施紅平：尊敬的各位領(lǐng)導(dǎo)、各位專家，我是無(wú)錫中電二公司的施紅平，今天跟大家共同交流一下關(guān)于電子潔凈廠房的施工特點(diǎn)。這次主要針對(duì)半導(dǎo)體工廠一些特點(diǎn)跟大家交流一下，一共五個(gè)部分來(lái)介紹，一個(gè)是廠房的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，還有做這樣的廠房關(guān)鍵的難點(diǎn)，第三部分跟大家介紹一下潔凈廠房事實(shí)供需流程，第四個(gè)部分闡述一下潔凈管制內(nèi)容，第五個(gè)部分簡(jiǎn)單說一下我們?cè)诮◤S方面的特點(diǎn)和經(jīng)驗(yàn)。
潔凈工程有它的特殊性，剛才陳總將潔凈廠房規(guī)范的時(shí)候也提到了，對(duì)于這樣的廠房它的特點(diǎn)非常明顯，第一個(gè)造價(jià)特點(diǎn)貴，隨著半導(dǎo)體工程的發(fā)展，這樣對(duì)于工廠的品質(zhì)要求越來(lái)越高，TFT工廠也是一樣，TFT工廠本身的玻璃基板的尺寸越來(lái)越大，從原來(lái)的一代線到現(xiàn)在的主流八代線，隨著基本尺寸大造價(jià)越來(lái)越高。
第二個(gè)特點(diǎn)是工期短，由于半導(dǎo)體工廠，TFT工廠的特點(diǎn)投資特點(diǎn)大，所有的建設(shè)方盡快短期進(jìn)行生產(chǎn)，取得投資回報(bào)，作為施工單位來(lái)講擺在面前的一個(gè)特點(diǎn)就是工期要求非常緊。第三個(gè)特點(diǎn)是品質(zhì)要求非常高，由于電子工廠它對(duì)廠房的依賴程度非常高，建廠當(dāng)中的事故直接導(dǎo)致產(chǎn)品良品率的高低，第四個(gè)就是高復(fù)雜度，對(duì)于建廠來(lái)講，專業(yè)技術(shù)問題是一個(gè)非常全面的，涵蓋了多專業(yè)、多行業(yè)的問題，同時(shí)還有管理的問題。第五個(gè)特點(diǎn)是高整合度，對(duì)于建廠來(lái)講有這樣五個(gè)特點(diǎn)。
這是典型的一個(gè)半導(dǎo)體工廠或者是TFT工廠的剖面圖，我們可以看到他一般分成三個(gè)區(qū)，從頁(yè)面上來(lái)講是三個(gè)區(qū)，一個(gè)是下界層，還有一個(gè)核心區(qū)，所有的工程設(shè)備都在核心區(qū)里面，對(duì)于這三個(gè)工作面來(lái)講，對(duì)于施工的順序和內(nèi)容待會(huì)兒和大家簡(jiǎn)單的做一個(gè)介紹。我們看到這三個(gè)圖片，這上面反應(yīng)有下技術(shù)夾層，主要是管線的布置，工作層是防止設(shè)備的，還有一個(gè)是靜壓層面。 ? 對(duì)于關(guān)鍵難點(diǎn)第一個(gè)是高空作業(yè)，這是非常明顯的工作特點(diǎn)，對(duì)于我們來(lái)講安全、整個(gè)施工的難度都相應(yīng)非常大，我們采取分層作業(yè)的施工方式，我們先把地板層做起來(lái)，這樣以地板層為界面分為上下兩個(gè)層面進(jìn)行施工。
第二個(gè)難題就是大面積精度控制，我們現(xiàn)在隨著產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，往大，往精細(xì)化發(fā)展，單位工廠我們做得達(dá)到4萬(wàn)平方米，這對(duì)于精度是一個(gè)很大的挑戰(zhàn)，如何進(jìn)行精度的保證這對(duì)于我們實(shí)施這樣的項(xiàng)目來(lái)講也是高難度的方面，我們的做法是配置專業(yè)的測(cè)量人員。在大面積的情況下把精度控制在實(shí)施的要求范圍之內(nèi)。
第三個(gè)難點(diǎn)就是全過程潔凈施工控制，潔凈廠房相對(duì)其他廠房一個(gè)最大的特點(diǎn)就是潔凈的管控，潔凈的管控從建廠一開始到最后是全過程的控制，只有透過全過程的控制才能保證建出來(lái)的廠房是合格的廠房。
主要的實(shí)施供需給大家做一個(gè)介紹，對(duì)于建廠來(lái)講，對(duì)于潔凈工程施工來(lái)講我們一般情況下是根據(jù)潔凈室的裝修作為控制的主線來(lái)考慮，首先我們做得是工作面分析，工作面我們要求封閉，整個(gè)廠房封閉以后才能作為潔凈工程的開始，如果沒有封閉的話，也要采用臨時(shí)的封閉，保證我們封閉施工作業(yè)。夾層地板安裝完成這個(gè)工作面的完成標(biāo)志著上下兩個(gè)工作面可以同時(shí)展開施工作業(yè)。上面的工作主要是完成風(fēng)管的安裝，支架的安裝等等。下面的工作主要是工業(yè)管線的作業(yè)，這樣的做法在目前做大面積廠房主流的施工方式，這個(gè)施工方式證明也是非常成功的，可以有效的解決安全問題，一個(gè)是高空掉落或者上下面的干擾。我們現(xiàn)在看到的這個(gè)圖就是分層作業(yè)面的示意圖，當(dāng)我們活動(dòng)地板完成以后，可以分成三個(gè)層面作業(yè)，可以保證工作有效的推進(jìn)。 ? 第四個(gè)主要給大家介紹潔凈管制方面的內(nèi)容，剛才講到過，對(duì)于潔凈工程來(lái)說，相比其他的潔凈工程最大的區(qū)別就是要求全過程的潔凈管控，潔凈管控主要有五個(gè)方面控制，第一個(gè)方面就是進(jìn)入潔凈室施工人員的管制，因?yàn)槿耸菐霃S房里面主要的污染來(lái)源。第二是出入潔凈室管制區(qū)服裝的規(guī)定，第三個(gè)是進(jìn)出潔凈室物料的管控，對(duì)于這個(gè)部分的控制和人的控制都是我們核心需要控制的內(nèi)容。第四個(gè)要介紹潔凈室內(nèi)施工管制，第五個(gè)部分就是人員和物料的動(dòng)線，我們?cè)O(shè)置一個(gè)人流的通道口，這個(gè)是唯一的，通過這個(gè)唯一的通道口進(jìn)入潔凈室。
對(duì)于潔凈室管理我們公司對(duì)于高端的潔凈廠房我們把它劃分成五個(gè)階段，第一個(gè)階段是建筑物施工完成，將建筑物進(jìn)行封閉，如果施工單位沒有封閉，我們會(huì)臨時(shí)進(jìn)行封閉，保證廠房是在封閉的空間進(jìn)行施工，這樣的目的是減少灰塵帶入潔凈室。主要的施工內(nèi)容是對(duì)所有產(chǎn)生灰塵的作業(yè)都在這一階段進(jìn)行完成，包括地面的打磨，包括支架開孔的都會(huì)在第一階段完成。
第二部分是要對(duì)潔凈室土建進(jìn)行封閉，使混凝土地面不會(huì)再產(chǎn)生。第三個(gè)潔凈室周圍墻板施工完成，最后一個(gè)是正壓送風(fēng)新風(fēng)管安裝完成，新風(fēng)機(jī)安裝完成。
對(duì)于人員服裝的管理要求，是要求所有進(jìn)入潔凈區(qū)的工作人員一定要進(jìn)行培訓(xùn)，對(duì)于他們的服裝要求一般的工作服就可以，但是必須要干凈，鞋子也是一樣。潔凈室m.gxshunjiang.com內(nèi)清掃管理上也是這樣，作業(yè)區(qū)作業(yè)以后必須要清掃，打掃完成以后才能離開，每周進(jìn)行全面的清潔清掃。潔凈管理的第二階段是潔凈室的四周已經(jīng)封閉完成，往里面進(jìn)行正壓送風(fēng)，主要是控制廠房外面的灰塵進(jìn)入到廠房里面來(lái)。這個(gè)階段主要的特點(diǎn)在服裝上面要穿室內(nèi)安全鞋。服裝管理上面跟第一階段一樣要求穿干凈的工作服，清掃方面我們采用一般的吸塵器進(jìn)行洗塵。
第二階段完成以后進(jìn)入第三階段，進(jìn)入第三階段以后相區(qū)別上面的階段主要是要求在二層作業(yè)的時(shí)候要穿專用的軟底鞋。還有一個(gè)就是不允許電弧焊，只允許動(dòng)用氬弧焊。第三階段的服裝管理要求干凈的工作服，二層要穿室內(nèi)專用的軟底鞋，作業(yè)結(jié)束后必須清潔干凈，這個(gè)階段的吸塵器是要求帶高效過濾器的真空吸塵器。
第三階段完成以后會(huì)轉(zhuǎn)入到第四階段的施工作業(yè)，到第四階段的施工作業(yè)來(lái)講，相對(duì)于第三階段最大區(qū)別是我們要求進(jìn)入潔凈室工作人員要穿潔凈服，這個(gè)階段主要工作內(nèi)容是完成高效過濾器和FFU的安裝和FFU的界限，下夾層動(dòng)力設(shè)備的施工，電器設(shè)備的檢查、各種報(bào)警的確認(rèn)。對(duì)于這個(gè)階段來(lái)講潔凈服要求是非常嚴(yán)格的，對(duì)于清掃來(lái)講使用不發(fā)塵的無(wú)塵布，專門清潔人員用酒精或防靜電清潔液擦洗，并采用高效過濾器進(jìn)行清掃。
最后一個(gè)階段，這個(gè)階段主要工作是對(duì)潔凈室的環(huán)境進(jìn)行測(cè)定，所有的施工工作在第四階段完成了，第五是對(duì)環(huán)境的測(cè)定，這個(gè)相對(duì)于第四階段主要區(qū)別，對(duì)于潔凈人員來(lái)講不但是穿潔凈服和潔凈鞋，另外還要戴潔凈手套及口罩，清掃管理跟第四階段一樣。
人員出入口管制，剛才介紹過整個(gè)廠房里面設(shè)置一個(gè)人員的入口，我們會(huì)在這個(gè)管制口里面設(shè)置這樣一些區(qū)域，第一個(gè)區(qū)域是換鞋區(qū)。第二是更衣區(qū)。第三個(gè)區(qū)是登記區(qū)。進(jìn)入這三個(gè)區(qū)以后才能順利進(jìn)入潔凈室進(jìn)行施工。物料也是一樣，我們也是要求物料進(jìn)行清潔完以后進(jìn)行檢查，檢查以后進(jìn)行登記最后才能進(jìn)入潔凈區(qū)。

接下來(lái)簡(jiǎn)單把公司的情況做一個(gè)介紹，我們公司是一個(gè)專業(yè)做潔凈廠房的公司，我們公司是1953年成立的，目前公司核心業(yè)務(wù)是做潔凈室建設(shè)方面有關(guān)的工作，各項(xiàng)體系措施都是比較全面。原來(lái)我們公司是安裝施工企業(yè)，現(xiàn)在進(jìn)行潔凈室系統(tǒng)的服務(wù)，包括設(shè)計(jì)、咨詢、建造、調(diào)試、運(yùn)行、維護(hù)進(jìn)行全過程的服務(wù)，謝謝大家。

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