1 目的
規(guī)定無塵室潔凈區(qū)的控制指標(biāo)和檢測方法，有效的控制十萬級和三十萬級潔凈區(qū)環(huán)境的潔凈度，滿足生產(chǎn)環(huán)境的要求。
2 范圍
本規(guī)程適用本公司十萬級和三十萬級潔凈區(qū)環(huán)境的潔凈度檢驗(yàn)。
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3 檢驗(yàn)方法
3.1 檢驗(yàn)項目
溫度、濕度、壓差、風(fēng)速（換氣次數(shù)）、塵埃粒子數(shù)、菌落數(shù)
3.2 溫度、濕度
3.2.1 要求
十萬級/三十萬級潔凈區(qū)溫度（18-26）℃，相對濕度（45-65）%
3.2.2 儀器與設(shè)備
溫濕度計
3.2.3 操作方法
目測溫濕度計。
3.2.4 測定頻次
1次/班。
3.3 靜壓差
3.3.1 要求
潔凈室與室外壓差≥10Pa，潔凈室與非潔凈室≥5Pa不同級別潔凈室之間≥5Pa。
3.3.2 儀器與設(shè)備：補(bǔ)償式微壓計
3.3.3 操作方法
用補(bǔ)償式微壓計測試各室的靜壓力，由兩室靜壓力之差，為靜壓差。
3.3.4 測定頻次：1次/月
3.4 換氣次數(shù)
3.4.1 要求
十萬級潔凈區(qū)換氣次數(shù)>15次
三十萬級潔凈區(qū)換氣次數(shù)>12次
3.4.2 儀器與設(shè)備：熱球式電風(fēng)速計。
3.4.3 操作方法距風(fēng)口下25cm處測量
3.4.3.1 用風(fēng)速計風(fēng)速，采樣點(diǎn)為風(fēng)口的四個頂角及中心位置（不少于5點(diǎn)）。計算5個點(diǎn)風(fēng)速平均值。為一個風(fēng)口的風(fēng)速。
3.4.3.2 換算公式：
∑（高效風(fēng)口風(fēng)速×高效風(fēng)口面積）
換氣次數(shù)=?──────────────────
被測間體積
3.4.4 測定頻次：1次/月
3.5 塵埃粒子數(shù)
3.5.1 要求
十萬級潔凈區(qū)塵埃粒子數(shù)：?≥0.5μm：≤3500個/L
≥5.0μm：≤20個/L
三十萬級潔凈區(qū)塵埃粒子數(shù)：≥0.5μm：≤10500個/L
≥5.0μm：≤60個/L
3.5.2 儀器與設(shè)備：塵埃粒子計數(shù)儀
3.5.3 采樣點(diǎn)
根據(jù)潔凈室面積，要求最少采樣點(diǎn)見下表：
| 面積，（m2） | 潔凈度級別 | ||
| 10000 | 100000 | 300000 | |
| ≤10
≥10～＜20 ≥20～＜40 ≥40～＜100 ≥100～＜200 ≥200～＜400 ≥400～＜1000 ≥1000～＜2000 ≥2000 |
2
2 2 4 10 20 40 100 200 |
2
2 2 2 3 6 13 32 63 |
|
3.5.4 操作方法
用塵埃粒子計數(shù)儀在高度1米水平面上的位置采樣，每層采樣點(diǎn)不少于5點(diǎn)，每個采樣點(diǎn)采樣次數(shù)不少于5次。采樣點(diǎn)見附件1。
3.5.5 換算公式
5次測量數(shù)的總和
塵埃粒子數(shù)=?─────────
5
3.5.6 測定頻次 ：1次/季
3.6 菌落數(shù)
3.6.1 要求
浮游菌?十萬級潔凈區(qū)含菌濃度≤500個/m3
沉降菌?十萬級潔凈區(qū)含菌濃度≤10個/皿
三十萬級潔凈區(qū)含菌濃度≤15個/皿
3.6.2 檢測方法
按《微生物檢驗(yàn)規(guī)范》的規(guī)定進(jìn)行。
3.6.5 測定頻次：浮游菌?1次/季；沉降菌?1次/周
4 測定條件
4.1 當(dāng)新潔凈區(qū)投入使用前，進(jìn)行一次靜態(tài)環(huán)境監(jiān)測，監(jiān)測時，潔凈區(qū)內(nèi)所有物品均應(yīng)到位，檢測區(qū)內(nèi)只留檢測人員，檢測結(jié)果應(yīng)符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格應(yīng)重新對凈化系統(tǒng)進(jìn)行檢查，查找原因，進(jìn)行整改后，再進(jìn)行檢測，合格后方可投入使用，否則不得進(jìn)入生產(chǎn)。
4.2 所有在用潔凈區(qū)，按本規(guī)程的要求進(jìn)行動態(tài)檢測，檢測結(jié)果應(yīng)符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格由技術(shù)品質(zhì)部告知生產(chǎn)部，通知超標(biāo)車間停產(chǎn)，由生產(chǎn)部、技術(shù)品質(zhì)部、生產(chǎn)車間組織人員查找原因，進(jìn)行整改后，再進(jìn)行檢測，合格后方可投入使用。
附件1?塵埃粒子檢測點(diǎn)
附件2?沉降菌檢測點(diǎn)
附件3?浮游菌檢測點(diǎn)
原文鏈接：http://m.gxshunjiang.com/cleanroom-standards/wcsjcbz/615.html
