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無塵室檢測標(biāo)準(zhǔn)
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潔凈室(區(qū))塵埃粒子數(shù)測試記錄表參考

2026-04-29

?? ? ? ? ?????????????????????????????文件編號：XXX

檢測編號：

被測單位

潔凈級別

氣流形式

測試狀態(tài)

檢測日期

測試依據(jù)

報(bào)告日期

測試儀器廠家及編號:

記錄0.5μm、5μm粒子數(shù):采樣流量為2.83L/min;采樣周期為1min；（單位:粒/m3）

潔凈室/區(qū)

采
樣
點(diǎn)

粒子
直徑

C1

C2

C3

平均值A(chǔ)=C1+C2+C3
3

平均值的均值
M=(A1+A2)/L

標(biāo)準(zhǔn)誤差
SE

置信上限UCL=M +t×SE

結(jié)果
評定

1

0.5μm

0.5μm

5μm

2

0.5μm

5

μm

5μm

1

0.5μm

0.5μm

5μm

2

0.5μm

5

μm

5μm

1

0.5μm

0.5μm

5μm

2

0.5μm

5

μm

5μm

1

0.5μm

0.5μm

5μm

2

0.5μm

5

μm

5μm

評定標(biāo)準(zhǔn):

注：（1）A1,A2–某一采樣點(diǎn)的平均粒子濃度；?UCL–平均值均值95%置信上限；

?L–某一潔凈室/區(qū)內(nèi)的總采樣點(diǎn)數(shù)，個(gè)；? t–95%置信上限的t分布系數(shù)（6.31）；?????????????????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?

文件編號：XXX

檢測編號：?????????????????????????????????????????????檢測日期：

潔凈室/區(qū)

采
樣
點(diǎn)

粒子
直徑

C1

C2

C3

平均值A(chǔ)=C1+C2+C3
3

平均值的均值
M=(A1+A2)/L

標(biāo)準(zhǔn)誤差
SE

置信上限UCL=M +t×SE

結(jié)果
評定

1

0.5μm

0.5μm

5μm

2

0.5μm

5

μm

5μm

1

0.5μm

0.5μm

5μm

2

0.5μm

5

μm

5μm

1

0.5μm

0.5μm

5μm

2

0.5μm

5

μm

5μm

1

0.5μm

0.5μm

5μm

2

0.5μm

5

μm

5μm

1

0.5μm

5μm

2

0.5μm

5μm

1

0.5μm

5μm

2

0.5μm

5μm

1

0.5μm

5μm

2

0.5μm

5μm

檢測者：???????????????????????????????復(fù)核者：????????????????????????????共??頁 第??頁

 

檢測編號：?????????????????????????????????????????????檢測日期:??????????????????????????

 

 

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