無(wú)塵室常用名詞介紹

1.?無(wú)塵室定義：無(wú)塵室是一個(gè)為了對(duì)空間內(nèi)空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建筑。一般而言，無(wú)塵室也會(huì)對(duì)溫濕度、氣流運(yùn)動(dòng)模式、與震動(dòng)噪音等環(huán)境因素做控制。
2.?微?？刂疲?a href="http://m.gxshunjiang.com/" target="_blank" rel="noopener">無(wú)塵室微粒控制的第一步，是把室內(nèi)微粒對(duì)制程影響的程度做完整分析，然后針對(duì)分析結(jié)果，訂定恰當(dāng)?shù)奈⒘？刂品绞脚c無(wú)塵室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時(shí)，必須特別注意數(shù)據(jù)的量化，也就是粒徑與其數(shù)量對(duì)制程的影響，才是有用的數(shù)據(jù)。
3.?外來(lái)污染源：從無(wú)塵室外進(jìn)入系統(tǒng)的污染源，外來(lái)污染源主要是由空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)所導(dǎo)入，另外門(mén)、窗、墻壁裂縫等也是外來(lái)污染源的成因。
4.?內(nèi)部污染源：無(wú)塵室內(nèi)部產(chǎn)生污染的來(lái)源，一般是制程機(jī)器與操作員工，最嚴(yán)重的內(nèi)部污染源一般是操作員工。
5.?隔離：隔離是污染控制的一種觀念，也就是讓污染源隔絕在無(wú)塵區(qū)域之外。這種觀念多應(yīng)用在高潔凈度的無(wú)塵環(huán)境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高濾網(wǎng)覆蓋率的無(wú)塵室，或是使用迷你潔凈室將機(jī)臺(tái)整個(gè)包住。
6.?稀釋?zhuān)合♂屖俏廴究刂频牧硪环N觀念，多應(yīng)用在潔凈度不高的無(wú)塵室。例如在 Class 10000的無(wú)塵室，因?yàn)閾Q氣量不大，制程與人員產(chǎn)生的粒子就會(huì)在室內(nèi)打轉(zhuǎn)，要比較常的時(shí)間才會(huì)排出。因此新的干凈空氣只能稀釋室內(nèi)的微粒濃度，讓室內(nèi)潔凈度控制在某一等級(jí)之下就可以了，部要求把人員與制程隔開(kāi)。使用稀釋法作為?？刂茣r(shí)，要特別注意本節(jié)第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產(chǎn)生速率，才能有效的稀釋微粒。
7.?氣流模式：指的是流場(chǎng)型態(tài)，氣流分布，氣流的流向等性質(zhì)。由于微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此愈潔凈的無(wú)塵室或是無(wú)塵區(qū)域，對(duì)氣流模式的掌控就愈重視?；旧弦日莆諝饬髂Ｊ?，才能掌握潔凈度。
8.?單一流向型氣流：氣流以同一個(gè)方向移動(dòng)，這種無(wú)塵室稱(chēng)為單一流向型無(wú)塵室，以前稱(chēng)為層流型無(wú)塵室，定義并無(wú)多大改變。高潔凈度無(wú)塵室需要單一流向型氣流。
9.?非單一流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無(wú)塵室，潔凈度較低的無(wú)塵室都是用非單一流向型氣流以節(jié)省成本。
10.?As-built cleanroom（剛完工的無(wú)塵室）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支持設(shè)施皆已完成的潔凈室，但并沒(méi)有設(shè)備及操作設(shè)備的人員。
11.?At-rest cleanroom（準(zhǔn)備中的無(wú)塵室）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支持設(shè)施皆已動(dòng)作的無(wú)塵室，設(shè)備已加載并可以操作或已在運(yùn)轉(zhuǎn)，1如所指定，但沒(méi)有操作設(shè)備的人員。
12.?Operational cleanroom（操作中的無(wú)塵室設(shè)施）：一個(gè)已在正常運(yùn)轉(zhuǎn)的無(wú)塵室，所有相關(guān)支持設(shè)施皆已動(dòng)作，設(shè)備及人員皆已加載，運(yùn)轉(zhuǎn)狀況可以呈現(xiàn)和達(dá)到其正常的功能。