控制無(wú)塵車間空氣參數(shù)的目的—檢查無(wú)塵車間是否符合給定的潔凈度級(jí)別。無(wú)論是在投產(chǎn)調(diào)試工作完成后的無(wú)塵車間檢測(cè)階段，還是無(wú)塵車間使用階段都要完成空氣參數(shù)的控制工作。在各種標(biāo)準(zhǔn)和建議中都詳細(xì)地制訂了和提出了無(wú)塵車間空氣參數(shù)的測(cè)試和控制方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財(cái)富。
在無(wú)塵車間內(nèi)，按其用途的不同應(yīng)控制下列參數(shù)：
1、測(cè)試狀態(tài)的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風(fēng)速和單向性（對(duì)單向氣流而言）
4、風(fēng)量和換氣次數(shù)
5、最終過(guò)濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、無(wú)塵車間的密閉性
8、無(wú)塵車間表面的潔凈度
測(cè)試狀態(tài)的確定：根據(jù)設(shè)計(jì)要求，一般無(wú)塵車間都是對(duì)無(wú)塵車間內(nèi)的空氣進(jìn)行靜態(tài)檢測(cè)，一般不做動(dòng)態(tài)檢測(cè)，如需動(dòng)態(tài)檢測(cè)，需要制定或參照其他標(biāo)準(zhǔn)。
潔凈度級(jí)別
無(wú)塵車間和潔凈區(qū)均按一項(xiàng)指標(biāo)劃分級(jí)別—一定粒徑粒子的最大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數(shù)）。
空氣潔凈度級(jí)別和空氣潔凈度的測(cè)定方法均按下表中的規(guī)定確定，根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，無(wú)塵車間的潔凈級(jí)別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的最大允許濃度確定的。
在確定實(shí)際無(wú)塵車間的潔凈度級(jí)別時(shí)，應(yīng)對(duì)粒徑≥閥值的粒子進(jìn)行統(tǒng)計(jì)，下面的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數(shù)級(jí)別序數(shù)N和最常見值D的粒子最大允許濃度
| ISON級(jí) | 粒子最大允許濃度Cn顆m3，粒徑≥下列值，微米 | |||||
| 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 1.0 | 5.0 | |
| ISO 1級(jí) | 10 | 2 | – | – | – | – |
| ISO 2級(jí) | 100 | 24 | 10 | 4 | – | – |
| ISO 3級(jí) | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | – |
| ISO 4級(jí) | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | – |
| ISO 5級(jí) | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| ISO 6級(jí) | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| ISO 7級(jí) | – | 352000 | 83200 | 2930 | ||
| ISO 8級(jí) | – | 3520000 | 832000 | 29300 | ||
| ISO 9級(jí) | – | 35200000 | 8320000 | 293000 | ||
| 備注：濃度值Cn應(yīng)四舍五入，小數(shù)點(diǎn)后保留三位，在實(shí)際情況下粒子濃度的實(shí)際誤差是存在的，求不出精度很高的濃度。 | ||||||
ISO 4級(jí)；靜態(tài)；給定粒徑0.5微米（352粒子/m3）。
ISO 5級(jí)；靜態(tài)；給定粒徑0.5微米（3520粒子/m3）；5.0微米（29粒子/m3）。
因此，在測(cè)試具體的無(wú)塵車間的相應(yīng)潔凈度級(jí)別時(shí)，不需要檢測(cè)如上表所示的該級(jí)別的所有粒子粒徑。而只要檢測(cè)為該種無(wú)塵車間給定的粒子粒徑。
在檢測(cè)無(wú)塵車間的潔凈度級(jí)別時(shí)，應(yīng)測(cè)定無(wú)塵車間內(nèi)1點(diǎn)或數(shù)點(diǎn)的懸浮粒子濃度（即取樣點(diǎn)的粒子濃度）。
因此必須滿足下列要求
1）確認(rèn)無(wú)塵車間的狀態(tài)與給定的相符；
2）確定給定粒徑，無(wú)塵車間取樣點(diǎn)的數(shù)量和位置；
3）確定每一取樣點(diǎn)的取樣數(shù)量；
4）確定對(duì)每一種給定粒徑在每1取樣點(diǎn)上，每1次取樣的取樣量和取樣時(shí)間；
5）取樣之后應(yīng)對(duì)每一種給定粒徑的粒子進(jìn)行相應(yīng)統(tǒng)計(jì)；
6）將取樣數(shù)據(jù)填入按各種給定粒徑統(tǒng)計(jì)的粒子統(tǒng)計(jì)記錄表內(nèi)（適于采用無(wú)計(jì)算機(jī)軟件的粒子計(jì)數(shù)器的場(chǎng)合下）；
7）整理取得的數(shù)據(jù)；
8）對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析；
9）整理方案確定級(jí)別應(yīng)符合上表要求。
在無(wú)塵車間中的氣流：
氣流風(fēng)速（通常是控制單向氣流的風(fēng)速）
氣流均勻性（單向氣流風(fēng)速穩(wěn)定性）并目視檢查氣流。
空氣（單向氣流）的風(fēng)速和風(fēng)量
空氣單向氣流的風(fēng)速是在垂直于氣流方向的平面上并距離風(fēng)源150-500mm處測(cè)得的。
測(cè)試點(diǎn)的數(shù)量應(yīng)大于被測(cè)表面面積的平方根，但不得小于3，應(yīng)在每一個(gè)設(shè)定的網(wǎng)格中進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量點(diǎn)應(yīng)均勻地分布在平面上。
應(yīng)在距離過(guò)濾器表面150mm處測(cè)試過(guò)濾器出口處的風(fēng)速。在評(píng)價(jià)氣流的均勻性時(shí)，應(yīng)在距離過(guò)濾器表面300mm以上處測(cè)試風(fēng)速。
每1點(diǎn)的測(cè)量時(shí)間不得少于10秒。并且要確定平均值，最大和最小值。
氣流的均勻性
根據(jù)在垂直于空氣運(yùn)動(dòng)方向的平面上各點(diǎn)的風(fēng)速測(cè)試數(shù)據(jù)，評(píng)價(jià)單向氣流的均勻性，建議該平面應(yīng)距離過(guò)濾器表面（風(fēng)口）300毫米以上。
平面上各點(diǎn)處的風(fēng)速相差不得超過(guò)20%-30%。
檢驗(yàn)過(guò)濾器的整體性
最終過(guò)濾器（HEPA，ULPA過(guò)濾器）是無(wú)塵車間的重要部分。這些過(guò)濾器安設(shè)在無(wú)塵車間的吊頂和墻上，裝在設(shè)備和風(fēng)管內(nèi)。應(yīng)進(jìn)行泄漏檢查，以控制過(guò)濾器的整體性，過(guò)濾器的滲漏意味著粒子的滲漏，會(huì)超過(guò)ГOCTP5125-99。(原文鏈接：http://m.gxshunjiang.com/a-178/)
制造商應(yīng)在廠內(nèi)對(duì)過(guò)濾器作最大穿透粒徑試驗(yàn)，附過(guò)濾器檢測(cè)報(bào)告，現(xiàn)場(chǎng)不做檢漏。
溫度的檢測(cè)
在無(wú)塵車間內(nèi)采用兩種方法控制溫度：
一般控制
特殊控制
（一般控制）在通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)投產(chǎn)-調(diào)試時(shí)，以及在無(wú)塵車間檢測(cè)的各個(gè)階段和使用階段均要進(jìn)行溫度的一般控制。
規(guī)定工作席工作區(qū)高度處的溫度，以及必要時(shí)，其他工作點(diǎn)的溫度都要加以控制。
在1小時(shí)或更多一些的時(shí)間內(nèi)應(yīng)周期性的連續(xù)測(cè)試6分鐘。
相對(duì)濕度的控制
待通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)工作穩(wěn)定后，相對(duì)濕度的控制可與溫度的測(cè)量同時(shí)進(jìn)行。
至少在每一處對(duì)相對(duì)濕度有要求的區(qū)域內(nèi)設(shè)1個(gè)點(diǎn)進(jìn)行相對(duì)濕度的測(cè)量，為了使傳感器持續(xù)穩(wěn)定，測(cè)量的持續(xù)時(shí)間不得少于6分鐘。
潔凈實(shí)驗(yàn)室技術(shù)指標(biāo)
| 序號(hào) | 房間名稱 | 面積 | 潔凈度 | 對(duì)外
壓差 |
溫度 | 濕度 | 照度 | 新風(fēng) | 排風(fēng) | |
| M2 | 級(jí) | Pa | ℃ | %RH | Lux | % | ||||
| 1 | 萬(wàn)級(jí)鑒定室1 | 23 | 7（萬(wàn)） | +20 | 20-26 | 40-70 | 300 | 30 | 無(wú) | |
| 2 | 萬(wàn)級(jí)鑒定室2 | 16 | 7（萬(wàn)） | +20 | 20-26 | 40-70 | 300 | 30 | 無(wú) | |
| 3 | 萬(wàn)級(jí)鑒定室3 | 10.3 | 7（萬(wàn)） | +20 | 20-26 | 40-70 | 300 | 30 | 無(wú) | |
| 4 | 緩沖間 | 6 | 7（萬(wàn)） | +15 | 20-26 | 40-70 | 200 | 30 | 無(wú) | |
| 5 | 準(zhǔn)備間 | 2.6 | 無(wú) | 0 | 20-26 | 40-70 | 200 | 30 | 無(wú) | |
| （2）百級(jí)、千級(jí)實(shí)驗(yàn)室 | ||||||||||
| 1 | 百級(jí)實(shí)驗(yàn)室2 | 15.00 | 5（百） | +20 | 20-26 | 40-70 | 300 | 30 | 無(wú) | |
| 2 | 百級(jí)實(shí)驗(yàn)室1 | 6.10 | 5（百） | +20 | 20-26 | 40-70 | 300 | 30 | 無(wú) | |
| 3 | 千級(jí)實(shí)驗(yàn)室2 | 18.20 | 6（千） | +15 | 20-26 | 40-70 | 300 | 30 | 無(wú) | |
| 4 | 千級(jí)實(shí)驗(yàn)室1 | 15.70 | 6（千） | +15 | 20-26 | 40-70 | 300 | 30 | 無(wú) | |
| 5 | 千級(jí)潔凈
走??廊 |
11.40 | 6（千） | +10 | 20-26 | 40-70 | 250 | 30 | 無(wú) | |
| 6 | 千級(jí)潔凈
準(zhǔn)備間 |
7（萬(wàn)） | +10 | 20-26 | 40-70 | 250 | 30 | 無(wú) | ||
| 6 | 更衣間 | 10.40 | 7（萬(wàn)） | +10 | 20-26 | 200 | 30 | 無(wú) | ||
格式1（式樣）
記錄書
工段，???????無(wú)塵車間取樣
取樣時(shí)期
房間狀態(tài)
（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）
給定潔凈度級(jí)別
給定閥徑粒徑，微米
粒子的最大允許濃度，粒子/m3
取樣量，升
取樣時(shí)間，分鐘
取樣點(diǎn)數(shù)量r
每1取樣點(diǎn)上的取樣次數(shù)，P
粒子計(jì)數(shù)器
取樣點(diǎn)位置示意圖
潔凈室采樣點(diǎn)” />
| 取樣點(diǎn)編號(hào) | 1m3空氣中的粒子數(shù)或濃度，其粒徑為 | |
| ≥0.5 | ≥5.0 | |
| 1 | ||
| 2 | ||
| 3 | ||
| 4 | ||
| 5 | ||
取樣者
（簽字）????????????????????（姓，名或父名的第1個(gè)字母）
