進(jìn)行清潔，如果復(fù)測(cè)仍然不合格，則對(duì)區(qū)域的FFU進(jìn)行測(cè)試更換。
2、XRD工程師致電FMCS，指出XRD區(qū)域濕度低于50%，請(qǐng)給出應(yīng)急措施及解決方案。
立即查看MAU空調(diào)箱運(yùn)行狀態(tài)，然后觀察出風(fēng)露點(diǎn)，如果偏低則確認(rèn)熱水系統(tǒng)是否正常，如果熱水系統(tǒng)正常，則需要對(duì)溫濕度探頭進(jìn)行校正。
