| ISO分級(jí) | 大于等于表中所列粒徑懸浮粒子最大允許濃度（顆/m3） | |||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| ISO1級(jí) | 10 | 2 | ||||
| ISO2級(jí) | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO3級(jí) | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO4級(jí) | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| ISO5級(jí) | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| ISO6級(jí) | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| ISO7級(jí) | 352000 | 83200 | 2930 | |||
| ISO8級(jí) | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
| ISO9級(jí) | 35200000 | 8320000 | 293000 | |||
其FDIS版本只需進(jìn)行最后的修改和投票。它即將成為ISO/TC209在1998年年中發(fā)行的第一份正式標(biāo)準(zhǔn)。ISO14644-1把空氣潔凈度分為9個(gè)等級(jí)，比美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E多出3個(gè)等級(jí)（請(qǐng)參見(jiàn)表C和表D）。微粒數(shù)量觸發(fā)點(diǎn)（trigger points）在ISO14644-1和FS209E之間只存在細(xì)微的差別（請(qǐng)參見(jiàn)表E）。請(qǐng)注意：所有的ISO數(shù)據(jù)都是以公制為基礎(chǔ)的。
表C 14644-1
空氣中的懸浮粒子的潔凈度等級(jí)
| 等級(jí) | 每立方米微粒的數(shù)量（單位：μm） | |||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| ISO1 | 10 | 2 | ||||
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
| ISO5 | 100,000 | 23,000 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| ISO6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
| ISO8 | 3,252,000 | 832,000 | 29,300 | |||
| ISO9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | |||
表D空氣中的懸浮粒子的潔凈度等級(jí)的對(duì)比
| ISO 14644-1 | FED STD 209E | |
| 1 | ||
| 2 | ||
| 3 | 1 | M1.5 |
| 4 | 10 | M2.5 |
| 5 | 100 | M3.5 |
| 6 | 1,000 | M4.5 |
| 7 | 10,000 | M5.5 |
| 8 | 100,000 | M6.5 |
| 9 | ||
表E 0.5μm時(shí)的等級(jí)比較
| ISO | ISO14644-1 | FED STD 209E |
| 1 | – | – |
| 2 | 4 | – |
| 3 | 35 | 35.3 |
| 4 | 352 | 353 |
| 5 | 3,520 | 3,530 |
| 6 | 35,200 | 35,300 |
| 7 | 352,000 | 353,000 |
| 8 | 3,520,000 | 3,530,000 |
| 9 | 35,200,000 | – |
潔凈室系列標(biāo)準(zhǔn)是ISO標(biāo)準(zhǔn)的一個(gè)新體系，其工作由ISO/TC 209“潔凈室和相關(guān)的控制環(huán)境”負(fù)責(zé)。此技術(shù)小組是在環(huán)境科學(xué)和技術(shù)學(xué)院（IEST）的協(xié)助下，由來(lái)自34個(gè)國(guó)家的1，000多名自愿者組成的。從現(xiàn)在到1999年底，TC209發(fā)行的10個(gè)標(biāo)準(zhǔn)將成為正式的ISO標(biāo)準(zhǔn)。
各標(biāo)準(zhǔn)的題目和發(fā)行時(shí)間如下：
| ISO文件 | 題目 | 發(fā)行時(shí)間和形式 |
| ISO-14644-1 | 空氣潔凈度的分類 | 97年10月FDIS（發(fā)行時(shí)間已延遲到98年10月） |
| ISO-14644-2 | 潔凈室的鑒定測(cè)試 | 97年10月DIS |
| ISO-14644-4 | 潔凈室的設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu) | 97年10月DIS |
| ISO-14698-1 | 生物污染的一般原則 | 97年10月DIS |
| ISO-14698-2 | 生物污染數(shù)據(jù)的鑒定和分析 | 97年10月DIS |
| ISO-14698-3 | 表面的生物污染控制 | 98年6月DIS |
| ISO-14644-3 | 測(cè)量學(xué)和測(cè)試方法 | 98年9月DIS |
| ISO-14644-5 | 潔凈室的操作 | 98年10月DIS |
| ISO-14644-7 | 微觀環(huán)境和絕緣體 | 98年10月DIS |
| ISO-14644-6 | 術(shù)語(yǔ)、定義和單位 | 99年2月DIS |
ISO14644 1-8中英文完整版請(qǐng)參考：http://m.gxshunjiang.com/cleanroom-standards/jjcsjgf/747.html
