一、潔凈室的慨念及應(yīng)用
標(biāo)準(zhǔn)潔凈室主要是對一個特定環(huán)境內(nèi)的溫度、濕度、塵埃、靜電、噪音、化學(xué)污染、電磁場和震動進(jìn)行控制，以達(dá)到規(guī)范的參數(shù)及生產(chǎn)所要求的標(biāo)準(zhǔn)；
隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展，目前一般應(yīng)用在微電子工業(yè)、醫(yī)藥及食品工業(yè)、生物工程等領(lǐng)域。
二、潔凈室的潔凈度
1．1潔凈室級別慨念:
10級~10K級(標(biāo)準(zhǔn)潔凈室)
1ft3空氣體中所含的直徑為0.3um塵粒數(shù)量小于或等于所要求之級別;
100K級~100K以下(準(zhǔn)潔凈室)
1ft3空氣體中所含的直徑為0.5um塵粒數(shù)量小于或等于所要求之級別;
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E(1992年)
| 級別名稱 | 級別限制 | ||||||||||
| 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 5um | |||||||
| 體積單位 | 體積單位 | 體積單位 | 體積單位 | 體積單位 | |||||||
| SI | English | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) | (m3) | (ft3) |
| M1 | 350.00 | 9.91 | 75.70 | 2.14 | 30.90 | 0.88 | 10.00 | 0.28 | |||
| M1.5 | 1 | 1,240.00 | 35.00 | 265.00 | 7.50 | 106.00 | 3.00 | 35.30 | 1.00 | ||
| M2 | 3,500.00 | 99.10 | 757.00 | 21.40 | 309.00 | 8.75 | 100.00 | 2.83 | |||
| M2.5 | 10 | 12,400.00 | 350.00 | 2,650.00 | 75.00 | 1,060.00 | 30.00 | 353.00 | 10.00 | ||
| M3 | 35,000.00 | 991.00 | 7,570.00 | 214.00 | 3,090.00 | 87.50 | 1,000.00 | 28.30 | |||
| M3.5 | 100 | 26,500.00 | 750.00 | 10,600.00 | 300.00 | 3,530.00 | 100.00 | ||||
| M4 | 75,700.00 | 2,140.00 | 30,900.00 | 875.00 | 10,000.00 | 283.00 | |||||
| M4.5 | 1,000 | 35,300.00 | 1,000.00 | 247.00 | 7.00 | ||||||
| M5 | 100,000.00 | 2,830.00 | 618.00 | 17.50 | |||||||
| M5.5 | 10,000 | 353,000.00 | 10,000.00 | 2,470.00 | 70.00 | ||||||
| M6 | 1,000,000.00 | 28,300.00 | 6,180.00 | 175.00 | |||||||
| M6.5 | 100,000 | 3,350,000.00 | 100,000.00 | 24,700.00 | 700.00 | ||||||
| M7 | 10,000,000.00 | 283,000.00 | 61,800.00 | 1,750.00 | |||||||
ISO?國際標(biāo)準(zhǔn)（ISO?Standard）
| 潔凈度級別Cleanclass | 粒徑Particles?Size?(um) | |||||
| 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
| ISO?1 | 10 | 2 | ||||
| ISO?2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO?3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO?4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
| ISO?5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| ISO?6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO?7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
| ISO?8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
| ISO?9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | |||
| 單位:塵埃數(shù)量個/m3 | ||||||
三、潔凈室系統(tǒng)
潔凈室系統(tǒng)的運(yùn)行與維護(hù)管理
摘要：潔凈室潔凈度之維持和控制，除了硬設(shè)備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度；潔凈室運(yùn)轉(zhuǎn)管理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及潔凈室內(nèi)所用東西等加以控制；
潔凈室凈化系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)凈化系統(tǒng)之外，工作人員、生產(chǎn)設(shè)備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說明。
潔凈室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng)、間隙滲入、建筑物、工作服、以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括生產(chǎn)設(shè)備、工作人員、工具、加工制造、隔間材料、工作臺、包裝材料等，圖2為微塵粒子的傳送路徑。
對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運(yùn)作功能，因此微污染源的控制已成為潔凈室管理的重要環(huán)節(jié)。表一為自然環(huán)境所測得的塵埃濃度，而在微污染控制，其基本原則有四：
1.?外部塵埃侵入之防止：
潔凈室適當(dāng)之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備、原材料搬入潔凈室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置。
2.?室內(nèi)發(fā)塵之防止：
隔墻板、地板等潔凈室材料的適當(dāng)選用、制造設(shè)備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn)自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用潔凈室專用器等。
3.?室內(nèi)發(fā)塵之不積留：
墻壁體應(yīng)光滑無死角、潔凈室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。
4.發(fā)生塵埃之排除：
換氣次數(shù)應(yīng)足夠，適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng)。人、物入室的管理問題、實(shí)際的作業(yè)條件和工程管理關(guān)聯(lián)之問題、室內(nèi)之空調(diào)及清掃關(guān)系之問題，這些問題將于下節(jié)祥述。
表1?自然界微塵粒子數(shù)
| 測量地點(diǎn) | 微塵粒子數(shù)（個/ft3）≥0.5μm |
| 大氣層圈 | ㄑ100 |
| 田園地區(qū)（微風(fēng)狀態(tài)） | 100，000~500，000 |
| 住宅地區(qū) | 300，000~400，000 |
| 辦公室（工作中） | 400，000~800，000 |
| 工業(yè)區(qū) | 600，000~1，000，000 |
| 正在吸煙的會議室 | 600，000~1，000，000 |
1.?作業(yè)人員之管理
前面已提及在潔凈室內(nèi)污染來源80%來自作業(yè)人員,因此若能使作業(yè)人員依潔凈室管理，而所有人員也均能配合實(shí)施，則污染源的產(chǎn)生可說已減大半?，F(xiàn)就進(jìn)入潔凈室的作業(yè)人員之管理和注意事項說明如下：
（1）進(jìn)入潔凈室之人員，必須要具備有達(dá)成高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，并要維持最好狀態(tài)之觀念。
（2）作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室數(shù)目以維持最小限度原則（愈少愈好），并須依潔凈室進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)流程進(jìn)出潔凈室，如圖3所示。出則相反方向進(jìn)行，唯不須經(jīng)空氣洗塵室之脫塵處理。
（3）對作業(yè)人員必須經(jīng)常講解潔凈室管理之?dāng)?shù)據(jù)，并加以教育與訓(xùn)練，內(nèi)容如潔凈室管理之一般常識、潔凈室之構(gòu)造與功能、維護(hù)和清潔、安全對策、搬運(yùn)器材之潔凈管理與檢查、潔凈衣之穿脫、潔凈室內(nèi)之步行方式等，并經(jīng)考試合格者方能進(jìn)入潔凈室工作。
（4）在潔凈室作業(yè)人員須經(jīng)常保持自己各方面的干凈與清潔。
（5）在潔凈室內(nèi)之作業(yè)人員或其它人員之移動或動作均為發(fā)塵源，其直接影響制程，同時亦會影響氣流之?dāng)_動，為防止與控制上述情形，基本上須注下列事項：
a.不可在作業(yè)區(qū)域氣流之上方放置物品或做其它作業(yè)。
b.不必要之動作盡量避免以防止亂流發(fā)塵。
c.與作業(yè)無關(guān)的私心談話盡量避免。
d.為控制發(fā)塵量，人員步行及作業(yè)要靜靜地進(jìn)行。表2所示為人體在不同動作時之發(fā)塵量。
e.作業(yè)要在潔凈之工作柜或工作桌進(jìn)行。
f.工具等器具須收入有蓋子之箱子或柜中，并置放一定的場所。
（6）作業(yè)人員須經(jīng)常保持干凈之手，除了常洗手、剪指甲外，手并應(yīng)保養(yǎng)，以防皮膚之剝離，男性須每天刮胡子。
（7）潔凈衣要經(jīng)常保持著衣之狀態(tài)。
（8）下列所述者不能進(jìn)入潔凈室：
a.非作業(yè)人員或事先未得許可者。
b.未照規(guī)定穿著潔凈衣者。
c.剛做激烈運(yùn)動流汗者。
d.吸煙或吃東西后，尚未經(jīng)過半小時以上者。圖4為吸煙和未吸煙者微塵產(chǎn)生量與時間之比較圖，由圖上很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍，直至30分鐘后才降至15倍，此為為何潔凈室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不準(zhǔn)進(jìn)入的原因所在。故針對在潔凈室作業(yè)人員之招募，若能選擇不吸煙者為對象，將可帶來甚大利益。
下表為人體不同動作之微塵產(chǎn)生數(shù)
| ≥0.3μm | ≥0.5μm | |||||
| 一般工作服 | 無塵服 | 普通作業(yè)服 | 無塵服 | |||
| 白衣形 | 全覆形 | 白衣形 | 全覆形 | |||
| 站立（靜姿） | 543，000 | 151，000 | 13，800 | 339，000 | 113，000 | 5，580 |
| 坐下（靜姿） | 44，800 | 142，000 | 14，800 | 302，000 | 112，000 | 7，420 |
| 腕上下 | 4，450，000 | 463，000 | 49，000 | 2，980，000 | 298，000 | 18，600 |
| 上身前屈 | 3，920，000 | 770，000 | 39，200 | 2，240，000 | 538，000 | 24，200 |
| 腕的自由運(yùn)動 | 3，470，000 | 572，000 | 52，100 | 2，240，000 | 298，000 | 20，600 |
| 頭的上下運(yùn)動 | 1，230，000 | 187，000 | 22，100 | 631，000 | 151，000 | 11，000 |
| 屈身 | 4，160，000 | 1，110，000 | 62，500 | 3，120，000 | 605，000 | 37，400 |
| 踏步 | 4，240，000 | 1，210，000 | 92，100 | 2，800，000 | 861，000 | 44，600 |
| 步行 | 5，360，000 | 1，290，000 | 157，000 | 2，920，000 | 1，010，000 | 56，000 |
單位：每分鐘、每人
（9）有下列健康狀態(tài)或體質(zhì)者原則上不能進(jìn)入潔凈室：
a.因日曬、濕診而皮膚有問題者。
b.化學(xué)纖維或有機(jī)溶劑等化學(xué)藥品有過敏性體質(zhì)者。
c.容易出受汗者。
d.比一般人皮膚表皮容易剝離、頭皮或體毛容易掉落者。
e.化妝或涂口紅者。
f.有重大精神病、神經(jīng)過敏或閉瑣恐懼者。
g.因哮喘、咳嗽或噴嚏者及不能安靜工作者。
但對于有下列性格的人，則最適宜進(jìn)入潔凈室工作：
a.做事細(xì)心有耐性者。
b.勤于整理整頓，經(jīng)常自己注意身邊清潔的人。
c.經(jīng)常留意自己之健康者。
10.以下之物品不能帶進(jìn)潔凈室：
a)沒有經(jīng)過清潔過程之器材、零件物品、測定器等各種物品。
b)紙箱及未經(jīng)特別處理之記錄或筆記用紙、影印數(shù)據(jù)等。
c)鉛筆、橡皮擦、墨水等。
d)香煙、化妝品、衛(wèi)生紙、飲食品等。
e)作業(yè)員個人用品如打火機(jī)、寶石、裝飾品、錢包、鑰匙、手帕、小日記手冊或其它個人物品等。
潔凈室潔凈度維持之最大控制對象為作業(yè)人員，因此對于作業(yè)人員之?dāng)?shù)目、行動狀態(tài)、進(jìn)出規(guī)則之制定與執(zhí)行，提高潔凈室內(nèi)作業(yè)人之潔凈度意識、反復(fù)教育，均為必須，表3所示為因作業(yè)人員之動作而產(chǎn)生污染的增加倍率。
2.原物料、設(shè)備進(jìn)出管理
除了人員進(jìn)出潔凈室須予于規(guī)范管理外，物料及設(shè)備之進(jìn)出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響潔凈室之潔凈度。其進(jìn)潔凈室之流程如表4所示。至于搬出則反方向而行，但不須經(jīng)潔凈程序。
原物料及設(shè)備進(jìn)出用潔凈室為潔凈室等級1000或10000級之房間，工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或物料時必須穿著潔凈衣服，所使用之擦拭紙為無塵紙或不會脫落織毛之無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3~5％濃度的IPA或丙酮化學(xué)品，以增強(qiáng)去污能力，由于IPA及丙酮具揮發(fā)性，故此房間之排氣效果須特別考慮。搬運(yùn)設(shè)備時為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。
3.潔凈室內(nèi)用品管理
潔凈室內(nèi)用品除了進(jìn)出潔凈室用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。
潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質(zhì)，另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Viny1），在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時須去除或停用，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。
潔凈衣鞋帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm之過濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級而定，在高潔凈區(qū)（CLASS1）為2~3天，其它區(qū)域則為五天至一星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。潔凈衣之置放場所亦須為潔凈室，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以方便取用。
桌椅一般以不銹鋼材質(zhì)，并需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環(huán)氧樹脂（Epxoy）加工以防表面發(fā)塵。工作桌最好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運(yùn)動。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時，則要準(zhǔn)備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。
芯片盒為放置芯片之用，材質(zhì)以選取擇不易摩損、不發(fā)塵易清潔之材質(zhì)如鐵弗（Teflon）等，至于搬運(yùn)車則以構(gòu)造簡單為原則，并忌使用折迭式，材質(zhì)仍采用不銹鋼為宜，車輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運(yùn)車時不得急速運(yùn)推而以緩行為適。筆記本之紙質(zhì)應(yīng)采用無塵紙制成者，且不得使用影印數(shù)據(jù)，若非萬不得已須使用，則須將文件放在透明之塑料套內(nèi)或加覆背，同時不可于室內(nèi)撕破或?qū)⒓埲喑梢粓F(tuán)，避免造成環(huán)境之污染。如表5所示為不同紙張材質(zhì)發(fā)塵量之比較。普通黑板及粉筆當(dāng)然不能在高潔凈室內(nèi)使用，必要時可在更衣室等潔凈室較低等級的區(qū)域使用白板。潔凈室內(nèi)不得放置清潔用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼，且置于維修區(qū)中的固定位置，桶須覆以蓋子，以利管制，并定期清理。
表5?不同紙張發(fā)塵量比較（略）（實(shí)驗(yàn)方法：將兩者紙張相迭，而相互磨擦?xí)r所產(chǎn)生之紙塵量小于0.5μM以上）
真空吸塵器，其功能是在吸取潔凈室內(nèi)地板上、下及設(shè)備上附著之塵?；蛞后w以防止這些塵粒之再飛揚(yáng)，以達(dá)到清潔的目的，由于真空吸塵器在作業(yè)時會有排氣產(chǎn)生，若未經(jīng)處理，將嚴(yán)重影響潔凈室之潔凈度和氣流，因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器，以除去塵埃。唯現(xiàn)今之高級潔凈室均設(shè)有中央式吸塵系統(tǒng)，并于現(xiàn)場預(yù)留吸塵口，故一般之清潔過程均利用此中央系統(tǒng)，以減少使用真空吸塵器時的氣流干擾,在使用中央式系統(tǒng)時，須注意排氣旦之控制避免使?jié)崈羰覂?nèi)之壓力降低至規(guī)定范圍以下。至于真空吸塵器因?qū)贊崈羰覂?nèi)專用，故不可移至室外使用，若不用時應(yīng)置于較低等級的潔凈室中，旦每次使用后應(yīng)清掃吸管、收塵箱等吸氣系統(tǒng)。
潔凈室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說明。
潔凈室內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之重點(diǎn)有三：
1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。
b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在潔凈室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
i.當(dāng)設(shè)備維修時易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。
j.對于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出潔凈室之各項規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
k.應(yīng)有潔凈室專用工具組，但不得帶出潔凈室外使用。
l.規(guī)劃空間時若能臨近潔凈室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室，將是一理想之規(guī)劃。
2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：
a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。
c.在操作時，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。
e.各項廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。
f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。
3.自動化與無塵化：
a.設(shè)立自動化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評估。
b.建立管制項目如進(jìn)入潔凈室人員的資格限定，潔凈室作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，潔凈室管理規(guī)則等，這些規(guī)則已在前面章節(jié)敘述，此處不再說明。
在潔凈室之維護(hù)管理方面，可分三部分加以說明：
1.建筑物之維護(hù)管理：
a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。
b.地板之清掃管理及損壞更新。
c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補(bǔ)。
d.窗戶及門之保養(yǎng)等。
2.環(huán)境測定與管理：
潔凈室內(nèi)之運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測，以確實(shí)掌握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)異常，可立即做緊急處理。
3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護(hù)管理：
a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測儀器應(yīng)做定期校正檢驗(yàn)，若有設(shè)備移動或施工時須做局部測量。
b.過濾網(wǎng)之管理：定期檢查及更換，表6為各種過濾網(wǎng)之檢查及更換周期。
c.空氣調(diào)節(jié)器管理：定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。
d.送風(fēng)機(jī)之管理：定期檢查送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。如表7所示為送風(fēng)機(jī)之各項檢查內(nèi)容及周期。
e.風(fēng)管及出風(fēng)口之管理：檢查風(fēng)管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。
f.測試及量測儀器管理：定期校正及保養(yǎng)。
g.室內(nèi)壓力管理：連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄，以維持正壓為基準(zhǔn)。
h.冷凍主機(jī)、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理：定期檢查保養(yǎng)及記錄運(yùn)轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析，以調(diào)整加藥量等。
i.潔凈室停止運(yùn)轉(zhuǎn)再開機(jī)要點(diǎn)管理：啟動后立即進(jìn)行微塵粒子之測試，須潔凈室恢復(fù)穩(wěn)定正常時再開始作業(yè)。表8為空調(diào)設(shè)備應(yīng)檢查之項目。
表6?各種空氣過濾網(wǎng)更換周期
| 種類 | 效率 | 最后壓降 | 壓差測試頻率 | 出風(fēng)口塵埃測試 | 過濾網(wǎng)更換
周期 |
| 初效過濾網(wǎng) | AFI25% | 10mmAq | 在線隨時測試 | — | 2次/年 |
| 中效過濾網(wǎng) | NBS65~95% | 25mmAq | 在線隨時測試 | — | 2次/年 |
| 高性能
過濾網(wǎng) |
D.O.P.99.97%
0.3mμ |
50mmAq | 在線隨時測試 | 1次/月 | 1年/次 |
| 超高性能
過濾網(wǎng) |
D.O.P.99.99995%
0.1mμ |
50mmAq | 在線隨時測試 | 1次/月 | 5~10年 |
備注：出風(fēng)口塵埃測試系在送風(fēng)管或出風(fēng)口附近進(jìn)行。
表7?送風(fēng)機(jī)之各項檢查及周期
| 檢查項目 | 周期 | 檢查要點(diǎn)或標(biāo)準(zhǔn) |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)狀況 | 1次/日以上 | 是否有不正常震動或其它異常現(xiàn)象及異音等 |
| 皮帶之松緊度 | 1次/日以上 | 有無松弛或滑動聲音 |
| 軸承之潤滑油 | 1次/半年以上 | 補(bǔ)充潤滑油以舊油脂排出為止 |
| 基礎(chǔ)固定螺絲 | 1次/半年以上 | 檢查固定螺絲有無松動 |
| 馬達(dá)之絕緣測試 | 1次/半年以上 | 電壓值3000V時—3MΩ
電壓值200V時—0.2MΩ |
生產(chǎn)時產(chǎn)生的塵粒需處理
原文來源：http://m.gxshunjiang.com/technology-center/jhgcjszx/2869.html
