介紹液晶顯示模塊(LCM)生產(chǎn)廠潔凈工程系統(tǒng)的設計,以夏季運行工況為例,介紹潔凈空調(diào)過濾器制冷系統(tǒng)中這些重要參數(shù)的確定。同大家一起回顧一下這個簡單而又非常重要的設計及計算過程,空氣過濾器高效空氣過濾器和凈化設備如全自動風淋室配套潔凈產(chǎn)品的選取。
1 工程概況
LCM(Liquid Crystal Module),即液晶模塊,LCM工藝(Liquid CompositeMolding,復合材料液體成型工藝),是指以RTM、RFI以及RRIM為代表的復合材料液體成型類技術。
液晶顯示模塊生產(chǎn)工廠主要包括前段和后段,前段即為COG邦定車間,COG(Chip OnGlass)即芯片被直接邦定在玻璃上,潔凈度不能低于1000級,否則IC容易短路和模塊不顯示;后段為裝配車間,即將LED和IC、液晶玻璃組合,從而形成手機的主要構(gòu)件,潔凈度不能低于10000級,局部還應設100級,否則界面會產(chǎn)生麻點,降低成品合格率。
2 工藝要求和空調(diào)設計參數(shù)
本工程位于深圳市寶安區(qū)某工業(yè)區(qū),廠房東西朝向,共5層,本期工程位于3層,總建筑面積為880平方米,潔凈車間面積為500平方米(前段210平方,后段290),車間兩端分設兩座空氣處理機房和配電房,螺桿冷水機房設于屋頂,屋頂同時設空壓機房。
潔凈室內(nèi)工藝要求(23±1)℃,相對濕度(55±5)%,新風比為1/5,室內(nèi)微正壓5-10Pa,潔凈度ISO Class6級,工作區(qū)風速為≤0.25m/s,含塵(粒徑≥0.5μm)濃度≤35粒/L,前后段每班各50作業(yè),每天2班操作,室內(nèi)余熱為150KW,即128970Kcal/h[1W=0.8598Kcal/h],其中前段54167Kcal/h,后段74803Kcal/h,室內(nèi)余濕為15Kg/h(前后段各7.5Kg/h)。
深圳地區(qū)夏季空調(diào)干球溫度:35.5℃,濕球溫度:27.7℃,相對濕度:85%,大氣壓力:100450Pa,通風干球溫度:12℃;冬季空調(diào)干球溫度:6℃,相對濕度:75%,大氣壓力:101325Pa,通風干球溫度:11℃,大氣含塵濃度為≤5*105粒/L。
3 冷熱源設置
3.1冷源設置
本工程集中空調(diào)面積為500平方米,夏季總冷負荷150KW(通風系統(tǒng)的所有冷損耗按10%計算),空調(diào)面積冷負荷指標300W/m2,屋頂設47.8USRT惠州大金螺桿冷水機組(CUW50D5Y)1臺,供潔凈空調(diào)系統(tǒng)用冷水,制冷量為168KW,空調(diào)面積制冷機裝機容量336W/m2。冷水供回水溫度7℃/12℃,流量為23.6CMH,設水泵3臺,2用1備,并聯(lián)、定水量運行。樓頂平臺設CT-50RYODEN低噪音冷卻塔1臺,流量為39.24CMH,設冷卻水泵2臺,1用1備,并聯(lián)、定水量運行。
3.2熱源設置
本工程冬季計算熱負荷60KW,空調(diào)熱負荷指標120W/ m2。因園區(qū)禁止設置任何形式的鍋爐,且加熱功率也不大,用空壓機冷卻水加熱,雖清潔環(huán)保,因流量和溫度都不穩(wěn)定,對于這種要求較高的恒溫恒濕潔凈空調(diào)仍無法實現(xiàn),經(jīng)商定選用電加熱方式供暖和加濕。電加熱器設于組合式空調(diào)器的加熱段中。
4 空氣潔凈處理
4.1空氣潔凈系統(tǒng)設置
根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝分段要求,將潔凈空調(diào)系統(tǒng)組織為2個全空氣系統(tǒng)、4個自循系統(tǒng)。COG邦定為1000級,設置全空氣系統(tǒng)JK1(AHU1)對其潔凈空調(diào),系統(tǒng)風量35000CMH;裝配間為10000級,設置全空氣系統(tǒng)JK2(AHU2)對其潔凈空調(diào),系統(tǒng)風量25000CMH,因局部裝配位要求100級,故設置4套風機和高效組成的空氣潔凈自循環(huán)系統(tǒng)。
4.2空氣潔凈技術處理
4.2.1空氣凈化設計:
由前述可以求得人員密度q為0.2人/m2,查文獻[3]中圖表得室內(nèi)單位容積發(fā)塵量G為1.2×104粒/(m3?min),取室內(nèi)允許含塵濃度為35粒/L,初效過濾器ac為0.2,中效袋式過濾器效率為ag為0.4,為滿足室內(nèi)ISOclass6級潔凈水平,末端高效空氣過濾器的效率≥99.9%,所以末端過濾器應采用超高效空氣過濾器。綜上所述,空氣凈化采用初效、中效、高效三級過濾方案。
4.2.2潔凈區(qū)采用全空氣系統(tǒng),濕空氣經(jīng)集中熱濕處理后,采用DDC變頻控制,自動送入房間。空氣凈化采用初效、中效、高效空氣過濾,高濾置于系統(tǒng)末端房間送風處。所有高低潔凈區(qū)通道均設置了全自動風淋室和貨淋室,以免塵埃通過人員和原料由低級潔凈區(qū)向高級潔凈區(qū)擴散。
4.2.3其氣流組織形式為:
房間空氣-回風口-回風管-新回風混合段-空調(diào)機組-送風段-送風管-送風口-房間;室外新風-空調(diào)機房-新回風風混合段-空調(diào)機組-送風段-送風管-送風口-房間;房間空氣-排風口-排風管-排風機-室外。
5 空氣的溫濕度調(diào)節(jié)
房間的溫、濕度調(diào)節(jié)由設置于組合式空調(diào)風柜中的表冷段和加熱段來實現(xiàn)。由于房間送風量大,為減少表冷器的空氣處理量,節(jié)約能源,采用了二次回風系統(tǒng)。若負擔多個房間的系統(tǒng)應將電加熱器分散設置在各房間的分支管中,冬季作為主熱源加熱空氣,夏季則作為精加熱器調(diào)節(jié)各個房間溫度。
5.1濕空氣熱濕處理過程:
(W+N)新回風混合→C→冷卻去濕→L→加熱→O→ε(熱濕比線)→N
5.2熱濕度負荷計算(以COG區(qū)為例)
1)室內(nèi)空氣熱濕比???????? ε=Q余/W余=54167/7.5=7200KJ/Kg
2)確定送風狀態(tài)點???????? ts=tn-Δt=23-8=15℃
3)確定機器^***??????????? ds=dn(與95%交點)
4)查找5個狀態(tài)點的參數(shù)值
室外空氣狀態(tài)W點:tw=35.5℃;Φw=85%
iw=117 KJ/Kg干空氣???? dw=31.5 g/Kg干空氣
室內(nèi)空氣狀態(tài)N點:tn=23℃;Φw=55%
in= 48kJ/Kg干空氣????? dn=10.0 g/Kg干空氣
混合C點:tc=25.5℃;Φc=78%
ic=63 kJ/Kg干空氣????? dc=14.8 g/Kg干空氣
送風S點:ts=15℃;Φs=85%
is=36 KJ/Kg干空氣?????? ds=8.5 g/Kg干空氣
^***L點:tl=10℃;Φl=95%
il=31KJ/Kg干空氣??????? dl=7.8g/Kg干空氣
5)確定滿足溫濕度要求送風量并校核換氣次數(shù)
(1)質(zhì)量送風量:G=Q余/(iN-iS)=54167/(48-36)=4514Kg/h
(2)體積送風量:L=4514/1.2=3760CMH
(3)校核換氣次數(shù):
當空調(diào)精度要求為±1℃時,N≥5次/h
房間容積=210*2.6=546立方米
N=3760/546=6.885次/h≥5次/h
注:由前述得知,滿足潔凈室潔凈要求的體積送風量為35000CMH。
6)系統(tǒng)耗冷量: QL=G(ic-il)/3600=4514*(63-31)/3600=40.12KW,加上系統(tǒng)損失的10%,
實際耗冷量為:QL=40.12*1.10=44.13KW
7)冷媒水循環(huán)量? WL=3600*QL/4.19*5=158868/20.95=26669.2Kg/h=7583.2Kg/h=7.6t/h
8)加熱量及蒸氣用量???? Qj=G(is-il)=4514*(36-31)=22570KJ/h Qq=Qj/h=22570/2680=8.43Kg/h
9)表冷器的去濕量:??? Wq=G(dl-dc)/1000=4514*(7.8-14.8)/1000=-31.59Kg/h
6 防靜電設計
6.1靜電是一種客觀的自然現(xiàn)象,是正、負電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果,它是一種電能,其產(chǎn)生的過程為:接觸-電荷轉(zhuǎn)移-偶電層形成-電荷分離。
6.2摩擦起電和人體靜電是電子、微電子工業(yè)中的兩大危害源,但產(chǎn)生靜電并非危害所在,危害在于靜電積累及由此產(chǎn)生的靜電電荷放電,進而引起元器件的擊穿損害。
6.3靜電防護是一項系統(tǒng)工程,包括靜電的泄漏與耗散、靜電中和、靜電屏蔽與接地、增濕等
6.4本工程在靜電防護上設計了人體、設備、地板靜電的泄漏與耗散、靜電屏蔽與ESD接地。
在表面電阻、體積電阻、對地電阻的阻值上都有嚴格的限制與界定,此外,ESD接地的制做非常講究,在潛埋深度、金屬材料、降阻劑料搭配、連接導線線徑、同廠房間距等都有關系。
7 空調(diào)水系統(tǒng)
本工程采用閉式定水量定壓水系統(tǒng)。因系統(tǒng)較小,為方便調(diào)節(jié),沒有設計集、分水器,系統(tǒng)共2個支環(huán)路,水系統(tǒng)采用異程式。冷卻水系統(tǒng)按常規(guī)設置,水泵并聯(lián)運行。
8 空調(diào)系統(tǒng)的自動控制
本工程霍尼威爾DDC恒溫恒濕控制系統(tǒng),根據(jù)車間潔凈工藝需要,為保持潔凈空間穩(wěn)定的氣流形態(tài),我司設計固定了送風量,同時為了簡化控制系統(tǒng),也固定了一、二次回風比。
由于本工程對溫濕度的要求較高,夏季降溫、除濕均由表冷器實現(xiàn),故采用了溫、濕度信號選擇控制的方式。在房間和送風管內(nèi)設置溫度傳感器,在回風管中設置濕度傳感器,由其中要求較大冷卻量的信號控制表冷器的冷凍水流量,再由房間溫度信號控制再熱量,使溫度達到設定值,比例積分閥選用海林產(chǎn)品。冬季加熱采用電加熱,加濕采用電極加濕,加熱量由房間溫度信號控制加熱器實現(xiàn),加濕量則由回風管濕度信號控制電極加濕器的電動閥開關調(diào)節(jié)。
在通風管道通過防火分區(qū)處、防火墻出口處、沉降逢處等均設置防火閥、防火調(diào)節(jié)閥,并聯(lián)鎖了對應的風機。
9 工程設計心得
1)潔凈空調(diào)冷熱負荷的準確性非常重要,很多同仁喜歡采用經(jīng)驗數(shù)據(jù)估算,沒錯,經(jīng)驗是實踐的結(jié)晶,對實踐起著重要的指導作用,但經(jīng)驗不能代替一切,對不同的建筑、室內(nèi)不同的層高、不同的生產(chǎn)環(huán)境、不同的周圍環(huán)境、不同的城市規(guī)劃要進行具體的分析;當然,我也不支持按教科書中的冷負荷系數(shù)法(按瞬時值疊加計算),那樣會耗費太大的精力,我建議冬季熱負荷按:外墻傳熱量、門窗傳熱量、屋頂傳熱量、通風換氣散熱量;夏季按外墻傳熱量、門窗傳熱量、屋頂傳熱量、通風換氣散熱量、通過門窗的太陽輻射熱、人體設備照明散熱進行平均值疊加估算,本人經(jīng)過無數(shù)次的試驗計算,盡管不十分精確,但計算出的結(jié)果與實際值之間的差距已是很小,對于大多數(shù)工程而言,這種計算結(jié)果是完全可以達到設計要求的。
2)在光電與顯示行業(yè)潔凈室工程項目中,靜電防護應該是繼濕度要求后的第二大重要指標,設計時別忘了人體靜電釋放和ESD的對地電阻要求。
3)許多人盲目簡化潔凈空調(diào)技術,他們認為潔凈與空調(diào)毫無技術可言,認為潔凈技術就是尼龍網(wǎng)加布兜;空調(diào)就更簡單,熱了就開大點,冷了就開小點,一點希奇也沒有。有的甚至認為,我們是廠家,我們不要理論,只管制造。我認為這些都是天大的笑話,他們只能鸚鵡學舌,永遠是個門外漢,他們的目的很明確,就是想要我們這些搞潔凈空調(diào)技術的人找不到工作。
4)最后就是老套話,接稿很急,錯誤在所難免,歡迎同行朋友批評指教。
10 參考文獻
[1] 陸耀慶,實用供熱空調(diào)設計規(guī)范,2007
[2] 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范,(GB50472-2008)
[3] 清華大學主編.空氣調(diào)節(jié)(第二版),北京建筑工業(yè)出版社,1986