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無塵室檢測標準
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電子無塵室空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)測試方案

2026-04-29

電子無塵室空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)測試方案

編制:

審核:

2012年05月30日

一、前言:

為系統(tǒng)可順利移交業(yè)主,及其驗收標準,故研擬本計劃書。此計劃書大綱如下:

(1)測試方法。

(2)測試基準。

(3)測試表格。

二、時間:

調(diào)試項目 開始日期 完成時間
一、系統(tǒng)測試 2012/6/4 2012/6/5
風(fēng)壓測試 2012/6/4 2012/6/5
風(fēng)速測試 2012/6/4 2012/6/5
落塵測試 2012/6/4 2012/6/5
無塵室溫、濕度測試 2012/6/4 2012/6/5
高效過濾器風(fēng)口風(fēng)量測試 2012/6/4 2012/6/5

三、測試條件和程序:

1.無塵間測試基準:

-01)室外條件:夏季:35℃DB、70%?冬季:-5℃DB、50%RH

-02)室內(nèi)條件:無塵室:溫度23±2℃、濕度為50±5% RH;噪音:65DBA以下

2.無塵間檢查測試程序:

(1)測試順序與時間:

項次 項目 正式系統(tǒng)
無塵室 機房
1 正壓建立 2012/6/3 NA
2 CLEAN UP 2012/6/3 NA
3 風(fēng)壓測試 2012/6/4 NA
4 風(fēng)速測試 2012/6/4 NA
5 落塵測試 2012/6/4 NA
6 溫度、濕度測試 2012/6/4 NA
高效過濾器風(fēng)口風(fēng)量測試 2012/6/4 NA

(2)檢查測試儀器及測試地點:

目次 品名 儀器廠牌 測試地點
1 風(fēng)壓表 Bulletin A-27 無塵間三點測試
2 風(fēng)速計 TESTO-400 空調(diào)機供風(fēng)管道
3 溫度測量儀 SRS13-6IN-90-NI40200 空調(diào)機供風(fēng)管道
4 濕度測量儀 SRS13-6IN-90-NI40200 空調(diào)機供風(fēng)管道
5 落塵測試儀 Laster particle counter-0.3μm×1cfm 無塵間內(nèi)1.1米高度多個位置

A.風(fēng)速、風(fēng)量測試

(a)此檢測計劃在于確認室內(nèi)總風(fēng)量、風(fēng)速是否合乎規(guī)范要求。

(b)檢測儀器:

經(jīng)校正合格有效期一年內(nèi)之風(fēng)速計測試

(c)檢測點:檢測點位于主風(fēng)管和高效過濾器下方300mm處,且每一過濾器取六點測試。

檢測儀器檢測時須以適當(dāng)之架臺支撐或延伸架固定。

(d)驗收標準:

每一過濾器出口風(fēng)速須較高于設(shè)計之空氣量規(guī)格。

備注:本項目每個風(fēng)口設(shè)計風(fēng)量為1500m3/h左右。

B.潔凈度(落塵量)(Cleanliness)

(a)此測試在于證明潔凈度合乎無塵室規(guī)范要求。

(b)檢測儀器:

Laster particle counter-0.3μm×1cfm檢測儀器測試

(c)檢測方法:每一無塵室潔凈度均須以Laster particle counter檢測。

-a)檢測點:以FS 209E亂流潔凈室標準測測試點數(shù)N=(地板總面積)/(潔凈度等級平方根),高度為高架地板/地板起1,100mm高度,每一檢測點測試時間為一分鐘。 (參考潔凈室http://m.gxshunjiang.com/)

備注:本項目測試點數(shù)N=640/316.2≈2。

-b)檢測儀器檢測時須以上適當(dāng)之架臺支持或以延伸架固定。

(d)驗收標準:FS 209E落塵控制量

(e)測試區(qū)域(等級100K)

a.???潔凈室清凈度粉塵檢測標準

清靜度(級數(shù)) 測定粒子(μm)
0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
1,000 NA NA

NA

1,000 7
10,000 NA NA

NA

10,000 70
100,000 NA NA NA 100,000 700

C.室內(nèi)壓力(Room Pressurization)

(a)此測試在確保無塵室依甲方要求均維持在正壓狀態(tài)。

(b)檢測儀器:

檢測儀器須經(jīng)校正合格且有效期一年內(nèi)者,使用0~60Pa刻度型壓力計。

(c)測試方法:

-a)檢測點:三點測試

檢測點于無塵室內(nèi)放置測試管并室外測試管做為壓差產(chǎn)生數(shù)據(jù)。

-b)室外大氣壓力假設(shè)為0.0mmAq壓力。

-d)于運行階段正常動作下之排氣系統(tǒng)排氣量調(diào)整為平衡狀態(tài)。

-e)驗收標準:壓力測試結(jié)果須較≥10Pa。

D.溫度及濕度(Temperature and Humidity)

(a)此項檢測系確認無塵室內(nèi)溫度及濕度均在要求范圍內(nèi)。

(b)檢測儀器

-a)檢測精確能力可達±0.5℃之pc溫度計或同級品。

-b)能力可達±2之電子濕度計或同級品。

-c)檢測儀器均須校正合格且在有效期一年內(nèi)者。

-d)前或交付報告時均須檢附校正合格文件。

(c)檢測方法

-a)無塵室內(nèi)每區(qū)取一點并位于地板上方1,100mm之高度處。

-b)每一檢測點至少須測試10MIN。

-c)測試點:無塵車間5個點,特氣間2個點,實驗室2個點。

(d)驗收標準:檢測及監(jiān)測數(shù)據(jù)均須在規(guī)范要求范圍內(nèi)。

本項目設(shè)計值:溫度23±2℃、濕度為40-60%RH。