凈化車間的規(guī)格一般適用于美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209B。這個(gè)規(guī)格對(duì)凈化間的環(huán)境要素即空氣潔凈度、溫濕度、室內(nèi)壓等都進(jìn)行了規(guī)格化規(guī)定。但是，伴隨著潔凈化程度的不斷提高，美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格進(jìn)行了改版，其內(nèi)容主要是以潔凈度進(jìn)行分類。最新版已成為No209E，名稱也進(jìn)行了變更。No.209E的級(jí)別表示是把0.5um以上的顆粒數(shù)為10x個(gè)/m3，把X表示成級(jí)別，同時(shí)加上米制M的意思，表示成M3.5等等。在表7里表示的是美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209B，表8表示的是美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209E。在日本，相應(yīng)的規(guī)格是JIS B9920。JIS9920的級(jí)別表示是把0.1um以上的顆粒數(shù)規(guī)定為10的x立方個(gè)，用Y表示級(jí)別。表9、圖2表示了JIS B 9920的級(jí)別的主要內(nèi)容。
潔凈度” alt=”凈化車間潔凈度” />
表7 ?美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209B
| 凈化間級(jí)別 | 粒子 | 室內(nèi)壓力Pa
mmH2O |
溫度 | 濕度 | 氣流
換氣次數(shù) |
照度 | |||||
| 粒徑
um |
累計(jì)粒子數(shù) | 范圍
（℃） |
推薦值（℃） | 差
（℃） |
高
（%） |
最低
% |
誤差
% |
||||
| 100
1000 10000 100000 |
≥0.5
≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 |
100
1000 10 10000 65 100000 700 |
+13
（+1.3） 以上 |
19.4—
25 |
22.2 | ±2.8
特別時(shí)為±1.4 |
45 | 30 | ±10
特別時(shí)為±5 |
層流方式
0.45m/s ±0.1m/s 非層流方式 ≥20次/h |
1080–1620 |
表8 ?美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209E的潔凈度級(jí)別分類
級(jí)別上限值是各級(jí)別名。上限值用指定粒徑以上的濃度（單位堆積粒子數(shù)）表示。*
| 級(jí)別名稱** | 級(jí)別上限值 | ||||||||||
| 粒徑
0.1um |
粒徑
0.2um |
粒徑
0.3um |
粒徑
0.5um |
粒徑
5um |
|||||||
| SI*** | English
Unit |
(m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) |
| MI
M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7 |
1
10 100 1000 10000 100000 |
350
1240 3500 12000 35000 — — — — — — — — |
9.91
35.0 99.1 350 991 — — — — — — — — |
75.7
265 757 2650 7570 26500 75700 — — — — — — |
2.14
7.50 21.4 75.0 214 750 2140 — — — — — — |
30.9
106 309 1060 3090 10600 30900 — — — — — — |
0.875
3.00 8.75 30.0 87.5 300 875 — — — — — — |
10.0
35.3 100 353 1000 3530 10000??35300 100000 353000 1000000 3530000 10000000 |
0.283
1.00 2.83 10.0 28.3 100 283 1000 2380 10000 28300 100000 283000 |
—
— — — — — — 247 618 2470 6180 24700 61800 |
—
— — — — — — 7.00 17.5 70.0 175 700 1750 |
*上表中表示的級(jí)別上限值僅僅是為了級(jí)別分類而定義的，并不表示實(shí)際的粒徑分布值。
**針對(duì)中間級(jí)別的濃度上限值，用如下的公式進(jìn)行計(jì)算。
粒子直徑/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI單位里的級(jí)別名稱，D :粒徑（um）
***國(guó)際單位（Systeme International d’Unites的縮寫）
圖1，209E的潔凈度級(jí)別（圖略）圖中的●標(biāo)記表示評(píng)價(jià)潔凈度級(jí)別用的對(duì)象粒子。
（）內(nèi)數(shù)值是用English unit表示級(jí)別。
圖2，JIS B 9920的潔凈度級(jí)別的上限濃度
表9，JIS B 9920主要內(nèi)容????
表10，美國(guó)航空宇宙局規(guī)格主要內(nèi)容
| 生物凈化間級(jí)別 | 粒子 | 生物粒子 | 室內(nèi)
壓力 Pa mmH2O |
溫度℃ | 濕度
% |
氣流
換氣次數(shù) |
照度
Lx |
||
| 粒徑
um |
累計(jì)
粒子數(shù) 個(gè)/ft (個(gè)/l) |
浮游量
個(gè)/ft (個(gè)/l) |
沉降量 | ||||||
| 100
10000 100000 |
≥0.5
≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 |
100
（3.5） 10000 （350） 65（2.3） 100000 （3500） 700(25) |
0.1
（0.0035） 0.5 （0.0176） 2.5 （0.0884） |
1200
（12900） 6000 （64000） 30000 （323000） |
+13
（+1.3） 以上 |
推
薦 值 |
40
— 50 |
層流方式
0.45m/s ±0.1m/s 非層流式 ≥20次/h |
1080—
1620 |
如前所述，凈化車間的級(jí)別一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4個(gè)級(jí)別。但根據(jù)各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的作業(yè)工序不同，形成必要的級(jí)別是不一樣的。例如，在半導(dǎo)體制造工廠等里邊，根據(jù)作業(yè)內(nèi)容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的凈化間。而且，在制藥工廠里，根據(jù)產(chǎn)品的純度、作業(yè)工序，需有從M3.5到M6.5（100，000）范圍廣泛的級(jí)別不等凈化間。因此說(shuō)，各種產(chǎn)業(yè)所需要的凈化間，其要求的潔凈度是不同的。
就一般級(jí)別而言，表11可以作為參考。
表11，各產(chǎn)業(yè)所要求的凈化車間級(jí)別一覽
| 領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè) | 潔凈度標(biāo)準(zhǔn)（級(jí)別） | 內(nèi)容 | ||
| SI | English unit | |||
| 半導(dǎo)體工業(yè)
（IC、LSI等） |
掩模板對(duì)準(zhǔn)工藝 | M3.5 | 100 | |
| 刻蝕工藝 | M3.5 | 100 | 腐蝕加工 | |
| 擴(kuò)散工藝 | M3.5 | 100 | 高純度擴(kuò)散 | |
| 蒸著工藝 | M3.5 | 100 | 高純度電鍍 | |
| 涂布工藝 | M3.5 | 100 | 感光劑涂布 | |
| 電子設(shè)備 | 計(jì)算器制造 | M5.5 | 10,000 | 磁頭 |
| 陰極射線管 | M5.5 | 10,000, | 遮屏 | |
| 磁帶 | M5.5 | 10,000 | 防止雜音 | |
| 精密儀器 | 陀螺、微型軸承 | M5.5 | 10,000 | 提高精度 |
| 導(dǎo)彈部件、繼電器 | M5.5 | 10,000 | 防止誤動(dòng)作 | |
| 鐘表、小型計(jì)量?jī)x器 | M5.5 | 10,000 | 組立、封裝、修理 | |
| 光學(xué)、印刷 | 照相機(jī)、印刷電路板 | M5.5 | 10,000 | 制作 |
| 鏡頭、膠片 | M4.5 | 1,000 | 連接 | |
| 電子制版 | M5.5 | 10,000 | 制作、檢查 | |
| 化學(xué)藥品 | 注射液充填 | M3.5 | 100 | 調(diào)和、充填 |
| 無(wú)菌動(dòng)物養(yǎng)育 | M3.5 | 100 | SPF | |
| 化學(xué)藥品 | 抗生物 | M5.5 | 10,000 | 充填、檢查 |
| 一般醫(yī)療品 | M6.5 | 100,000 | 制造 | |
| 食品 | 釀造、發(fā)酵 | M5.5 | 10,000 | 防止醬油、大醬腐壞 |
| 乳制品、生食品 | M6.5 | 100,000 | 防止酸乳酪變質(zhì) | |
| 食肉加工 | M5.5 | 10,000 | 火腿、香腸 | |
| 攪拌(弄成糊狀)食品 | M5.5 | 10,000 | 攪拌后備烤的圓筒形、半圓形魚(yú)肉、魚(yú)肉山芋丸子等食品制冷時(shí)防止細(xì)菌粘附上。 | |
| 醫(yī)療 | 手術(shù)室 | M3.5 | 100 | 股關(guān)節(jié)手術(shù)、臟器移植 |
| 特殊治療室 | M3.5 | 100 | 白血病、燙傷 | |
| 恢復(fù)、新生兒室 | M3.5 | 10,000 | 早產(chǎn)兒、術(shù)后防止感染 | |
| 臨床檢查 | M5.5 | 10,000 | 菌類培植、檢查 | |
| 農(nóng)林畜產(chǎn) | 蘑菇栽培 | M5.5 | 10,000 | 防止蘑菇種菌被雜菌感染 |
| 植物 | M6.5 | 100,000 | 蘭花栽培（試驗(yàn)用無(wú)菌植物、強(qiáng)勢(shì)培植植物） | |
| 養(yǎng)殖 | M5.5 | 10,000 | 防止魚(yú)、蠶類因菌侵襲致死 | |
| 微生物工程 | 一般病原體 | M3.5 | 100 | 馬爾堡病毒、拉薩氏熱、艾伯拉出血熱（排出空氣） |
| 基因轉(zhuǎn)換 | M3.5 | 100 | 大腸菌（排出空氣） | |
作為凈化車間的分類方法，一般都是根據(jù)室內(nèi)氣流形狀來(lái)劃分的。按這個(gè)方法，凈化間可大致分為如下三大類。
1，?垂直層流型（降下流方式）
這是一種將HEPA或ULPA過(guò)濾器安裝在天花板上，從頂板上往下直對(duì)地面，能以同樣的速度向凈化間提供潔凈空氣的方式。這種設(shè)備體積龐大，造價(jià)也很昂貴，但作為凈化間的性能，無(wú)論是從什么方面講，它都是最好的。
2，?水平層流型（交叉流方式）
這是將HEPA或ULPA過(guò)濾器安裝在壁板上，從墻壁上向?qū)γ鎵Ρ谝酝瑯拥乃俣忍峁崈艨諝獾囊环N方式。由于是水平層流，所以，與氣流的上流側(cè)相比，下流側(cè)的潔凈程度要低一些。但它與垂直層流方式相比的話，具有設(shè)備較小，費(fèi)用較低的特點(diǎn)。
3，?非層流型（常規(guī)型）
與上述幾種層流形式相比，其設(shè)備費(fèi)用要低廉很多，但由于出現(xiàn)了非層流部分，室
內(nèi)氣流發(fā)生紊亂，微粒子浮游在空中，很難保證高的潔凈度。
M3.5級(jí)（100）及M4.5級(jí)（1000）的場(chǎng)合
在潔凈度要求達(dá)到M3.5級(jí)及M4.5級(jí)的場(chǎng)合，其大部分都能達(dá)到層流型。
垂直層流型（降下氣流方式）范例???????????????圖3
2，水平層流型（交叉流方式）范例 ? ? ??圖4
圖注：活性炭過(guò)濾器在外氣被氣體污染的場(chǎng)合下使用。
在凈化車間里濕度的控制也非常重要。建議使用可實(shí)施嚴(yán)格控制的阿姆斯特龍公司產(chǎn)的干蒸汽式加濕器。
表12?垂直層流型的概要及特點(diǎn)
| 概要 | 特點(diǎn) | |
| 吹出口、過(guò)濾器位置 | 天花板（80以上）（圖3） | 優(yōu)點(diǎn)：
●?不會(huì)被室內(nèi)的作業(yè)人數(shù)、作業(yè)狀態(tài)左右，能保證高度的潔凈度。 ●?由于是垂直層流，換氣次數(shù)多，所以，在短時(shí)間內(nèi)得到高水準(zhǔn)的潔凈度。 ●?幾乎不會(huì)發(fā)生塵埃堆積，即便是被污染，也能很快恢復(fù)。 缺點(diǎn) ●?設(shè)備費(fèi)高 ●?運(yùn)轉(zhuǎn)成本高 ●?凈化間面積很難擴(kuò)建 |
| 吹入口位置 | 篩條或孔板（圖3） | |
| 氣流狀態(tài) | 垂直層流 | |
| 換氣次數(shù)（氣流速度） | 250—650次/h0.25m/s左右 | |
| 溫度范圍 | 22℃????±1—3℃ | |
| 濕度范圍 | RH45%?±5-10% | |
| 室內(nèi)外壓力差 | 5-25Pa(0.5—2.5mmH2O) | |
| 所需機(jī)械室 | 大 | |
| 建筑內(nèi)裝材料 | 有規(guī)定 | |
| 工程的難易程度 | 需要很高的技術(shù)水平 | |
| 房間大小的限制 | 沒(méi)有特別的要求 | |
| 房間有效作業(yè)面積 | 能得到很大的面積 | |
| 作業(yè)性 | 好 | |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)經(jīng)費(fèi) | 高 | |
| 管理 | 實(shí)施高水平的管理 | |
表13 水平層流型概要及特征
| 概要 | 特點(diǎn) | |
| 吹出口、過(guò)濾器位置 | 房間一側(cè)的墻壁上（圖4） | 優(yōu)點(diǎn)
●?因渦流、死角等引起的粉塵的堆積、再游離現(xiàn)象很少 ●?室內(nèi)的潔凈度不大被作業(yè)人員數(shù)、作業(yè)狀態(tài)左右。 缺點(diǎn) ●?在距吹出層面較近的地方可以保證有高水平的潔凈度，但在距吸引層面較近的地方，潔凈度會(huì)有所降低。 ●?凈化間擴(kuò)建很困難 ●?設(shè)備費(fèi)用雖不像垂直型那么高，但仍很貴。 ●?柜子、更衣室、風(fēng)淋等準(zhǔn)備室的完善及清掃作業(yè)服等要予以充分的注意。 |
| 吹入口位置 | 吹出口對(duì)面的墻壁（圖4） | |
| 氣流狀態(tài) | 雖是水平層流，但下側(cè)風(fēng)流處會(huì)逐漸被污染。 | |
| 換氣次數(shù)（氣流速度） | 30—650次/H(0.45m/s) | |
| 溫度范圍 | 22℃????±1—3℃ | |
| 濕度范圍 | RH45%?±5-10% | |
| 室內(nèi)外壓力差 | 5–25Pa(0.5—2.5mmH2O) | |
| 所需機(jī)械室 | 中等 | |
| 建筑內(nèi)裝材料 | 有相當(dāng)部分受限制 | |
| 工程的難易程度 | 需水平稍高的技術(shù) | |
| 房間大小的限制 | 受限制 | |
| 房間有效作業(yè)面積 | 受到限制 | |
| 作業(yè)性 | 人員的移動(dòng)受到限制 | |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)經(jīng)費(fèi) | 中等 | |
| 管理 | 稍微需要高水平的管理 | |
5.5級(jí)（10，000）及6.5級(jí)（100，000）的場(chǎng)合
對(duì)于5.5級(jí)（10，000）及6.5級(jí)（100，000）的凈化間，從設(shè)備費(fèi)的角度上考慮，不大使用完全的層流型，而大部分是非層流型。無(wú)論是M5.5級(jí)（10，000）還是M6.5級(jí)（100，000），在設(shè)計(jì)上沒(méi)有根本變化，而是根據(jù)單位時(shí)間內(nèi)的換氣次數(shù)，使其發(fā)生變化的。
非層流型（常規(guī)型）范例?圖5 ? ?(原文鏈接：http://m.gxshunjiang.com/a-86/)
潔凈室原理圖” />
圖中注解：
*?活性炭過(guò)濾器在受到別的氣體污染的時(shí)候使用。
**在凈化車間里，溫度控制也非常重要。建議使用可實(shí)施嚴(yán)格控制的阿姆斯特龍公司的干蒸汽式加濕器。
表14，非層流行型概要及特征
| 概要 | 特征 | |
| 吹出口、過(guò)濾器位置 | 空調(diào)風(fēng)管前端（圖5） | 優(yōu)點(diǎn)：
●?過(guò)濾器及空氣處理簡(jiǎn)單且容易 ●?設(shè)備費(fèi)用便宜 ●?規(guī)模擴(kuò)張方便 ●?通過(guò)使用凈化臺(tái)，可以得到級(jí)別高的潔凈度。 缺點(diǎn) ●?室內(nèi)的潔凈度會(huì)因作業(yè)人員而改變。 ●?易產(chǎn)生渦流、亂流，污染粒子在室內(nèi)有發(fā)生循環(huán)的可能。 ●?由于換氣次數(shù)少，達(dá)到要求的潔凈度所需時(shí)間較長(zhǎng)，動(dòng)力費(fèi)用較高 ●?柜子、更衣室、風(fēng)淋室等房間的完備及清掃作業(yè)服等要充分注意。 |
| 吹入口位置 | 地板上側(cè)面（圖5） | |
| 氣流狀態(tài) | 產(chǎn)生亂流 | |
| 換氣次數(shù)（氣流速度） | 20—50次/h | |
| 溫度范圍 | 22℃?±1—5℃ | |
| 濕度范圍 | RH50%±10% | |
| 室內(nèi)外壓力差 | 5—25Pa(0.5—2.5mmH2O) | |
| 所需機(jī)械室 | 小 | |
| 建筑內(nèi)裝修材料 | 若干限制 | |
| 工程的難易度 | 多少受些限制 | |
| 室內(nèi)大小的限制 | 沒(méi)有什么限制 | |
| 房間有效作業(yè)面積 | 受到限制 | |
| 作業(yè)性 | 對(duì)人的移動(dòng)沒(méi)有沒(méi)有制約 | |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用 | 低廉 | |
| 管理 | 管理水準(zhǔn)稍高 | |
四、凈化車間設(shè)計(jì)上的留意點(diǎn)
1，凈化車間的構(gòu)成
為確保室內(nèi)的潔凈度，把使用條件、空調(diào)的條件等作為最為基本的內(nèi)容，在考慮到作業(yè)性和氣流狀況后再予以確定。在構(gòu)造上要有準(zhǔn)備室、更衣室、清洗室、休息室、管理室等。
2，清洗方法
作為室內(nèi)的潔凈化氣流方式，有垂直層流式、水平層流式、非層流式。其中，到底使用哪一種方式，要根據(jù)潔凈度的級(jí)別及使用條件來(lái)決定。
3，潔凈度和氣流方式
潔凈度可通過(guò)氣流方式和換氣次數(shù)改變。因而，要根據(jù)室內(nèi)的作業(yè)內(nèi)容、人員及產(chǎn)品的動(dòng)向決定氣流方式。
起塵性高的作業(yè)，不得將其置于氣流的上側(cè)。而且，根據(jù)場(chǎng)合的不同，必須設(shè)置排氣。
4，構(gòu)造
凈化車間的構(gòu)造具有氣密性、發(fā)塵、塵埃堆積少，不易發(fā)生振動(dòng)等是非常重要的，而且，要盡可能地不產(chǎn)生亂流。
5，使用材料
作為內(nèi)裝修材料，須是無(wú)縫隙、裂痕，表面不易粘塵，且無(wú)磨損、無(wú)表面剝離的材料。除此之外，熱貫流率、透濕性小、吸音性好，與其他材料接合等加工性能良好也是必不可少的。
6，室內(nèi)正壓
為確保室內(nèi)的潔凈度，防止來(lái)自外部的污染粒子進(jìn)入室內(nèi)，室內(nèi)必須保持在正壓狀態(tài)。要想維持室內(nèi)總是處于正壓的狀態(tài)，就要有能充分的新風(fēng)，來(lái)補(bǔ)足因局部排氣、自然泄漏而損失的壓力。
7，關(guān)聯(lián)設(shè)備
根據(jù)需要，凈化間里要在入口處設(shè)置風(fēng)淋室，壁板墻上設(shè)置物流用的傳遞箱，以及既能保證正壓又能排氣的安全風(fēng)閥擋板等。這些是非常重要的。而這些設(shè)備的選定，必須適合凈化間。
8，消音裝置
由于凈化間是密閉的空間，對(duì)聲音比較敏感，所以，對(duì)空氣供給系統(tǒng)發(fā)生的噪音要實(shí)施有效地控制，以改善凈化間的作業(yè)環(huán)境。
9，加濕設(shè)備
濕度的調(diào)整，在防止靜電的影響、創(chuàng)造舒適的作業(yè)環(huán)境方面，是非常必要的。尤其是在醫(yī)院、研究室里，保持難以產(chǎn)生微生物的濕度是至關(guān)重要的。
10，使用方面的管理
作為凈化間內(nèi)的發(fā)塵源，主要是作業(yè)人員、帶入室內(nèi)的物品引起的。因而，對(duì)這些要予以充分的注意。除此之外，對(duì)各房間的壓力平衡、室內(nèi)墻壁的污染等細(xì)微之處也要實(shí)施管理。
11，所需設(shè)備
根據(jù)不同的作業(yè)內(nèi)容，凈化間內(nèi)還要設(shè)置相應(yīng)的給排水、電氣、氣體設(shè)備。這些設(shè)備設(shè)置要便于使用，而且，由于凈化間是密閉的空間，所以必須有火災(zāi)、停電等非常狀態(tài)下的緊急對(duì)策。
五、潔凈度的計(jì)算方法范例
在凈化間的設(shè)計(jì)上，要計(jì)算出為確保所要求的潔凈度的風(fēng)量和溫濕度調(diào)整所需的風(fēng)量。這里，只是把確保室內(nèi)潔凈度的計(jì)算方法列舉出來(lái)。將室內(nèi)的發(fā)塵量、新風(fēng)的含塵兩量作出假定，根據(jù)使用的空氣過(guò)濾器效率，用下列公式通過(guò)換氣風(fēng)量等求出潔凈度。
Qr=房間的體積x 1小時(shí)的換氣次數(shù)
C :室內(nèi)粉塵濃度（個(gè)/m3）????Qe：排氣風(fēng)量(m3/h)
Co:外氣粉塵濃度（個(gè)/m3）????M：室內(nèi)發(fā)塵量（個(gè)/h）
Cs：供風(fēng)粉塵濃度（個(gè)/m3）????Pt :?粉塵穿透率（%）
Qr：換氣風(fēng)量（m3/h）?????????Pf1:預(yù)過(guò)濾器穿透率（%）
Qo:新風(fēng)風(fēng)量（m3/h）?????????Pf2:主過(guò)濾器的穿透率（%）
Qs:斤氣風(fēng)量（m3/h）
●?Co的外氣粉塵濃度采用前面的表2或表3的0.5um的粒子數(shù)。
●?P的粉塵穿透率是采用JIS Z8901試驗(yàn)用粉塵13—14種的DOP氣溶膠形成的穿過(guò)率，用（P=1-捕集率）表示。
●?Qo外氣風(fēng)量，要考慮環(huán)境衛(wèi)生環(huán)境上規(guī)定的、針對(duì)給氣量及有害物質(zhì)的局部排氣。為使室內(nèi)形成正壓，其所需的風(fēng)量，由下列公式求出。
●?Qr的換氣風(fēng)量是根據(jù)潔凈度的級(jí)別，在表15中考慮作業(yè)內(nèi)容后再作決定。
●?由于M的室內(nèi)發(fā)塵量，根據(jù)作業(yè)內(nèi)容的不同而異，所以，在參考表5或表6的作業(yè)員發(fā)塵量后再作決定。
●?為了對(duì)室內(nèi)的正壓進(jìn)行調(diào)整，要安裝安全風(fēng)閥擋板，當(dāng)壓力上升時(shí)，使其能排放出去。
表15 針對(duì)潔凈度級(jí)別的換氣次數(shù)、新風(fēng)量和使用末端過(guò)濾器的效率
| 潔凈度（級(jí)） | 換氣次數(shù)（層流）
（次/h） |
新風(fēng)量
（次/h） |
使用末端過(guò)濾器的效率 | ||
| SI | English unit | 99.97% | 99.5% | ||
| M3.5 | 100 | 250-650 | 10-20 | ○ | — |
| M4.5 | 1,000 | 100-200 | 5-10 | ○ | — |
| M5.5 | 10,000 | 50-70 | 2-4 | ○ | 換氣次數(shù)的增加
○70—90 |
| M6.5 | 100,000 | 20-30 | 1-2 | ○ | 換氣次數(shù)的增加
○30—50 |
* 1：試驗(yàn)用塵埃顆粒JIS13種的效率（0.3umDOP）
* 2：試驗(yàn)用塵埃顆粒JIS14種的效率（0.5umDOP）
表16 所需壓力差
| 相應(yīng)處所 | 最低壓力差 |
| 不同級(jí)別的凈化間之間 | 5Pa
(0.5mmH2O) |
| 凈化間和準(zhǔn)凈化間 | 10Pa
(1.0mmH2O) |
| 凈化間與一般房間 | 15Pa
(1.5mmH2O) |
國(guó)產(chǎn)濾料與進(jìn)口濾料參數(shù)對(duì)照表
| 濾料類型 | 國(guó)產(chǎn)H13玻纖料 | 進(jìn)口H13玻纖料 | 進(jìn)口U15玻纖料 |
| 規(guī)格： | 300*300*292 | 300*300*292 | 300*300*292 |
| 外框材質(zhì)： | 304鏡面不銹鋼 | 304鏡面不銹鋼 | 304鏡面不銹鋼 |
| 分隔物： | 鋁隔板 | 鋁隔板 | 鋁隔板 |
| 密封膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 |
| 耐溫性 | 400℃ | 400℃ | 400℃ |
| 過(guò)濾效率： | 99.99%@0.3μm | 99.99%@0.3μm | 99.999%@0.12μm |
| 濾料面積： | 5.0m2 | 5.0m2 | 5.0m2 |
| 額定風(fēng)量： | 550m3/h | 550m3/h | 270m3/h |
| 初阻力： | 180±10Pa | 150±10Pa | 140±10Pa |
| 濾料類型 | 國(guó)產(chǎn)H13玻纖料 | 進(jìn)口H13玻纖料 | 進(jìn)口U15玻纖料 |
| 規(guī)格： | 610*305*292 | 610*305*292 | 610*305*292 |
| 外框材質(zhì)： | 304鏡面不銹鋼 | 304鏡面不銹鋼 | 304鏡面不銹鋼 |
| 分隔物： | 鋁隔板 | 鋁隔板 | 鋁隔板 |
| 密封膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 | 耐高溫?zé)o硅膠 |
| 耐溫性 | 400℃ | 400℃ | 400℃ |
| 過(guò)濾效率： | 99.99%@0.3μm | 99.99%@0.3μm | 99.999%@0.12μm |
| 濾料面積： | 10.3m2 | 10.3m2 | 10.3m2 |
| 額定風(fēng)量： | 1100m3/h | 1100m3/h | 550m3/h |
| 初阻力： | 180±10Pa | 150±10Pa | 140±10Pa |
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