技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及生產(chǎn)車(chē)間制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種高精度、高密封的無(wú)塵車(chē)間。
背景技術(shù)
無(wú)塵車(chē)間是指在一定空間范圍內(nèi)將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物減少到規(guī)定指標(biāo)下，將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)而特別設(shè)計(jì)的房間。即不論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫溫度及壓力等性能。潔靜度一級(jí)表示每立方英尺室內(nèi)的空氣所含有大或等于0.5 um 的灰塵粒子不超過(guò)1 顆；潔凈室10 級(jí)則為不超過(guò)10 顆；潔凈室100 級(jí)、1000 級(jí)…依次類(lèi)推。
我國(guó)凈化行業(yè)原先所安裝的百級(jí)潔凈室，主要適用于醫(yī)藥生產(chǎn)企業(yè)，潔凈室的溫濕度是由組合式凈化空調(diào)器控制和調(diào)節(jié)的。然而，隨著科技日新月異的發(fā)展，尤其是集成電路生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展，集成電路芯片生產(chǎn)的線(xiàn)寬由0.45 微米發(fā)展到0.11 微米，甚至由微米級(jí)向納米級(jí)發(fā)展，溫度的變化可能影響生產(chǎn)工藝，導(dǎo)致成品率下降；同時(shí)，由于其生產(chǎn)工藝對(duì)潔凈度的要求很高，使得其潔凈室內(nèi)排風(fēng)量比較大。因此，這種潔凈室需要通過(guò)高精度的溫度控制，未消除溫度變化對(duì)生產(chǎn)的影響。如果用傳統(tǒng)的組合式空調(diào)器調(diào)溫的方式，要達(dá)到潔凈室內(nèi)高精度的溫度及潔凈度的控制是很困難的。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述技術(shù)的不足，而提供一種無(wú)塵車(chē)間，高精度、高密封。
本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的，采用以下技術(shù)方案：一種無(wú)塵車(chē)間，其特征在于：包括密封車(chē)間、空氣循環(huán)機(jī)組、送風(fēng)管路和排風(fēng)管路，所述密封車(chē)間的兩側(cè)墻體的內(nèi)側(cè)設(shè)有排風(fēng)通道，所述排風(fēng)通道上設(shè)有與所述密封車(chē)間內(nèi)部連通的排風(fēng)口，所述排風(fēng)通道與所述排風(fēng)管路連通，所述排風(fēng)管路與所述空氣循環(huán)機(jī)組連通；所述送風(fēng)管路一端與設(shè)置在車(chē)間吊頂上的送風(fēng)口連通，另一端與所述空氣循環(huán)機(jī)組連通；所述密封車(chē)間內(nèi)設(shè)有二次潔凈室，所述二次潔凈室的頂部及四周由鋼化玻璃圍城，二次潔凈室由支撐柱支撐距離地面20cm-30cm，二次潔凈室的頂部設(shè)有送風(fēng)口，所述送風(fēng)口與所述送風(fēng)管路連通。
所述四面墻體采用兩層夾板中間內(nèi)襯阻燃芯材。
所述密封車(chē)間的地面采用防靜電PVC地板或環(huán)氧樹(shù)脂涂層地板。
所述排風(fēng)口上設(shè)有排風(fēng)百葉。
本發(fā)明的有益效果是: 本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通過(guò)空氣循環(huán)機(jī)組對(duì)車(chē)間內(nèi)進(jìn)行氣體的交換，大大保證了室內(nèi)空氣的潔凈度，由于在潔凈室內(nèi)部再設(shè)置一個(gè)二級(jí)潔凈室，二級(jí)潔凈室采用鋼化玻璃制造，底部通過(guò)支撐柱支撐距離地面一定高度，保證了二級(jí)潔凈室中空氣有效的循環(huán)，進(jìn)一步提高了二級(jí)潔凈室的潔凈等級(jí)。
附圖說(shuō)明
圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖中：1、密封車(chē)間；2、空氣循環(huán)機(jī)組；3、送風(fēng)管路；4、排風(fēng)管路；5、排風(fēng)通道；6、排風(fēng)口；7、送風(fēng)口；8、二次潔凈室；9、支撐柱；10、送風(fēng)口。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施方式。如圖1所示，一種無(wú)塵車(chē)間，包括密封車(chē)間1、空氣循環(huán)機(jī)組2、送風(fēng)管路3和排風(fēng)管路4，所述密封車(chē)間的兩側(cè)墻體的內(nèi)側(cè)設(shè)有排風(fēng)通道5，所述排風(fēng)通道上設(shè)有與所述密封車(chē)間內(nèi)部連通的排風(fēng)口6，所述排風(fēng)通道與所述排風(fēng)管路連通，所述排風(fēng)管路與所述空氣循環(huán)機(jī)組連通，所述送風(fēng)管路一端與設(shè)置在車(chē)間吊頂上的送風(fēng)口7連通，另一端與所述空氣循環(huán)機(jī)組連通，吊頂采用彩鋼板。所述密封車(chē)間內(nèi)設(shè)有二次潔凈室8，所述二次潔凈室的頂部及四周由鋼化玻璃圍城，二次潔凈室由支撐柱9支撐，距離地面20cm-30cm，二次潔凈室的頂部設(shè)有送風(fēng)口10，所述送風(fēng)口與所述送風(fēng)管路連通。所述四面墻體采用兩層夾板中間內(nèi)襯阻燃芯材。所述密封車(chē)間的地面采用防靜電PVC地板或環(huán)氧樹(shù)脂涂層地板。所述排風(fēng)口上設(shè)有排風(fēng)百葉。
本發(fā)明在使用時(shí)，空氣進(jìn)入空氣循環(huán)機(jī)組，空氣循環(huán)機(jī)組將空氣內(nèi)的灰塵濾除掉后，將凈化空氣通過(guò)送風(fēng)管路輸送到排風(fēng)口進(jìn)入到車(chē)間內(nèi)部，無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的空氣經(jīng)排風(fēng)口 傳輸至排風(fēng)管路內(nèi)，再進(jìn)入空氣循環(huán)機(jī)組，形成流動(dòng)氣流。
本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通過(guò)空氣循環(huán)機(jī)組對(duì)車(chē)間內(nèi)進(jìn)行氣體的交換，大大保證了室內(nèi)空氣的潔凈度，由于在潔凈室內(nèi)部再設(shè)置一個(gè)二級(jí)潔凈室，二級(jí)潔凈室采用鋼化玻璃制造，底部通過(guò)支撐柱支撐距離地面一定高度，保證了二級(jí)潔凈室中空氣有效的循環(huán)，進(jìn)一步提高了二級(jí)潔凈室的潔凈等級(jí)。
以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。

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