按照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-2對(duì)潔凈室或潔凈設(shè)備進(jìn)行檢驗(yàn)（Certify）或驗(yàn)證（Verify），或是按照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-2對(duì)潔凈室的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行定期監(jiān)測(cè)（periodic measurement）。至于測(cè)試狀態(tài)則根據(jù)需要和潔凈室實(shí)際占用情況決定，可能是空態(tài)、靜態(tài)和動(dòng)態(tài)中的任何一種。
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644的上述規(guī)定是統(tǒng)一的。
如前所述，通?！翱諔B(tài)”適用于新建或新改造的潔凈室，完成“空態(tài)”下的測(cè)試后，再在“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”下進(jìn)行達(dá)標(biāo)測(cè)試，而潔凈室空氣中懸浮粒子的監(jiān)測(cè)一般都是在動(dòng)態(tài)條件下進(jìn)行。
測(cè)試前應(yīng)驗(yàn)證潔凈室或潔凈區(qū)的各個(gè)方面設(shè)施都是完備的，而且運(yùn)行正常，符合設(shè)計(jì)的技術(shù)性能要求。預(yù)測(cè)試工作一般包括：
1）???空氣流量或風(fēng)速測(cè)試;
2）???空氣壓差測(cè)試;
3）???隔斷結(jié)構(gòu)氣密性測(cè)試;
4）???已安裝好的過濾器檢漏測(cè)試。
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1《空氣潔凈度分級(jí)》中，關(guān)于潔凈室空氣中懸浮粒子測(cè)試的采樣點(diǎn)的規(guī)定是一致的。(來(lái)源:m.gxshunjiang.com)
潔凈室檢測(cè)時(shí)最少采樣點(diǎn)數(shù)按下式?jīng)Q定：
式中?NL—最少采樣點(diǎn)（四舍五入取為整數(shù)）；
A—潔凈室或潔凈區(qū)的面積，m2；
ISO-14644-1特別注明，對(duì)于水平單向流，面積A可以看作是與氣流運(yùn)動(dòng)的截面積。
國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)都強(qiáng)調(diào)采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室或潔凈區(qū)的整個(gè)面積內(nèi)，并位于工作區(qū)高度，通常距離地面0.8m。
表2-1列出了現(xiàn)行國(guó)際、國(guó)內(nèi)關(guān)于潔凈室檢測(cè)空氣中懸浮粒子的采樣點(diǎn)數(shù)，與早些年的國(guó)內(nèi)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JGJ71-90《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》關(guān)于不同潔凈度潔凈室檢測(cè)時(shí)最低采樣點(diǎn)數(shù)的比較。JGJ71-90有關(guān)采樣點(diǎn)的具體規(guī)定，與已于2001年被廢止的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS-209E（1992年頒發(fā)）是相一致的。
由表2-1還可以清楚地看到，與以往規(guī)范規(guī)定的潔凈室空氣中懸浮粒子采樣數(shù)量相比較，新的方法與潔凈室的潔凈度級(jí)別無(wú)關(guān)，僅取決于潔凈室或潔凈區(qū)面積的大小。
? ?而不同潔凈度級(jí)別的采樣差異，主要反映在單點(diǎn)的采樣空氣量的多少上。
| 國(guó)際國(guó)內(nèi)新、舊標(biāo)準(zhǔn)對(duì)空氣中懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù)的不同規(guī)定 | |||||
| 面積（┫） | GB 50073-2001 | JGJ71-90潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范 | |||
| ISO 14644 | 100級(jí)及高于100級(jí) | 100級(jí) | 10000級(jí) | 100000級(jí) | |
| <10 | 3 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 10 | 3 | 4 | 3 | 2 | 2 |
| 20 | 5 | 8 | 6 | 2 | 2 |
| 40 | 6 | 16 | 13 | 4 | 2 |
| 100 | 10 | 40 | 32 | 10 | 3 |
| 200 | 14 | 80 | 63 | 20 | 6 |
| 400 | 20 | 160 | 126 | 40 | 13 |
| 1000 | 32 | 400 | 316 | 100 | 32 |
| 2000 | 45 | 800 | 633 | 200 | 63 |
注：表中面積的含義是：對(duì)于單向流（層流）潔凈室,是指送風(fēng)面面積；對(duì)于亂流潔凈室，是指房間面積。
當(dāng)所選最大粒徑的粒子濃度處于指定的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-1或國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001相應(yīng)的等級(jí)分級(jí)限值時(shí)（見本章附錄1、附錄2），要保證在每個(gè)采樣點(diǎn)的單次采樣空氣量中，至少能檢測(cè)出20個(gè)粒子，這才能滿足從統(tǒng)計(jì)學(xué)角度認(rèn)定測(cè)量的可靠性，以此判定單次采樣量是否符合基本需要。此外，從采樣空氣量和采樣時(shí)間測(cè)定的可靠性考慮，也給定了下限值。所以，每一采樣點(diǎn)的單次采樣量應(yīng)按下式確定：
式中 VS—每個(gè)采樣點(diǎn)單次最少采樣量，以升表示（L）；
Cn—相關(guān)等級(jí)規(guī)定的所選最大粒徑的等級(jí)限值（pcs/m3）；
20—假如粒子濃度處于空氣潔凈度等級(jí)限值，應(yīng)被儀器測(cè)得的最少粒子數(shù)（pcs）。
舉例計(jì)算如下：
由本章附錄1可以查到各潔凈度等級(jí)相應(yīng)粒徑的粒子濃度限值。
計(jì)算結(jié)果表明，若以0.3μm粒徑為檢測(cè)依據(jù)，則ISO 4級(jí)每測(cè)點(diǎn)單次采樣量為19.6L，若以0.1μm為準(zhǔn)，則單次采樣量為2L。
關(guān)于采樣量還應(yīng)注意以下三點(diǎn)：
1）為保證采樣量及采樣時(shí)間測(cè)定的可靠性，規(guī)定每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量至少為2L，采樣時(shí)間最少為1min。當(dāng)按式（2.2）計(jì)算的VS或儀器的采樣時(shí)間不滿足上述要求時(shí)，以上述下限值為準(zhǔn)。
2）當(dāng)潔凈室、潔凈區(qū)僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則最少在該點(diǎn)采樣3次。
3）ISO 14644還建議，如果VS值很大時(shí)，所需采樣時(shí)間偏少，則應(yīng)考慮采用順序采樣程序，以減少所需采樣量及采樣時(shí)間。
??潔凈室空氣中懸浮粒子濃度檢測(cè)采樣時(shí)，應(yīng)注意以下問題：
1）???國(guó)際GB 50073-2001規(guī)定，應(yīng)使用采樣量大于1L/min的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。
2）???所選用的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器必須在儀器校準(zhǔn)的有效使用期內(nèi)。校準(zhǔn)的頻度和方法應(yīng)符合現(xiàn)行公認(rèn)的規(guī)范，通常每年校準(zhǔn)一次。
3）???使用光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器采樣時(shí)，采樣探頭的入口應(yīng)位于氣流中并朝向氣流，如果氣流方向并未受控或不可預(yù)測(cè)時(shí)，如在非單向流潔凈室，則采樣探頭的入口應(yīng)垂直向上。
4）???每個(gè)采樣點(diǎn)可按所計(jì)算確定的最小采樣量采樣空氣。
4.1空氣中懸浮粒子濃度的統(tǒng)計(jì)計(jì)算原則
粒子濃度的統(tǒng)計(jì)計(jì)算，遵循以下原則：
1）???當(dāng)采樣點(diǎn)數(shù)多于9個(gè)時(shí)，潔凈室空氣中懸浮粒子濃度即為各采樣點(diǎn)粒子濃度的算術(shù)平均值。
2）???當(dāng)采樣點(diǎn)多于1個(gè)，但少于10個(gè)時(shí)，按下節(jié)中所述程序計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差（standard deviation）和95%置信上限UCL（upper confidence limit）。
3）???如果在每個(gè)采樣點(diǎn)測(cè)得的粒子濃度平均值以及計(jì)算所得的95%置信上限都未超過所檢測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的濃度限值，則認(rèn)為該潔凈室或潔凈區(qū)達(dá)到了規(guī)定的潔凈度級(jí)別。
4）???如果測(cè)試計(jì)算結(jié)果未能滿足規(guī)定的潔凈度級(jí)別，可增加均勻分布的新采樣點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試，對(duì)包括新增采樣點(diǎn)數(shù)據(jù)在內(nèi)的數(shù)據(jù)重新計(jì)算的結(jié)果，就是確定的結(jié)論。
5）???如果95%置信上限的計(jì)算結(jié)果，未達(dá)到規(guī)定的等級(jí)是由于測(cè)量差錯(cuò)或空氣中粒子濃度異常低而造成的單個(gè)限外值，則該值可以不計(jì)。（參看2.5.2節(jié)的例題）
6）???在統(tǒng)計(jì)分析中只考慮所引起的精神不足、隨機(jī)誤差，不考慮非隨機(jī)誤差，如校準(zhǔn)誤差造成的偏差等。
5.1例題1
被測(cè)的潔凈室面積（A）為80m2。需要確定其在動(dòng)態(tài)下是否符合規(guī)定的空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)。該潔凈室規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)為ISO 14644 5級(jí)或等同的GB 50073-2001 5級(jí)。
1.計(jì)算空氣中最大允許懸浮粒子濃度
建設(shè)方與承包商在潔凈室工程承包合同中，規(guī)定了所建設(shè)潔凈室
應(yīng)在動(dòng)態(tài)條件下檢測(cè)0.3μm(D1)與0.5μm（D2）兩個(gè)粒徑的空氣中懸浮粒子濃度，以考核其是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)。
1）???根據(jù)ISO 14644-1及GB 50071-2001國(guó)際、國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)關(guān)于潔凈度表示方法的規(guī)定，在潔凈室潔凈度分級(jí)中設(shè)定的所選粒徑應(yīng)在0.1-5μm的限值范圍內(nèi)。本例所選定的兩個(gè)檢測(cè)粒徑符合上述規(guī)定，即0.1μm≤0.3μμm，0.5μm≤5μm。
2）???根據(jù)ISO 14644-1的規(guī)定，如果所選定的檢測(cè)粒徑不止一種，則相鄰的較大的粒徑（如D2）與較小的粒徑（如D1）之比至少應(yīng)為1.5，即D2≥1.5D1.本例所選定的兩種檢測(cè)粒徑0.5μm≥1.5×0.3μm（0.45μm），也符合ISO 14644-1關(guān)于潔凈度分級(jí)的此項(xiàng)規(guī)定。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001，對(duì)此未作規(guī)定。
3）???計(jì)算最大允許懸浮粒子濃度。該值可以按下述步驟進(jìn)行計(jì)算，也可直接從懸浮粒子潔凈度等級(jí)劃分表查得。按照ISO 14644-1及GB 50073-2001所一致給定的懸浮粒子潔凈度等級(jí)劃分原則，每種選定粒徑的最大允許粒子濃度Cn的計(jì)算公式，如式（2-7）所列：
式中?? Cn—大于或等于所選定粒子的最大允許濃度。Cn的有效數(shù)字從高位算起不超過3位（其余寫為0），并四舍五入至最接近的整數(shù)；
N—潔凈度等級(jí)，N的最大值為9，兩級(jí)中間范圍的等級(jí)之最小允許級(jí)差是0.1；
D—以微米表示的所選粒徑；
0.1—以微米計(jì)的常數(shù)。
按照式（2-7）計(jì)算所選定檢測(cè)粒徑的最大允許濃度如下：
對(duì)≥0.3μm(D1)的粒子：
從本章附錄1附表1中查找，也可得到與上述計(jì)算值相同的結(jié)果。
