技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種無塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)
現(xiàn)有半導(dǎo)體無塵車間內(nèi)，需要對空氣進行過濾凈化，但目前缺乏有效的空氣分析，往往使得空氣中SO4含量超標(biāo)，會導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種無塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)，解決上述現(xiàn)有技術(shù)中無塵車間空氣過濾缺少配套分析使得產(chǎn)品良率降低的問題。
為實現(xiàn)上述目標(biāo)及其他相關(guān)目標(biāo)，本發(fā)明提供一種無塵車間內(nèi)空氣分析方法，所述無塵車間內(nèi)設(shè)有過濾器，所述方法包括：在所述無塵車間內(nèi)設(shè)置多個采樣點；在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣；提供元素分析設(shè)備對所采樣空氣樣本進行元素分析；對所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)進行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對及監(jiān)控，對監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進行管理改善和處理。
可選的，所述提供元素分析設(shè)備以對所采樣空氣樣本進行元素分析，包括：在所述采樣分析設(shè)備對與所述標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)對應(yīng)的用來分析用的標(biāo)準(zhǔn)溶液進行配比、安裝和測試以確保所述分析數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，進而對采樣進入設(shè)備的樣本進行定性和定量分析。
可選的，所述元素包括SO4。
為實現(xiàn)上述目標(biāo)及其他相關(guān)目標(biāo)，本發(fā)明提供一種無塵車間內(nèi)空氣分析系統(tǒng)，所述無塵車間內(nèi)設(shè)有過濾器，所述系統(tǒng)包括：多個空氣采樣裝置，分別設(shè)置于所述無塵車間內(nèi)所預(yù)設(shè)的多個采樣點處，用于進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣；元素分析設(shè)備，用于對所采樣空氣樣本進行元素分析，并對所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)進行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對及監(jiān)控，對監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進行管理改善和處理。
可選的，所述空氣采樣裝置包括采樣管。
可選的，所述采樣管長度為100m。
可選的，所述提供元素分析設(shè)備以對所采樣空氣樣本進行元素分析，包括：在所述采樣分析設(shè)備對與所述標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)對應(yīng)的用來分析用的標(biāo)準(zhǔn)溶液進行配比、安裝和測試以確保所述分析數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，進而對采樣進入設(shè)備的樣本進行定性和定量分析。
可選的，所述元素包括SO4。
如上所述，本發(fā)明提供一種無塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)，在所述無塵車間內(nèi)設(shè)置多個采樣點；在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣；對所采樣空氣樣本進行元素分析；對所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)進行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對及監(jiān)控，對監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進行管理改善和處理；本發(fā)明保證產(chǎn)線內(nèi)空氣中SO4情況被管理，以預(yù)防因其超管理線而導(dǎo)致的產(chǎn)品信賴性失效。
附圖說明
圖1顯示為本發(fā)明的無塵車間內(nèi)空氣分析方法的一實施例的流程示意圖。
圖2顯示為本發(fā)明的無塵車間內(nèi)空氣分析系統(tǒng)的一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
元件標(biāo)號說明：
1-無塵車間；
2-過濾器；
3-空氣分析系統(tǒng)；
31-空氣采樣裝置；
32-元素分析設(shè)備；
S1~S4-方法步驟。
具體實施方式
以下通過特定的具體實例說明本發(fā)明的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的具體實施方式加以實施或應(yīng)用，本說明書中的各項細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點與應(yīng)用，在沒有背離本發(fā)明的精神下進行各種修飾或改變。需說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。
如圖1所示，本發(fā)明提供一種無塵車間內(nèi)空氣分析方法，無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點：對于300000級空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效過濾器三級過濾器；中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用；中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段；高效或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。所述無塵車間可以是電子半導(dǎo)體制備及封裝作業(yè)的用途，里面設(shè)有半導(dǎo)體制造的產(chǎn)線。
所述方法包括：
步驟S1：在所述無塵車間內(nèi)設(shè)置多個采樣點；在一實施例中，各個采樣點覆蓋整個車間產(chǎn)線；
步驟S2：在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器（MAU）的過濾出口之前和之后的采樣；
步驟S3：提供元素分析設(shè)備對所采樣空氣樣本進行元素分析；
步驟S4：對所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)（SPEC）進行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對及監(jiān)控，對監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進行管理改善和處理。在一實施例中，所述分析數(shù)據(jù)可形成圖表，例如，縱軸是成分含量，橫軸是時間等；并且對應(yīng)各種不同氣體成分均有不同圖線例如折線等。
在一實施例中，所述提供元素分析設(shè)備以對所采樣空氣樣本進行元素分析，包括：在所述采樣分析設(shè)備對與所述標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)對應(yīng)的用來分析用的標(biāo)準(zhǔn)溶液進行配比、安裝和測試以確保所述分析數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，進而對采樣進入設(shè)備的樣本進行定性和定量分析。
在一實施例中所述元素，包括SO4；當(dāng)然還可能包括氯氣等。
如圖2所示，本發(fā)明提供一種無塵車間1內(nèi)空氣分析系統(tǒng)3，所述無塵車間1內(nèi)設(shè)有過濾器2，需說明的是，所述系統(tǒng)3實施例的技術(shù)原理與前述實施例相類似，上述實施例中的技術(shù)特征均可應(yīng)用于所述系統(tǒng)3實施例中，因此不再對相同的技術(shù)細(xì)節(jié)作重復(fù)贅述。
所述系統(tǒng)3包括：多個空氣采樣裝置31，分別設(shè)置于所述無塵車間1內(nèi)所預(yù)設(shè)的多個采樣點處，用于進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器2的過濾出口之前和之后的采樣；元素分析設(shè)備32，用于對所采樣空氣樣本進行元素分析，并對所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)進行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對及監(jiān)控，對監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進行管理改善和處理，其例如為氣體檢測儀，質(zhì)譜儀等。
在一實施例中，所述空氣采樣裝置31包括采樣管。
在一實施例中，所述采樣管長度為100m。
在一實施例中，所述提供元素分析設(shè)備32以對所采樣空氣樣本進行元素分析，包括：在所述采樣分析設(shè)備對與所述標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)對應(yīng)的用來分析用的標(biāo)準(zhǔn)溶液進行配比、安裝和測試以確保所述分析數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，進而對采樣進入設(shè)備的樣本進行定性和定量分析。
在一實施例中，所述元素包括SO4。
綜上所述，本發(fā)明提供一種無塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)，在所述無塵車間內(nèi)設(shè)置多個采樣點；在所述各采樣點處進行外氣采樣、及空氣進入所述過濾器的過濾出口之前和之后的采樣；對所采樣空氣樣本進行元素分析；對所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)進行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對及監(jiān)控，對監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進行管理改善和處理；本發(fā)明保證產(chǎn)線內(nèi)空氣中SO4情況被管理，以預(yù)防因其超管理線而導(dǎo)致的產(chǎn)品信賴性失效。

上述實施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。

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