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一種高精度、高密封的無塵車間技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明涉及生產(chǎn)車間制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種高精度、高密封的無塵車間。 背景技術(shù) 無塵車間是指在一定空間范圍內(nèi)將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物...302026/04
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一種無塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種無塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)。 背景技術(shù) 現(xiàn)有半導(dǎo)體無塵車間內(nèi)，需要對空氣進(jìn)行過濾凈化，但目前缺乏有效的空...302026/04
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一種無塵車間環(huán)境檢測和凈化裝置技術(shù)領(lǐng)域 本實用新型涉及一種檢測凈化裝置，具體是一種無塵車間環(huán)境檢測和凈化裝置。 背景技術(shù) 無塵車間內(nèi)的環(huán)境監(jiān)測十分重要，現(xiàn)有技術(shù)中的環(huán)境監(jiān)測通常是通過定時采集...302026/04
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一種基于浮動底盤的無塵車間運輸平臺技術(shù)領(lǐng)域 本實用新型屬于智能運輸平臺領(lǐng)域，尤其涉及一種基于浮動底盤的無塵車間運輸平臺。 背景技術(shù) 目前，AGV 是磁導(dǎo)航自動導(dǎo)引車（Automated Guid...302026/04
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一種無塵車間全自動導(dǎo)軌移動升降式局部環(huán)境檢測裝置技術(shù)領(lǐng)域 本實用新型涉及環(huán)境檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種無塵車間全自動導(dǎo)軌移動升降式局部環(huán)境檢測裝置。 背景技術(shù) 手機(jī)制造車間必須保持高度的清潔，無塵車間是一種必須...302026/04
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無塵車間的軌道移動升降式局部環(huán)境檢測裝置技術(shù)領(lǐng)域 本實用新型涉及環(huán)境檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種一種用于無塵車間的軌道移動升降式局部環(huán)境檢測裝置。 背景技術(shù) 手機(jī)制造車間必須保持高度的清潔，無塵車間是一種...302026/04
