潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范在經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國(guó)家和地區(qū)都有自己的標(biāo)準(zhǔn)，都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級(jí)。
例如：美國(guó)、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國(guó)于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GBJ73-84），1996年該規(guī)范進(jìn)行較大的修改，1990年頒布《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71-90）以指導(dǎo)施工和驗(yàn)收的重要文件。目前，該規(guī)范在重新修訂中。
GBJ73-84規(guī)定的潔凈度等級(jí)
| 等級(jí) | 每立方米（升）空氣中》0.5μm塵粒數(shù) | 每立方米（升）空氣中》5μm塵粒數(shù) |
| 100 | 《35*100（〈3.5〉 | |
| 1000 | 《35*1000（〈35〉 | 《250（〈0.25〉 |
| 10000 | 《35*10000（〈350〉 | 《2500（〈2.5〉 |
| 100000 | 《35*100000（〈3500〉 | 《25000（〈25〉 |
美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E中的潔凈等級(jí)
| 等級(jí)名稱 | 等級(jí)限值 | ||||||||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm | |||||||
| 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | |||||||
| 國(guó)際單位 | 英制
單位 |
m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 |
| M1.0 | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 | / | / | |
| M1.5 | 1 | 1240 | 35.0 | 265.0 | 7.5 | 106 | 3 | 35.3 | 1 | / | / |
| M2.0 | 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | / | / | |
| M2.5 | 10 | 12400 | 350.0 | 2650 | 75 | 1060 | 30 | 353 | 10 | / | / |
| M3.0 | 35000 | 991.0 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | / | / | |
| M3.5 | 100 | / | / | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | / | / |
| M4.0 | / | / | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | / | / | |
| M4.5 | 1000 | / | / | / | / | / | / | 35300 | 1000 | 247 | 7 |
| M5.0 | / | / | / | / | / | / | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | |
| M5.5 | 10000 | / | / | / | / | / | / | 353000 | 10000 | 2470 | 70 |
| M6.0 | / | / | / | / | / | / | 1000000 | 28300 | 6180 | 175 | |
| M6.5 | 100000 | / | / | / | / | / | / | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 |
| M7.0 | / | / | / | / | / | / | 10000000 | 283000 | 61800 | 1750 | |
美國(guó)宇航局標(biāo)準(zhǔn)NHB5340.2中的潔凈等級(jí)
| 生物
潔凈 室標(biāo)準(zhǔn) |
塵埃 | 生物粒子 | 壓力 | 溫度 | 濕度 | 氣流 | 照度 | ||
| 粒徑
(μm) |
個(gè)/L | 浮游量
(個(gè)/L) |
浮沉量
(個(gè)/m2周) |
mmH2O | ℃ | % | 換氣
次數(shù) |
Lx | |
| 100 | ≥0.5 | ≤3.5 | ≤0.0035 | 12900 | ≥1.25 | 指定數(shù) | 40~45 | 1000~1620 | |
| 10000 | ≥0.5
≥5.0 |
≤350
≤2.3 |
≤0.0176 | 64600 | ≥1.25 | ||||
| 100000 | ≥0.5
≥5.0 |
≤3500
≤23 |
≤0.0884 | 323000 | ≥1.25 | ||||
日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JISB-9920-1989中的潔凈度等級(jí)
| 粒徑(μm) | 潔凈度等級(jí)(個(gè)/m3) | |||||||
| 1級(jí) | 2級(jí) | 3級(jí) | 4級(jí) | 5級(jí) | 6級(jí) | 7級(jí) | 8級(jí) | |
| 0.1 | 101 | 102 | 103 | 104 | 105 | 106 | 107 | 108 |
| 0.2 | 2 | 24 | 236 | 2360 | 23600 | |||
| 0.3 | 1 | 10 | 101 | 1010 | 10100 | 101000 | 1010000 | 10100000 |
| 0.5 | 0.35 | 3.5 | 35 | 350 | 3500 | 35000 | 350000 | 3500000 |
| 5.0 | / | / | / | / | 29 | 290 | 2900 | 29000 |
